NL1035604C2 - Lichtgevoelige tastcel, detectoreenheid en beeldopname-middelen. - Google Patents

Lichtgevoelige tastcel, detectoreenheid en beeldopname-middelen. Download PDF

Info

Publication number
NL1035604C2
NL1035604C2 NL1035604A NL1035604A NL1035604C2 NL 1035604 C2 NL1035604 C2 NL 1035604C2 NL 1035604 A NL1035604 A NL 1035604A NL 1035604 A NL1035604 A NL 1035604A NL 1035604 C2 NL1035604 C2 NL 1035604C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
sensor cell
photosensitive
light
detection surface
cell according
Prior art date
Application number
NL1035604A
Other languages
English (en)
Inventor
Cornelis Francois Christiaan Weststrate
Barend Marius Ter Haar Romenij
Original Assignee
Univ Eindhoven Tech
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Univ Eindhoven Tech filed Critical Univ Eindhoven Tech
Priority to NL1035604A priority Critical patent/NL1035604C2/nl
Priority to PCT/NL2009/000132 priority patent/WO2009154444A1/en
Priority to JP2011514511A priority patent/JP2011526070A/ja
Priority to EP09766862A priority patent/EP2301078A1/en
Priority to US12/999,090 priority patent/US20110174958A1/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1035604C2 publication Critical patent/NL1035604C2/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/0248Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
    • H01L31/0352Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions
    • H01L31/035272Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/035281Shape of the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14603Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
    • H01L27/14607Geometry of the photosensitive area
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Description

Korte aanduiding: Lichtgevoelige tastcel, detectoreenheid en beeldopname- middelen.
BESCHRIJVING
5 De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een lichtgevoelige tastcel omvattende een lichtgevoelig element met een detectieoppervlak voor het ontvangen van licht, waarbij het element is vervaardigd uit een materiaal waarin ten minste een elektrisch meetbare grootheid veranderlijk is onder invloed van licht, verder omvattende elektroden voor het meetbaar maken van de grootheid voor het 10 bepaalbaar maken van een eigenschap van het licht.
De onderhavige uitvinding heeft voorts betrekking op een lichtgevoelige detectoreenheid en beeldopnamemiddelen, waarin de bovengenoemde lichtgevoelige tastcel is toegepast.
Een lichtgevoelige tastcel zoals hierboven beschreven is alom 15 bekend, en wordt bijvoorbeeld toegepast in ladinggekoppelde eenheden (‘charge coupled devices’ - CCD). CCD is een wijdverspreide en bekende techniek die elektromagnetische straling omzet in elektrische lading, en daardoor elektromagnetische straling elektrisch meetbaar en verwerkbaar maakt. Toepassing van de CCD vindt met name plaats op het gebied van beeldverwerking, zoals in camera’s, 20 echter CCD’s kunnen ook worden toegepast voor het registreren van elektromagnetische straling. De CCD is uitgevonden in 1970, en had als oorspronkelijke toepassing de opslag van informatie, zoals beschreven staat in bijvoorbeeld Amerikaans octrooi US-3,858,232 (Willard S. Boyle et al).
Een CCD-chip bestaat uit halfgeleidermateriaal, waarin met behulp 25 van invallende fotonen potentiaal putten worden gecreëerd. Deze potentiaal putten kunnen met behulp van spanningsverschillen worden getransporteerd naar een meetinrichting van de CCD, welke de plaatsafhankelijke informatie kan uitlezen en opslaan. Op deze wijze is het mogelijk plaatsafhankelijke lichtintensiteit met behulp van een CCD vast te leggen. Door voorts gebruik te maken van een kleurenfilter kan 30 een CCD worden verkregen voor het registreren in veelkleurig licht. Hierbij wordt veelvuldig gebruik gemaakt van zogenaamde Bayer filters bestaande uit een specifiek patroon van rode, groene en blauwe filters welke het oppervlak van een CCD bedekken.
Een CCD tastcel bestaat in hoofdzaak uit een optische actieve laag 1035604 2 halfgeleidermateriaal. De compacte groepering tastcellen op het oppervlak van een CCD. alsmede de verstrooiing van licht, zorgen ervoor dat de informatiewaarden van aangrenzende tastcellen op het CCD-oppervlak in bepaalde mate met elkaar zijn gecorreleerd. Voor het verkrijgen van een scherpe afbeelding dient de informatie 5 van een CCD daar nog te worden gedecorreleerd. Het decorreleren of verscherpen van de afbeelding ('deblurring') vindt plaats met behulp van Fouriertransformatie van de verkregen informatie van de CCD-chip. In het Fourierdomein wordt het ontvangen signaal gedeeld door de Fouriergetransformeerde van de apertuur-functie. Deze apertuurfunctie wordt bepaald door de vorm van de tastcel, en de 10 onderliggende afstand van de tastcellen. Decorrelatie van het signaal van de CCD wordt beperkt, doordat de apertuurfunctie nullen bevat in het Fourierdomein, waardoor delen door de Fouriergetransformeerde van de apertuurfunctie slechts gedeeltelijk mogelijk is.
Het is een doel van de onderhavige uitvinding het hierboven 15 geschetste probleem te ondervangen, en een lichtgevoelige tastcel te verschaffen met een grote bewegingsstabiliteit. Voorts is het een doel van de onderhavige uitvinding een lichtgevoelige tastcel te verschaffen die kan worden gebruikt in een lichtgevoelige detectoreenheid met een relatief gering aantal tastcellen en die toch een scherp beeld kan verschaffen.
20 De onderhavige doelstellingen worden door de uitvinding bereikt doordat deze een lichtgevoelige tastcel verschaft omvattende een lichtgevoelig element met een detectieoppervlak voor het ontvangen van licht, waarbij het element is vervaardigd uit een materiaal waarvan ten minste één elektrisch meetbare grootheid veranderlijk is onder invloed van licht, verder omvattende 25 elektroden voor het meetbaar maken van de grootheid voor het bepaalbaar maken een eigenschap van het licht, met het kenmerk, dat het lichtgevoelige element puntvormig is.
Door de lichtgevoelige tastcel te voorzien van lichtgevoelige elementen met een puntige vorm, heeft deze een apertuurfunctie waarvan de 30 Fouriergetransformeerde geen nulpunten in het Fourierdomein omvat. In het Fourierdomein gaat de Fouriergetransformeerde van de apertuurfunctie asymptotisch naar 0, zonder aanwezigheid van nuldoorgangen, zodat het decorreleren in het frequentiedomein van de tastcellen niet door de apertuurfunctie wordt beperkt.
3
Met puntvormig wordt hier bedoeld dat het lichtgevoelige element een zodanige driedimensionale vorm heeft dat deze zowel een detectieoppervlak als een puntig uiteinde omvat. Hieronder kan bijvoorbeeld worden verstaan een kegelvorm of een piramide. Natuurlijk zijn er ook andere en asymmetrische vormen 5 te bedenken welke de bovengenoemde eigenschappen bezitten. Voordeel van deze vorm is dat het invallende licht binnen treedt op het detectievlak, welke de grootste apertuur heeft, en de tastcel kan worden opgevat als een stapeling van steeds kleiner wordende detectoren. De apertuurfunctie van een tastcel met een lichtgevoelig element in deze vorm is in het Fourierdomein continu positief, en kent 10 geen nulwaarden.
Het gebruik van een tastcel overeenkomstig de onderhavige uitvinding maakt daarom decorrelatie in het gehele frequentiedomein mogelijk, zonder dat decorrelatie in het frequentiedomein is beperkt als gevolg van deling door nulwaarden. Door deze verbetering ten opzichte van lichtgevoelige cellen 15 overeenkomstig de stand van techniek, kan een sterke verbetering van de beeldkwaliteit worden verkregen bij gebruik van een lichtgevoelige tastcel overeenkomstig de uitvinding. Voorts is een lichtgevoelige tastcel volgens de uitvinding in grote mate bewegingsstabiel aangezien elke bewegingsonscherpte effectief met decorrelatie kan worden opgelost voor het verkrijgen van een scherpe 20 afbeelding. Hierbij wordt opgemerkt dat bewegingsonscherpte een grote mate van correlatie tussen liggende punten veroorzaakt aangezien als gevolg van de beweging van bijvoorbeeld de lichtgevoelige tastcel, licht dat eigenlijk zou moeten invallen op een bepaald lichtgevoelig element, nu invalt op een naburig lichtgevoelig element, of een lichtgevoelig element op beperkte afstand van het beoogde 25 element. Meetwaarden afkomstig van omliggende elementen zijn daardoor gecorreleerd.
In een lichtgevoelige tastcel overeenkomstig de stand van de techniek, zoals een reguliere CCD, is decorrelatie slechts mogelijk in een deel van het frequentiedomein als gevolg van een beperking die wordt opgelegd door de 30 nuldoorgangen van de Fouriergetransformeerde van de apertuur- of apodizatie-functie in het Fourierdomein. Het frequentiedomein waarvoor met een lichtgevoelige tastcel een overeenkomstige stand van techniek kan worden gedecorreleerd, wordt begrensd door de nulpunten van de apodizatiefunctie, welke relatief dicht bij de piekwaarden van de apodizatiefunctie liggen. Decorrelatie is daartoe slechts 4 mogelijk in een beperkt frequentiebereik. Indien een lichtgevoelige tastcel overeenkomstig de uitvinding wordt gebruikt, waarvoor de apertuur- of apodizatiefunctie in het frequentiedomein geen nuldoorgangen kent, kan voor het gehele frequentiedomein worden gedecorreleerd, waardoor een aanzienlijke 5 verbetering van de afbeeldingskwaliteit wordt verkregen, en bewegingsonscherpte in grote mate kan worden weggenomen.
Bij het bovenstaande wordt opgemerkt dat het puntvormige lichtgevoelige element grote gelijknissen vertoont met de kegelvormig receptor in de retina van het oog. De retina of het netvlies van het oog bestaat uit vele miljoenen 10 receptoren (om en nabij de 130 miljoen receptoren voor een menselijk oog). Het overgrote deel van de receptoren bestaat uit “staafjes”, staafvormige receptoren, welke worden gebruikt voor het kunnen zien onder omstandigheden waarin slechts zeer weinig licht beschikbaar is. Deze staafvormige receptoren kunnen geen kleuren onderscheiden, en zijn het minst gevoelig voor rood licht. Rode objecten lijken 15 daarom in het donker vaak zwart te zijn. Verder kan men met staafjes slecht scherp zien (lage visuele ‘acuity’).
Een klein deel van de receptoren, ongeveer 5%, wordt gevormd door de kegelvormige receptoren. Deze kegelvormige receptoren worden gebruikt voor het kunnen zien onder normale omstandigheden, bij dag- en kunstverlichting. 20 Het aantal kegelvormige receptoren in een menselijk oog bedraagt naar schatting ongeveer 4 miljoen. In vergelijking met CCD type beeldopnamemiddelen, zal een CCD camera met 4 miljoen lichtgevoelige elementen een afbeelding kunnen verschaffen met een oplossend vermogen van ongeveer 4 megapixel. Dit is een relatief matige kwaliteit in vergelijking met de beeldkwaliteit die kan worden 25 verkregen met een gezond oog. Een menselijk oog is in staat om afbeeldingen te verschaffen met een veel groter oplossend vermogen; een gezond oog kan zeer kleine objecten haarscherp onderscheiden.
Het oog blijkt daartoe in staat te zijn doordat de oogspier ervoor zorgt dat de ogen het voortdurend “aftasten”, door middel van het maken van zeer 30 kleine en kortstondige oogbewegingen, de zogenaamde microsaccades, exact gelijk in beide ogen. Het oog voert dus bewust een beweging uit, die onder normale omstandigheden bij reguliere CCD celbewegingsonscherpte zou veroorzaken. Kennelijk is het oog in staat deze bewegingsonscherpte weg te nemen, en zelfs als gevolg van deze oogsaccades een veel groter oplossend vermogen te verschaffen 5 dan dat op grond van het aantal receptoren op het netvlies te verwachten zou zijn.
Nu in een tastcel overeenkomstig de onderhavige uitvinding het lichtgevoelige element een zodanige vorm heeft dat de apodizatiefunctie of apertuurfunctie getransformeerd in het Fourierdomein continue positief is, zonder 5 nulpunten, lijkt de verklaring voor de hoge beeldkwaliteit van het oog te zijn gelegen in de mate waarin het oog in staat is het beeld in het volledige frequentiedomein te decorreleren, zodat grote mate van scherpte en een hoog oplossend vermogen met slechts een beperkt aantal receptoren verkregen kan worden. De uitvinders hebben ingezien dat bij toepassing van de lichtgevoelige tastcel van de onderhavige 10 uitvinding eveneens gebruik kan worden gemaakt van het uitvoeren van kunstmatige oogsaccades voor het verkrijgen van een afbeelding met een groot oplossend vermogen. Dit principe zal verderop in deze beschrijving worden toegelicht.
Overeenkomstig een uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding 15 vormt het detectieoppervlak van de lichtgevoelige tastcel een geometrische basis van het puntvormige lichtgevoelige element. Overeenkomstig een verdere uitvoeringsvorm omvat het lichtgevoelige element voorts tegenover het detectieoppervlak gelegen puntig uiteinde. Voorts kan overeenkomstig een verdere uitvoeringsvorm, een zijde van het lichtgevoelige element, welke zijde is gelegen 20 tussen het detectieoppervlak en het puntige uiteinde, een constante oriëntatiehoek maken ten opzichte van het detectieoppervlak, voor bijvoorbeeld het vormen van een kegelvorm, of piramide. In een verdere uitvoeringsvorm is echter de oriëntatiehoek tussen het detectieoppervlak en een zijde van het lichtgevoelige element, gelegen tussen het detectieoppervlak en het puntige uiteinde daarvan, 25 afnemend, gezien in een richting vanaf het detectieoppervlak naar het puntige uiteinde. Dit verschaft de zijde van de lichtgevoelige tastcel een convexe vorm. Overeenkomstig nog een verdere uitvoeringsvorm van de uitvinding is de oriëntatiehoek tussen het detectieoppervlak en een zijde van het lichtgevoelige element gelegen tussen het detectieoppervlak en het puntige uiteinde daarvan, 30 toenemend, gezien in een richting vanaf het detectieoppervlak naar het puntige uiteinde. Dit verschaft juist een concave vorm zodat het lichtgevoelige element kogelvormig wordt.
Bovengenoemde gesuggereerde vormen kunnen apodizatie of apertuurfuncties verschaffen die voordelen verschaffen ten aanzien van decorrelatie 6 in het frequentiedomein. Gedacht kan bijvoorbeeld worden aan een bepaalde mate van gevoeligheid voor bepaalde frequentiegebieden.
In de lichtgevoelige tastcel overeenkomstig de uitvinding kan het detectieoppervlak een uitvoeringsvorm vorm hebben welke is gekozen een vorm 5 heeft uit een groep omvattende rond, ovaal, driehoekig, rechthoekig, vierkant, vijfhoekig, zeshoekig, zevenhoekig, achthoekig, n-hoekig waarbij n een natuurlijk getal is en n > 8, en asymmetrische tweedimensionale vormen.
De tastcel is vervaardigd, overeenkomstig een uitvoeringsvorm, uit een materiaal dat ten minste gedeeltelijk lichtdoorlatend is. Door het verschaffen 10 van in bepaalde mate van lichtdoorlatendheid kan het invallende licht effectief de onderliggende lagen van het halfgeleidende materiaal van het lichtgevoelige element bereiken.
Zoals hierboven reeds is vermeld kan de tastcel worden gevormd door een veelheid vlakke lichtgevoelige deelelementen, waarvan de doorsnede 15 afnemend is voor het vormen van het puntig gevormde lichtgevoelige element. Dit is geen voorwaarde, het lichtgevoelige element kan eveneens integraal uit één stuk zijn gevormd.
Overeenkomstig een tweede aspect verschaft de uitvinding een lichtgevoelige detectoreenheid omvattende een lichtgevoelige tastcel zoals 20 hierboven is beschreven.
Overeenkomstig nog een derde aspect verschaft de uitvinding beeldopnamemiddelen omvattende een lichtgevoelige tastcel zoals hierboven is omschreven overeenkomstig het eerste aspect, of een lichtgevoelige detectoreenheid overeenkomstig het tweede aspect.
25 De beeldopnamemiddelen zoals hierboven zijn vermeld kunnen voorts middelen omvatten voor het relatief doen laten bewegen van de ten minste een lichtgevoelige tastcel of lichtgevoelige detectoreenheid ten opzichte van een omgeving. In feite kan hiermee worden bereikt dat de beeldopnamemiddelen in staat zijn om de lichtgevoelige tastcel kunstmatige oogsaccades te laten maken, 30 waardoor net als in het natuurlijk gevormde oog, met relatief weinig lichtgevoelige elementen toch een zeer scherp beeld kan worden verkregen met een groot oplossend vermogen. Dit kan worden bereikt door achteraf op efficiënte wijze decorrelatie toe te passen waarbij beeldinformatie ontvangen tijdens het maken van de kunstmatige oogsaccades met de lichtgevoelige tastcel, kunnen worden 7 toegeschreven aan denkbeeldige beeldelementjes welke in feite niet werkelijk aanwezig zijn, maar denkbeeldig zijn gelegen tussen de werkelijk aanwezige beeldelementjes. Dit vergroot de voordelen in meer dan één opzicht. Het meest in het oog springende voordeel is het relatief geringe aantal lichtgevoelige elementen 5 van de tastcel, waardoor voor het opslaan van een afbeelding een relatief geringe hoeveelheid geheugen nodig is. Een ander voordeel is dat als gevolg van de geringe hoeveelheid lichtgevoelige elementen die in werkelijkheid op de tastcel aanwezig zijn, de beeldopnamemiddelen veel kleiner kunnen worden vervaardigd dan wanneer gebruik wordt gemaakt van een conventionele CCD. Voor toepassingen in 10 de ruimtevaart kan juist met een tastcel of detectoreenheid van reguliere afmeting, een veel groter oplossend vermogen worden verkregen, waardoor objecten zichtbaar kunnen worden gemaakt die met conventionele lichtgevoelige eenheden, zoals een conventionele CCD, niet kunnen worden waargenomen. De prijs die hiervoor moet worden betaald is het maken van meerdere beelden met sub-pixel- 15 verschuivingen.
De uitvinding zal hieronder worden beschreven aan de hand van enkele niet als beperkend bedoelde uitvoeringsvormen daarvan, onder verwijzing naar de bijgevoegde tekeningen waarin: figuur 1 een schematische weergave is van een lichtgevoelige 20 tastcel overeenkomstig de onderhavige uitvinding; figuur 2 een schematische weergave is van een groepering of matrix van lichtgevoelige testcellen overeenkomstig de onderhavige uitvinding; figuren 3A-3D verschillende uitvoeringsvormen tonen van een lichtgevoelig element in een lichtgevoelige tastcel overeenkomstig de onderhavige 25 uitvinding; figuur 4 een doorsnede toont van een lichtgevoelig element van een lichtgevoelige tastcel overeenkomstig de onderhavige uitvinding; figuur 5 een schematische weergave is beeldopnamemiddelen overeenkomstig de onderhavige uitvinding.
30 Figuur 1 toont schematisch een lichtgevoelige tastcel 1 overeenkomstig de onderhavige uitvinding. De lichtgevoelige tastcel 1 omvat een lichtgevoelig element 3 met een kegelvormig ontwerp. Op het detectieoppervlak 2 van het lichtgevoelige element 3 kunnen fotonen 4 invallen. Deze fotonen zullen in het materiaal van het lichtgevoelige element 3 worden omgezet in bijvoorbeeld 8 elektron-gatparen, waardoor er ladingsopbouw plaatsvindt in het lichtgevoelig element 3. Het lichtgevoelige element 3 kan worden uitgelezen via uitgang 5 met behulp van een schakeltransistor 6. Schakeltransistor 6 wordt geopend door het aanleggen van een geschikte spanning Vfc aan de basis van de transistor 6. Door 5 transistor 6 te openen, zal de lading van lichtgevoelig element 3 zich verplaatsen naar opslagcondensator 7. Opslagcondensator 7 kan vervolgens worden uitgelezen door transistor 9 te openen middels het aanleggen van een geschikte spanning Vsm over de basis van deze transistor. Lichtgevoelige tastcel 1 kan deel uitmaken van een groepering van tastcellen, zoals een lichtgevoelige matrix (waarvan een 10 voorbeeld is afgebeeld in figuur 2). Indien dit het geval is en de lichtgevoelige matrix deel uitmaakt van bijvoorbeeld een fotocamera, kan met behulp van transistor 6 een foto worden genomen door gelijktijdig alle overeenkomstige transistoren van overige tastcellen van de groepering te openen, zodat gelijktijdig de lading in elk lichtgevoelig element van de groepering afvloeit en wordt bewaard in 15 opslagcondensator 7. Door nu sequentieel elk van de opslagcondensatoren 7 uit te lezen middels het openen van de geschikte transistor (bijvoorbeeld transistor 9) kan de afbeelding digitaal worden uitgelezen. De vakman zal begrijpen dat eveneens gebruik kan worden gemaakt van het principe van ladingskoppeling, zoals gebruikelijk is in CCD’s overeenkomstig de stand van techniek.
20 Figuur 2 toont een groepering 12 van lichtgevoelige tastcellen, zoals lichtgevoelige tastcel 14. De tastcellen in elke kolom kunnen bijvoorbeeld zijn aangesloten op een enkele transportlijn (16, 17, 18, 19 of 20) welke het mogelijk maakt deze tastcellen één voor één uit te lezen. In figuren 1 en 2 is uitgegaan van een kegelvormig ontwerp van het lichtgevoelige element van de lichtgevoelige 25 tastcel.
Figuren 3A-3D tonen enkele alternatieve uitvoeringsvormen waarin het lichtgevoelige element is uitgevoerd als piramide met zeskantig basis 25 (figuur 3A), een asymmetrische kegel 27 (figuur 3B), een “semihyperboloïde" puntvormig element 30 met convexe zijden (figuur 3C), en een kogelvormig lichtgevoelig 30 element 32 met concave zijden (figuur 3D). De uitvinding is natuurlijk niet beperkt tot deze uitvoeringsvormen, andere puntvormig ontwerpen voor lichtgevoelige elementen kunnen eveneens de voordelen van de onderhavige uitvinding verschaffen.
In figuur 4 wordt doorsnede getoond van een uitvoeringsvorm van 9 een lichtgevoelig element overeenkomstig de onderhavige uitvinding. Lichtgevoelig element 35 bestaat uit een staaf lichtgevoelige lagen 37 welke tezamen het driedimensionale puntvormige lichtgevoelige element vormen. Deze lichtgevoelige deelelementen zoals deelelementen 37, 38 en 39, kunnen bijvoorbeeld elk een p-n-5 overgang vormen waarin elektrongatpaken worden gevormd onder invloed van invallende fotonen. De optische verzwakkingsgraad van elk van de lagen, zoals laag 37, 38, 39 en alle overige lagen van het lichtgevoelige element, is zodanig dat bij voorkeur het invallende licht op lichtgevoelig element 35 door de lagen gedeeltelijk wordt doorgelaten, zodat alle lagen van het lichtgevoelige element een deel van het 10 signaal kunnen opvangen. De verschillende lagen van het lichtgevoelige element kunnen desgewenst gelijktijdig worden uitgelezen, het is niet noodzakeiijk de lagen één voor één sequentieel uit te lezen.
Figuur 5 toont beeldopnamemiddelen 50 overeenkomstig de onderhavige uitvinding. De beeldopnamemiddelen 50 zijn voorzien van een 15 detectoreenheid 51 omvattende een veelheid tastcellen (niet zichtbaar) zoals bijvoorbeeld tastcel 1 uit figuur 1. De detectoreenheid 51 is aangesloten op verwerkingsmiddelen 52, bij uitlezing van de detectoreenheid de informatie opslaan in opslageenheid 53. Voorts omvat de beeldopnamemiddelen bewegingsmiddelen 54 welke de detectoreenheid 51 van de beeldopnamemiddelen kunnen laten 20 bewegen, zodanig dat saccadische oogsprongen kunnen worden gesimuleerd. Met behulp van verwerkingseenheid 52 kan decorrelatie plaatsvinden met een geschikte apodizatiefunctie welke is opgeslagen in bijvoorbeeld opslagmiddelen 53.
De onderhavige uitvinding wordt niet beperkt door de hierboven getoonde uitvoeringsvormen, maar slechts door de beschermingsomvang van de 25 navolgende conclusies.
1035604

Claims (14)

1. Lichtgevoelige tastcel omvattende een lichtgevoelig element met een detectieoppervlak voor het ontvangen van licht, waarbij het element is 5 vervaardigd uit een materiaal waarvan ten minste één elektrisch meetbare grootheid veranderlijk is onder invloed van licht, verder omvattende elektroden voor het meetbaar maken van de grootheid voor het bepaalbaar maken een eigenschap van het licht, met het kenmerk, dat het lichtgevoelige element puntvormig is.
2. Lichtgevoelige tastcel volgens conclusie 1, waarin het detectie-10 oppervlak een geometrische basis vormt van het puntvormige lichtgevoelige element.
3. Lichtgevoelige tastcel volgens conclusie 2, waarbij het lichtgevoelige element verder een tegenover het detectieoppervlak gelegen puntig gevormd uiteinde omvat.
4. Lichtgevoelige tastcel volgens conclusie 3, waarbij een zijde van het lichtgevoelige element gelegen tussen het detectieoppervlak en puntige uiteinde daarvan een constante oriëntatiehoek maakt ten opzichte van het detectieoppervlak, voor het vormen van een kegelvorm.
5. Lichtgevoelige tastcel volgens conclusie 3, waarbij een oriëntatie-20 hoek tussen het detectieoppervlak en een zijde van het lichtgevoelige element gelegen tussen het detectieoppervlak en puntige uiteinde daarvan afnemend is, gezien in een richting vanaf het detectieoppervlak naar het puntige uiteinde, voor het verschaffen van een convexe vorm.
6. Lichtgevoelige tastcel volgens conclusie 3, waarbij een oriëntatie-25 hoek tussen het detectieoppervlak en een zijde van het lichtgevoelige element gelegen tussen het detectieoppervlak en puntige uiteinde daarvan toenemend is, gezien in een richting vanaf het detectieoppervlak naar het puntige uiteinde, voor het verschaffen van een concave vorm.
7. Lichtgevoelige tastcel volgens één der voorgaande conclusies, 30 waarbij het detectieoppervlak een vorm heeft uit een groep omvattende rond, ovaal, driehoekig, rechthoekig, vierkant, vijfhoekig, zeshoekig, zevenhoekig, achthoekig, n-hoekig waarbij n een natuurlijk getal is en n > 8, en asymmetrische tweedimensionale vormen.
8. Lichtgevoelige tastcel volgens één der voorgaande conclusies, 1035604 waarbij de tastcel is vervaardigd uit een materiaal dat ten minste gedeeltelijk lichtdoorlatend is.
9. Lichtgevoelige tastcel volgens één der voorgaande conclusies, waarin het lichtgevoelige element een veelheid vlakke lichtgevoelige deelelementen 5 omvat waarvan de doorsnede afnemend is voor het vormen van het puntig gevormde lichtgevoelige element.
10. Lichtgevoelige detectoreenheid omvattende een lichtgevoelige tastcel volgens één der voorgaande conclusies.
11. Beeldopnamemiddelen omvattende ten minste één lichtgevoelige 10 tastcel volgens één der conclusies 1-9, of een lichtgevoelige detectoreenheid volgens conclusie 10.
12. Beeldopnamemiddelen volgens conclusie 11, verder omvattende middelen voor het relatief doen laten bewegen van de ten minste ene lichtgevoelige tastcel of lichtgevoelige detectoreenheid ten opzichte van een omgeving.
13. Beeldopnamemiddelen volgens conclusie 12, waarbij de middelen voor het relatief doen laten bewegen van de ten minste ene lichtgevoelige tastcel of lichtgevoelige detectoreenheid zijn ingericht voor het verschaffen van bewegingen over afstanden welke kleiner zijn dan de diameter van een enkele tastcel.
14. Beeldopnamemiddelen volgens conclusie 12 of 13, waarbij de 20 middelen voor het relatief doen laten bewegen van de ten minste ene lichtgevoelige tastcel of lichtgevoelige detectoreenheid zijn ingericht voor het verschaffen van bewegingen met een bewegingsfrequentie van meer dan 10 bewegingen per seconde. 1035604
NL1035604A 2008-06-19 2008-06-19 Lichtgevoelige tastcel, detectoreenheid en beeldopname-middelen. NL1035604C2 (nl)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1035604A NL1035604C2 (nl) 2008-06-19 2008-06-19 Lichtgevoelige tastcel, detectoreenheid en beeldopname-middelen.
PCT/NL2009/000132 WO2009154444A1 (en) 2008-06-19 2009-06-18 Photosensitive sensor cell, detector unit, and imaging means
JP2011514511A JP2011526070A (ja) 2008-06-19 2009-06-18 感光性センサセル、検出ユニット、および撮像手段
EP09766862A EP2301078A1 (en) 2008-06-19 2009-06-18 Photosensitive sensor cell, detector unit, and imaging means
US12/999,090 US20110174958A1 (en) 2008-06-19 2009-06-18 Photosensitive sensor cell, detector unit, and imaging means

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1035604A NL1035604C2 (nl) 2008-06-19 2008-06-19 Lichtgevoelige tastcel, detectoreenheid en beeldopname-middelen.
NL1035604 2008-06-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1035604C2 true NL1035604C2 (nl) 2009-12-22

Family

ID=40263366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1035604A NL1035604C2 (nl) 2008-06-19 2008-06-19 Lichtgevoelige tastcel, detectoreenheid en beeldopname-middelen.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20110174958A1 (nl)
EP (1) EP2301078A1 (nl)
JP (1) JP2011526070A (nl)
NL (1) NL1035604C2 (nl)
WO (1) WO2009154444A1 (nl)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5456084B2 (ja) * 2012-02-07 2014-03-26 株式会社東芝 固体撮像素子
WO2019093208A1 (ja) * 2017-11-07 2019-05-16 江藤 剛治 高速イメージセンサ
KR20210089361A (ko) * 2020-01-08 2021-07-16 엘지전자 주식회사 라이다 시스템과 이를 이용한 자율 주행 시스템
US11354571B2 (en) * 2020-10-15 2022-06-07 Gigantor Technologies, Inc. Parallel implementation of deep neural networks applied to three-dimensional data sets

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000031806A1 (en) * 1998-11-20 2000-06-02 California Institute Of Technology Wavelength-insensitive radiation coupling for multi-quantum well sensor based on intersubband absorption
JP2003249639A (ja) * 2002-02-22 2003-09-05 Sony Corp 光電変換装置およびその製造方法ならびに固体撮像装置ならびにその製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3858232A (en) * 1970-02-16 1974-12-31 Bell Telephone Labor Inc Information storage devices
US7098435B2 (en) * 1996-10-25 2006-08-29 Frederick E. Mueller Method and apparatus for scanning three-dimensional objects
US7507595B2 (en) * 2004-12-30 2009-03-24 Dongbu Electronics Co., Ltd. CMOS image sensor and method for fabricating the same
US7456452B2 (en) * 2005-12-15 2008-11-25 Micron Technology, Inc. Light sensor having undulating features for CMOS imager
US20070200055A1 (en) * 2006-02-24 2007-08-30 Tower Semiconductor Ltd. Via wave guide with cone-like light concentrator for image sensing devices

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000031806A1 (en) * 1998-11-20 2000-06-02 California Institute Of Technology Wavelength-insensitive radiation coupling for multi-quantum well sensor based on intersubband absorption
JP2003249639A (ja) * 2002-02-22 2003-09-05 Sony Corp 光電変換装置およびその製造方法ならびに固体撮像装置ならびにその製造方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CHEON WOO SHIN ET AL: "A new anthropomorphic retina-like visual sensor", 19941009; 19941009 - 19941013, 9 October 1994 (1994-10-09), pages 345 - 348, XP010216411 *
REGIS AVRAHAM CHELLY ET AL: "Pyramid-Shaped Silicon Photodetector With Subwavelength Aperture", IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, IEEE SERVICE CENTER, PISACATAWAY, NJ, US, vol. 49, no. 6, 1 June 2002 (2002-06-01), XP011072250, ISSN: 0018-9383 *

Also Published As

Publication number Publication date
EP2301078A1 (en) 2011-03-30
JP2011526070A (ja) 2011-09-29
WO2009154444A1 (en) 2009-12-23
US20110174958A1 (en) 2011-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102391632B1 (ko) 광 필드 이미징 장치 및 깊이 획득 및 3차원 이미징 방법
KR102543392B1 (ko) 깊이 획득을 위한 명시야 이미지 처리 방법
EP3129813B1 (en) Low-power image change detector
US8665440B1 (en) Pseudo-apposition eye spectral imaging system
NL1035604C2 (nl) Lichtgevoelige tastcel, detectoreenheid en beeldopname-middelen.
EP3157410A1 (en) Systems and methods for lensed and lensless optical sensing
US9392196B2 (en) Object detection and tracking with reduced error due to background illumination
CN103808409A (zh) 混合材料多光谱凝视阵列传感器
WO2017011125A1 (en) Optical systems and methods supporting diverse optical and computational functions
KR20230025861A (ko) 차분 비행 시간 센서 픽셀의 저전력 동작
Gruev et al. High resolution CCD polarization imaging sensor
Sarkar et al. A biologically inspired CMOS image sensor for polarization and fast motion detection
CN107787580A (zh) 采用相关双取样的光传感器
MX2008000615A (es) Detector de imagenes tridimensionales.
US20190346598A1 (en) Imaging systems and methods with periodic gratings with homologous pixels
US11079277B2 (en) Spectral imaging device and method
Wang et al. Angle-sensitive pixels: a new paradigm for low-power, low-cost 2D and 3D sensing
US20230175952A1 (en) Uniaxial Optical Multi-Measurement Sensor
York et al. Live demonstration: Material detection via an integrated polarization imager
Gruev et al. Material detection with a CCD polarization imager
Gruev et al. Integrated polarization image sensor for cell detection
Veeraraghavan et al. Computational photography
Ahuja et al. Design of large field-of-view high-resolution miniaturized imaging system
Gruev et al. Integrated high resolution division of focal plane image sensor with aluminum nanowire polarization filters
Carlsson Imaging physics

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20130101