NL1033040C2 - Method is for calibration of the angle at which an object is rotated round a rotation axis such as a round table - Google Patents

Method is for calibration of the angle at which an object is rotated round a rotation axis such as a round table Download PDF

Info

Publication number
NL1033040C2
NL1033040C2 NL1033040A NL1033040A NL1033040C2 NL 1033040 C2 NL1033040 C2 NL 1033040C2 NL 1033040 A NL1033040 A NL 1033040A NL 1033040 A NL1033040 A NL 1033040A NL 1033040 C2 NL1033040 C2 NL 1033040C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
angle
round table
angle measurement
stator
angular displacement
Prior art date
Application number
NL1033040A
Other languages
Dutch (nl)
Inventor
Reginald Galestien
Original Assignee
Iac Geometrische Ingenieurs B
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Iac Geometrische Ingenieurs B filed Critical Iac Geometrische Ingenieurs B
Priority to NL1033040A priority Critical patent/NL1033040C2/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1033040C2 publication Critical patent/NL1033040C2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

The method is for the calibration of the angle at which an object is rotated around a rotation axis such as a round table, and use is made of a very accurate angle measurement device, which in principle has a limited angle measurement range, such as a laser interferometer. The signal of the laser (12) and of the angle measurement unit (11) is passed to a signal processing unit (10) and the angle measured by the laser interferometer and the angle displacement measured by the angle measurement unit is transmitted by cable to a computer (14). Special software will then calculate the sum of the two measurements and present this value as the actual relative angular displacement of the round table. Instead of a Hirth coupling use is made of an assembly comprising an accurately located axis with an angle measurement unit which measures the angle displacement around the axis very accurately and electronically presents it preferably to a processor. The rotation axis of the angle measurement unit is placed coaxially on the round table (2) to be calibrated. The rotor of the angle measurement unit is rotated with the round table to be calibrated, whilst a radially placed lever (4) and a fixed stop (5,6) prevent the stator also rotating. The angle reflector (3) is fixed to the stator.

Description

-1--1-

Titel: een methode voor de kalibratie van de hoek waarover een object geroteerd is om een rotatie-as zoals van een rondtafel.Title: a method for calibrating the angle that an object is rotated about a rotation axis such as a round table.

5 De uitvinding heeft betrekking op het snel en nauwkeurig kunnen meten van de hoekverplaatsing van een object om een rotatie-as zoals de as van een rondtafel. Hierbij wordt gebruik gemaakt van een zeer nauwkeurige hoekmeetopnemer, die een groot of zelfs onbeperkt hoekmeetbereik heeft, in combinatie met het hoekmeetsysteem van een laser interferometer, dat een beperkt hoekmeetbereik 10 heeft. (fig. 1)The invention relates to being able to measure the angular displacement of an object about a rotation axis such as the axis of a round table quickly and accurately. Use is herein made of a very accurate angle measuring sensor, which has a large or even unlimited angle measuring range, in combination with the angle measuring system of a laser interferometer, which has a limited angle measuring range. (fig. 1)

De hoekverplaatsing Chom de rotatie-as wordt verkregen door de meetwaarden van de hoekopnemer βι en van het laser interferometrische hoeksysteem γ·|. te sommeren, (zie fig. 4 en 5) 15 In het patentschrift US 5,341,702 APPARATUS FOR CALIBRATION OF AN ANGULAR DISPLACEMENT door Chaney and Graham van Renishaw Transducer Systems wordt een opstelling beschreven waarin gebruik wordt gemaakt van een speciale motorisch aangedreven index tafel (301, 302) in combinatie met de hoekmeting van een laserinterferometer. 20 (zie fig. 6, 7 en 8)The angular displacement Chom the axis of rotation is obtained by the measured values of the angle sensor βι and of the laser interferometric angle system γ · |. In the patent specification US 5,341,702 APPARATUS FOR CALIBRATION OF AN ANGULAR DISPLACEMENT by Chaney and Graham of Renishaw Transducer Systems, an arrangement is described which uses a special motor-driven index table (301, 302) in combination with the angle measurement of a laser interferometer. 20 (see Figs. 6, 7 and 8)

Het gebruik van index tafels (Hirth koppeling) heeft als nadeel dat het noodzakelijk is om de te kalibreren rotatie-as steeds te roteren over een geheel aantal nominale hoekstappen van de indextafel omdat anders het koppelen van de rotor met de stator bemoeilijkt wordt.The use of index tables (Hirth coupling) has the disadvantage that it is necessary to always rotate the axis of rotation to be calibrated over a whole number of nominal angular steps of the index table, because otherwise the coupling of the rotor to the stator is made more difficult.

25 Bij een index tafel met hoekincrement van 5° kan dus uitsluitend aangestuurd worden op veelvouden van 5°.25 With an index table with an angle increment of 5 ° it is therefore only possible to control multiples of 5 °.

Om de hoekoptiek binnen het meetbereik te houden wordt de index tafel motorisch geheven en tegengesteld geroteerd aan de hoekverdraaiing van de te kalibreren rotatie-as.To keep the angle optic within the measuring range, the index table is motor-raised and rotated in the opposite direction to the angular rotation of the rotation axis to be calibrated.

1033040 -2-1033040 -2-

Een nadeel van de beschreven opstelling is dat bij de kalibratie van rondtafels (2) met een snelle response tijd de motorische aansturing van de Hirth koppeling niet in staat is om de hoekoptiek binnen het meetbereik te houden en de laserbundel dus onderbroken wordt. Kalibratie is dan niet mogelijk.A disadvantage of the arrangement described is that during the calibration of round tables (2) with a fast response time, the motor control of the Hirth coupling is unable to keep the angular optics within the measuring range and the laser beam is thus interrupted. Calibration is then not possible.

55

In het patenschrift US 5,508,806In the patent US 5,508,806

APPARATUS AND METHOD FOR MAKING ROTARY CALIBRATIONS OF A MACHINE TOOL TABLEAPPARATUS AND METHOD FOR MAKING ROTARY CALIBRATIONS OF A MACHINE TOOL TABLE

door Dowdy, Carol and Courville van Hewlett-Packard Company wordt een opstelling ίο beschreven waarin eveneens gebruik gemaakt wordt van een Hirth koppeling en een laser interferometrisch hoekmeetsysteem (fig. 3) met dit onderscheidene kenmerk dat voor het heffen van de index tafel gebruik wordt gemaakt van een NC-gestuurde spil van de bewerkingsmachine in combinatie met een speciale koppeling. (201, 202) is Het nadeel van deze opstelling is dat de toepassing beperkt is tot de kalibratie van rondtafels op NC-bewerkingsmachines. Rondtafels in 3D-meetmachines of handbediende rondtafels kunnen niet met deze opstelling worden gekalibreerd.an arrangement is described by Dowdy, Carol and Courville of Hewlett-Packard Company in which also use is made of a Hirth coupling and a laser interferometric angle measuring system (Fig. 3) with this distinctive feature that is used for lifting the index table of an NC-controlled spindle of the processing machine in combination with a special coupling. (201, 202) is The disadvantage of this arrangement is that the application is limited to the calibration of round tables on NC machine tools. Round tables in 3D measuring machines or hand-operated round tables cannot be calibrated with this setup.

Een ander nadeel is dat constructie van de hierboven genoemde koppeling een nauwkeurige centrering van de index tafel ten opzichte van de te kalibreren rotatie-as 20 vereist om mechanische overbelasting en beschadiging te vermijden.Another drawback is that the construction of the above-mentioned coupling requires accurate centering of the index table with respect to the axis of rotation 20 to be calibrated in order to avoid mechanical overloading and damage.

Een volgend nadeel is dat er slip in de hierboven genoemde koppeling optreedt ten gevolge van wrijving in het mechanisme door dwars belasting die ontstaat door het eigengewicht van de indextafel in de situatie waarbij de rotatie-as niet vertikaal is georiënteerd plus eventueel onvolkomenheden van de uitlijning. Door de slip is het 25 mogelijk dat de indexering van de Hirth koppeling niet mogelijk is en dat de hoekoptiek buiten het meetbereik wordt geroteerd.A further drawback is that slip occurs in the above-mentioned coupling as a result of friction in the mechanism due to transverse loading caused by the self-weight of the index table in the situation where the axis of rotation is not vertically oriented plus any imperfections of the alignment. Due to the slip it is possible that the indexing of the Hirth coupling is not possible and that the angle optic is rotated outside the measuring range.

De methode volgens deze uitvinding heeft geen van de bovengenoemde nadelen.The method according to this invention has none of the disadvantages mentioned above.

-3--3-

In figuur 1 wordt de nieuwe opstelling voor het meten van de hoekverplaatsing CHIn Figure 1, the new arrangement for measuring the angular displacement is CH

getoond. Het signaal van de laser (12) en van de hoekopnemer (11) worden aan de signaal verwerking unit (10) aangeboden en de door de laser interferometer gemeten hoek Yi en de door de hoekmeetopnemer gemeten hoekverplaatsing βι worden 5 draadloos of met bijvoorbeeld met een USB kabel (13) overgedragen aan een computer (14).shown. The signal from the laser (12) and from the angle sensor (11) is presented to the signal processing unit (10) and the angle Yi measured by the laser interferometer and the angle displacement βι measured by the angle measuring sensor become wireless or with, for example, a USB cable (13) transferred to a computer (14).

De speciale software zal vervolgens de som van βι en γι berekenen en deze waarde presenteren als de werkelijke relatieve hoekverplaatsing van de rondtafel ten opzichte van de basis: Οι = βι + γι (zie fig. 4 en 5).The special software will then calculate the sum of βι and γι and present this value as the actual relative angular displacement of the round table with respect to the base: Οι = βι + γι (see Figs. 4 and 5).

ίο In plaats van een Hirth koppeling wordt gebruik gemaakt van een opstelling die bestaat uit een nauwkeurig gelagerde as (18) met een hoekmeetopnemer (16 en 17) die de hoekverplaatsing β-iom deze gelagerde as (19) zeer nauwkeurig meet en bij voorkeur electronisch presenteert aan een verwerkingseenheid.Instead of a Hirth coupling, use is made of an arrangement consisting of an accurately mounted shaft (18) with an angle measuring sensor (16 and 17) that accurately measures the angular displacement of this mounted shaft (19) and preferably electronically presents to a processing unit.

De rotatie-as (19) van de hoekopnemer wordt ongeveer in coaxiaal op de te is kalibreren rondtafel (2) geplaatst. De rotor van de hoekopnemer (16) roteert met de te kalibreren rondtafel (2) mee terwijl een radiaal geplaatste hefboom (4) en een vaste aanslag (5 en 6) voorkomen dat de stator (17) meedraait. Op identieke wijze als bij de index tafels wordt de hoekreflector (3) aan de stator (17) bevestigd.The axis of rotation (19) of the angle sensor is placed approximately coaxially on the round table (2) to be calibrated. The rotor of the angle sensor (16) rotates with the round table (2) to be calibrated while a radially placed lever (4) and a fixed stop (5 and 6) prevent the stator (17) from turning. In the same way as with the index tables, the corner reflector (3) is attached to the stator (17).

De opstelling volgens de uitvinding heeft het voordeel dat deze traploos om de 20 gelagerde as kan roteren terwijl de index tafel steeds voor elke hoekverplaatsing eerst moet worden geheven.The arrangement according to the invention has the advantage that it can rotate infinitely around the bearing axis, while the index table must always be raised first for each angular displacement.

De toepassing van een hoekopnemer in plaats van een index tafel heeft het voordeel dat de opstelling continue de hoekverplaatsing di meet in fracties van boogseconden terwijl de index tafel steeds over een veelvoud van de indexhoek 25 moet worden geroteerd.The use of an angle sensor instead of an index table has the advantage that the arrangement continuously measures the angular displacement ie in fractions of arc seconds while the index table must always be rotated over a multiple of the index angle.

De rotatie van de bovengenoemde stator wordt tegengehouden door een hefboom met een vaste aanslag die uitsluitend de rotatie blokkeert doch de overige vrijheidsgraden niet beperkt zodat het nadeel van zeer nauwkeurig centreren van de -4- opstelling volgens US 5,508,806 komt te vervallen. De uit of center positie van de as van de hoekencoder M2 en de as van de te kalibreren rondtafel Mi wordt getoond in de figuren 4 en 5. De enige eis, die aan de centreering wordt gesteld, is dat het laser hoekmeetsysteem binnen het meetbereik blijft wat betreft radiale slag en hoek 5 Y1The rotation of the above-mentioned stator is restrained by a lever with a fixed stop that only blocks rotation but does not limit the other degrees of freedom, so that the disadvantage of very accurate centering of the -4 arrangement according to US 5,508,806 is eliminated. The out or center position of the axis of the angle encoder M2 and the axis of the round table Mi to be calibrated is shown in Figures 4 and 5. The only requirement for centering is that the laser angle measurement system remains within the measuring range for radial stroke and angle 5 Y1

Tevens heeft de opstelling volgens de uitvinding het voordeel dat de automatische hef- en rotatie-inrichting komt te vervallen en dat het dynamische gedrag van de te kalibreren rondtafel geen enkele invloed meer heeft op de oriëntatie van de hoekreflector omdat de rotatie hiervan nu door een passief systeem van hefboom 10 met aanslag wordt tegengehouden.The arrangement according to the invention also has the advantage that the automatic lifting and rotating device is eliminated and that the dynamic behavior of the round table to be calibrated no longer has any influence on the orientation of the corner reflector because the rotation thereof is now driven by a passive system of lever 10 with stop is stopped.

.De opstelling volgens de uitvinding heeft het voordeel dat verlies van nauwkeurigheid door slip niet meer kan optreden omdat de belasting van de gelagerde as alleen wordt beïnvloed door de krachtcomponenten van het eigengewicht met name indien de as van de te kalibreren rotatie-as afwijkt van de 15 verticale stand en dat de krachtoverdracht van de koppeling van de opstelling volgens US 5,508,806 komt te vervallen.The arrangement according to the invention has the advantage that loss of accuracy due to slip can no longer occur because the load on the bearing shaft is only influenced by the force components of the own weight, in particular if the axis of the rotation axis to be calibrated deviates from the 15, and that the force transfer from the coupling of the arrangement according to US 5,508,806 is canceled.

De opstelling volgens de uitvinding heeft het voordeel boven de opstelling volgens US 5,508,806 dat toepassing in principe voor elke rondtafel mogelijk is en niet beperkt is tot uitsluitend de kalibratie van rondtafels van NC bewerkingsmachines.The arrangement according to the invention has the advantage over the arrangement according to US 5,508,806 that application is in principle possible for every round table and is not limited to the calibration of round tables of NC processing machines only.

20 03304020 033040

Claims (4)

1. Werkwijze voor het meten van de relatieve hoekverplaatsing van een object dat geplaatst is op het roterende deel van een rondtafel ten opzichte van het s statische deel van de rondtafel met behulp van: een gelagerde as en een hoekmeetopnemer met een, bij voorkeur, elektronische uitvoer van de meetwaarden van de hoekverplaatsing van de rotor ten opzichte van de stator en waarvan de rotor aan de rondtafel gekoppeld is en relatief ten opzichte van de stator roteert om de gelagerde 10 as, terwijl de stator niet roteert omdat deze tegengehouden wordt door een hefboom met kinematische aanslag; een laser interferometer met hoekmeetoptiek die de hoekverplaatsing van de stator ten opzichte van het statische deel van de rondtafel meet; een sommatie van de hoekmeetwaarden van de hoekopnemer en van de 15 hoekmeetoptiek van de laser interferometer.Method for measuring the relative angular displacement of an object placed on the rotating part of a round table relative to the static part of the round table using: a bearing shaft and an angle measuring sensor with a, preferably, electronic output of the measured values of the angular displacement of the rotor with respect to the stator and whose rotor is coupled to the round table and rotates relative to the stator about the bearing axis, while the stator does not rotate because it is retained by a lever with kinematic attack; a laser interferometer with angular measuring optics which measures the angular displacement of the stator with respect to the static part of the round table; a summation of the angle measurement values of the angle sensor and of the angle measurement optics of the laser interferometer. 2. Een inrichting volgens conclusie 1 waarin een incrementele hoekencoder wordt toegepast.A device according to claim 1, wherein an incremental angle encoder is used. 3. Een inrichting volgens conclusies 1 en 2 waarin een incrementele hoekencoder met AquadB uitgang wordt toegepast.A device according to claims 1 and 2 wherein an incremental angle encoder with AquadB output is used. 4. Een inrichting volgens conclusies 1, 2 en 3 die de meetwaarden van de hoekmeetopnemer als van de laserinterferometer inleest en overdraagt aan een computer op draadloze wijze of via een kabel bijvoorbeeld conform het USB protokol.. Een computer en inrichting volgens conclusies 1, 2, 3 en 4 die beide 25 hoekmeetwaarden sommeert en deze som, die gelijk is aan de actuele hoekverplaatsing van de te kalibreren rondtafel, vergelijkt met de ingegeven hoekverplaatsing van de rondtafel of rotatie-as.. I 0 3 3 0 4 0A device as claimed in claims 1, 2 and 3 which reads in the measurement values of the angle measuring sensor and the laser interferometer and transmits them to a computer in a wireless manner or via a cable for instance in accordance with the USB protocol. A computer and device as claimed in claims 1, 2 , 3 and 4, which sum both angular measurement values and compare this sum, which is equal to the current angular displacement of the round table to be calibrated, with the entered angular displacement of the round table or axis of rotation. I 0 3 3 0 4 0
NL1033040A 2006-12-12 2006-12-12 Method is for calibration of the angle at which an object is rotated round a rotation axis such as a round table NL1033040C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1033040A NL1033040C2 (en) 2006-12-12 2006-12-12 Method is for calibration of the angle at which an object is rotated round a rotation axis such as a round table

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1033040 2006-12-12
NL1033040A NL1033040C2 (en) 2006-12-12 2006-12-12 Method is for calibration of the angle at which an object is rotated round a rotation axis such as a round table

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1033040C2 true NL1033040C2 (en) 2008-06-18

Family

ID=38109668

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1033040A NL1033040C2 (en) 2006-12-12 2006-12-12 Method is for calibration of the angle at which an object is rotated round a rotation axis such as a round table

Country Status (1)

Country Link
NL (1) NL1033040C2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103185550A (en) * 2013-03-13 2013-07-03 清华大学 Rotation angle measurement method
EP2447677A3 (en) * 2010-10-27 2014-05-21 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Angle measuring method and angle measuring system
US9134145B2 (en) 2013-04-03 2015-09-15 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Angle measuring method and angle measuring system
US9354088B2 (en) 2012-02-15 2016-05-31 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Rotation angle measurement device and rotation angle measurement method
CN112621380B (en) * 2020-12-17 2022-05-27 珠海格力智能装备有限公司 Rotating shaft precision detection equipment and rotating shaft precision detection method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1993005360A1 (en) * 1991-09-10 1993-03-18 Renishaw Transducer Systems Limited Method and apparatus for calibration of an angular interferometer
GB2316742A (en) * 1996-08-27 1998-03-04 Tokyo Seimitsu Co Ltd Precision angle indexing system for machine tools

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1993005360A1 (en) * 1991-09-10 1993-03-18 Renishaw Transducer Systems Limited Method and apparatus for calibration of an angular interferometer
GB2316742A (en) * 1996-08-27 1998-03-04 Tokyo Seimitsu Co Ltd Precision angle indexing system for machine tools

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3104130A1 (en) * 2010-10-27 2016-12-14 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Angle measuring method and angle measuring system
EP2447677A3 (en) * 2010-10-27 2014-05-21 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Angle measuring method and angle measuring system
EP2899513A1 (en) * 2010-10-27 2015-07-29 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Rotary encoder with laser interferometer for determining position changes of the stator
EP2905583A1 (en) * 2010-10-27 2015-08-12 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Angle measuring method and angle measuring system
EP3214414A3 (en) * 2010-10-27 2017-09-20 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Rotary encoder with laser interferometer for determining position changes of the stator
US9354088B2 (en) 2012-02-15 2016-05-31 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Rotation angle measurement device and rotation angle measurement method
US9778075B2 (en) 2012-02-15 2017-10-03 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Rotation angle measurement device and rotation angle measurement method
CN103185550A (en) * 2013-03-13 2013-07-03 清华大学 Rotation angle measurement method
CN103185550B (en) * 2013-03-13 2015-08-12 清华大学 The measuring method of rotational angle
US9372099B2 (en) 2013-04-03 2016-06-21 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Angle measuring method and angle measuring system
US9134145B2 (en) 2013-04-03 2015-09-15 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Angle measuring method and angle measuring system
US9574908B2 (en) 2013-04-03 2017-02-21 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Angle measuring method and angle measuring system
CN112621380B (en) * 2020-12-17 2022-05-27 珠海格力智能装备有限公司 Rotating shaft precision detection equipment and rotating shaft precision detection method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL1033040C2 (en) Method is for calibration of the angle at which an object is rotated round a rotation axis such as a round table
US4714339A (en) Three and five axis laser tracking systems
US9488476B2 (en) Apparatus and method to compensate bearing runout in an articulated arm coordinate measurement machine
JP5682802B2 (en) Rotation angle measurement device and rotation angle measurement method
CN101587241A (en) Light beam scanning apparatus, laser machining apparatus, test method and laser machining method
JP5733461B2 (en) Angle measuring method and angle measuring system
JP4992078B2 (en) Inclination angle measuring device, machine tool equipped with the same, and inclination angle calibration method for machine tool
JP2009236571A (en) Apparatus and method for measuring rotational accuracy for bearings
GB2547088A (en) Method for carrying out measurements with a test element in a coordinate measuring machine or a machine tool
JP5224206B2 (en) Angle measuring method and angle measuring system
EP2905583B1 (en) Angle measuring method and angle measuring system
JP2005014210A (en) Apparatus and method for making rotary calibration of machine tool table
Lou et al. A self-calibration method for rotary tables’ five degrees-of-freedom error motions
JP2021012188A (en) Angle measuring mechanism and method for operating angle measuring mechanism
JP5633981B2 (en) Rotation angle measurement method and rotation angle measurement system
JP6281106B2 (en) Angle measuring method and angle measuring system
Begović et al. Laser Interferometry–Measurement and Calibration Method for Machine Tools
JP2015068740A (en) Roundness measurement device
JP5656110B2 (en) Angle measuring method and angle measuring system
Dostál et al. ACCURACY OF MACHINE TOOLS.
JP5187607B2 (en) Angle measuring method and angle measuring system
WO2024095748A1 (en) Measurement device
WO2017170119A1 (en) Surface shape measuring device and surface shape measuring method
JP2021118669A (en) Drive device and control method thereof, encoder unit and control method thereof, and robot device
CN101270977B (en) Device and method for measuring three-dimensional object profile and/or rotation inertia

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20100701