NL1032193C2 - Method for improving transmission power of optical component and optical component, the transmission power of which is thereby improved. - Google Patents
Method for improving transmission power of optical component and optical component, the transmission power of which is thereby improved. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1032193C2 NL1032193C2 NL1032193A NL1032193A NL1032193C2 NL 1032193 C2 NL1032193 C2 NL 1032193C2 NL 1032193 A NL1032193 A NL 1032193A NL 1032193 A NL1032193 A NL 1032193A NL 1032193 C2 NL1032193 C2 NL 1032193C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- transmission power
- irradiation
- hours
- optical component
- test
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
- G03F7/70925—Cleaning, i.e. actively freeing apparatus from pollutants, e.g. using plasma cleaning
Description
Werkwijze voor het verbeteren van transmissievermogen van optisch onderdeel en optisch onderdeel, waarvan het transmissievermogen daardoor wordt verbeterd 5 De onderhavige uitvinding betreft een werkwijze voor het verbeteren van transmissievermogen van een optisch onderdeel (in het bijzonder een optisch onderdeel waarin een ultraviolette optische lens is gebonden door een gefluoreerde verbinding) geschikt voor toepassing als een 10 ultraviolet optisch apparaat zoals een verlichtingsapparaat en een optisch onderdeel, waarvan het transmissievermogen daardoor wordt verbeterd.Method for improving transmission power of optical component and optical component, the transmission power of which is thereby improved thereby. The present invention relates to a method for improving transmission power of an optical component (in particular an optical component in which an ultraviolet optical lens is bonded by a fluorinated compound) suitable for use as an ultraviolet optical device such as a lighting device and an optical component, the transmission power of which is thereby improved.
Conventioneel wordt, in de ultraviolet optische lens toegepast in het verlichtingsapparaat, het 15 transmissievermogen verminderd voor een ultraviolette straling van 365 nm (zie ter visie gelegd Japans Octrooischrift Nr. 9-80207).Conventionally, in the ultraviolet optical lens used in the illumination device, the transmission power is reduced for an ultraviolet radiation of 365 nm (see Laid-Open Japanese Patent No. 9-80207).
WO 98/48452 richt de aandacht op het punt, dat het transmissievermogen van de ultraviolette optische lens, 20 toegepast in het verlichtingsapparaat, wordt verhoogd na eenmaal te zijn verlaagd met verloop van tijd en WO 98/48452 stelt voor dat proefbestraling wordt toegepast voorafgaande aan feitelijke wafelbelichting totdat het tijdelijk afgenomen transmissievermogen weer begint toe te 25 nemen en vervolgens de feitelijke wafelbelichting wordt uitgevoerd. Bij het uitvoeren van de feitelijke wafelbelichting wordt een lichthoeveelheid berekend in de feitelijke wafel, gebaseerd op een bestralingstijd, een tijdveranderingseigenschap van opgeslagen 30 transmissievermogen en de lichthoeveelheid gemeten door een invallende lichthoeveelheid meetsensor en een belichtingshoeveelheid, geregeld met behulp van de 1 0321 93 * -2- berekende lichthoeveelheid. Omdat een proefbestralingstijd een bestralingstijd is tijdens welke het transmissievermogen weer begint toe te nemen nadat het transmissievermogen eenmaal is afgenomen, is de 5 proefbestralingstijd zo kort als ongeveer 500 seconden.WO 98/48452 focuses attention on the point that the transmission power of the ultraviolet optical lens used in the illumination device is increased after being lowered once over time and WO 98/48452 proposes that test irradiation is applied prior to actual wafer exposure until the temporarily decreased transmission power begins to increase again and then the actual wafer exposure is performed. When performing the actual wafer exposure, a light quantity is calculated in the actual wafer, based on an irradiation time, a time change property of stored transmission power, and the light quantity measured by an incident light quantity measuring sensor and an exposure quantity, controlled with the aid of the 1 0321 93 * - 2- calculated light quantity. Because a test irradiation time is an irradiation time during which the transmission power starts to increase again after the transmission power has once been decreased, the test irradiation time is as short as about 500 seconds.
In WO 98/48452 wordt, omdat slechts de proefbestraling wordt uitgevoerd totdat het tijdelijk afgenomen transmissievermogen weer wordt verhoogd, zoals getoond in Fig. 5, het transmissievermogen continu in hoofdzaak 10 lineair verhoogd bij het uitvoeren van de feitelijke wafelbelichting na de proefbestraling. Derhalve is het noodzakelijk dat de regeling wordt uitgevoerd door de berekening, gebaseerd op diverse verbindingen van opslaggegevens en feitelijke meetgegevens.In WO 98/48452, since only the test irradiation is performed until the temporarily decreased transmission power is increased again, as shown in FIG. 5, the transmission power is continuously substantially linearly increased when performing the actual wafer exposure after the test irradiation. Therefore, it is necessary that the control be carried out by the calculation based on various connections of storage data and actual measurement data.
15 Een doel van de uitvinding is om een werkwijze te verschaffen voor het verbeteren van het transmissievermogen van het optische onderdeel, waarbij het ultraviolet transmissievermogen niet lineair kan worden verhoogd na proefbestraling.An object of the invention is to provide a method for improving the transmission power of the optical component, wherein the ultraviolet transmission power cannot be linearly increased after test irradiation.
20 Dit doel wordt bereikt met behulp van een werkwijze met de kenmerken volgens conclusie 1. Voordelige ontwikkelingen worden gespecificeerd in de afhankelijke conclusies. De bewoording van alle conclusies wordt de inhoud van de beschrijving gemaakt door verwijzing.This object is achieved with the aid of a method with the features according to claim 1. Advantageous developments are specified in the dependent claims. The wording of all claims is the content of the description made by reference.
25 Volgens de uitvinding wordt de proefbestraling op het ultraviolet optische onderdeel toegepast totdat het tijdelijk afgenomen transmissievermogen wederom begint toe te nemen en vervolgens wordt de additionele proefbestraling uitgevoerd om het transmissievermogen in hoofdzaak lineair 30 te verhogen tot het punt waar het transmissievermogen geen lineaire toenametrend vertoont (bij voorkeur tot een keerpunt van een toenametrend naar een afnametrend in -3- transmissievennogen). Bijvoorbeeld wordt de proefbestraling toegepast gedurende ten minste één tot twee uur of meer. Derhalve wordt, bij het praktisch bestralen van de wafel, het transmissievermogen niet lineair vergroot, maar het 5 transmissievermogen wordt in hoofdzaak daarna stabiel gehouden.According to the invention, the test irradiation is applied to the ultraviolet optic until the temporarily decreased transmission power starts to increase again and then the additional test irradiation is performed to increase the transmission power substantially linearly to the point where the transmission power does not show a linear increase trend ( preferably up to a turning point from an increase trend to a decrease trend in -3 transmission rates). For example, the test irradiation is applied for at least one to two hours or more. Therefore, with the practical irradiation of the wafer, the transmission power is not linearly increased, but the transmission power is kept stable substantially thereafter.
Als het transmissievermogen is gestabiliseerd bij het praktisch bestralen van de wafel wordt een regeltraject vernauwd en worden regeling van een belichtingshoeveelheid 10 e.d. vereenvoudigd en vergemakkelijkt.If the transmission power is stabilized during the practical irradiation of the wafer, a control path is narrowed and control of an exposure amount 10 and the like are simplified and facilitated.
Als een resultaat van ernstig onderzoek verkreeg de uitvinding kennis dat het ultraviolet transmissievermogen van het ultraviolette optische onderdeel niet de lineaire toenaraetrend vertoont als de proefbestraling wordt 15 toegepast gedurende ongeveer één tot twee uur en vervolgens wordt het ultraviolet transmissievermogen in hoofdzaak gestabiliseerd.As a result of serious investigation, the invention gained knowledge that the ultraviolet transmission power of the ultraviolet optical element does not exhibit the linear increase trend when the test irradiation is applied for about one to two hours and then the ultraviolet transmission power is substantially stabilized.
De uitvinding is om het transmissievermogen van het optische onderdeel te verbeteren op basis van de 20 bovenstaande kennis.The invention is to improve the transmission power of the optical element on the basis of the above knowledge.
In één uitvoeringsvorm van de uitvinding wordt proefbestraling toegepast op een optisch onderdeel, totdat tijdelijk afgenomen transmissievermogen weer begint toe te nemen, waarbij een ultraviolet optische lens is gebonden 25 door een gefluoreerde verbinding als het optische onderdeel en vervolgens de additionele proefbestraling wordt voorgezet en de proefbestraling wordt uitgevoerd totdat het transmissievermogen de lineaire toename niet vertoont.In one embodiment of the invention, test irradiation is applied to an optical component until temporarily decreased transmission power begins to increase again, an ultraviolet optical lens being bound by a fluorinated compound as the optical component and then the additional test irradiation is continued and the test irradiation is carried out until the transmission power does not show the linear increase.
Een punt als waar de additionele proefbestraling wordt 30 beëindigd wordt gezet op het punt waar het transmissievermogen de lineaire toenametrend niet vertoont of op een geschikt punt daarna. Bij voorkeur wordt de -4- proefbestraling beëindigd rond een punt waar de lineaire toenametrend is geëindigd, dan de gegronde toenametrend wordt vertoond en dan de lichte afnametrend wordt vertoond. Dat wil zeggen, de proefbestraling wordt beëindigd rond een 5 keerpunt van de toenametrend naar de afnametrend in transmissievermogen, b.v. binnen 120 minuten voorafgaande aan een na het keerpunt, bij voorkeur binnen 60 minuten voorafgaande aan een na het keerpunt.A point such as where the additional test irradiation is terminated is set at the point where the transmission power does not show the linear increase trend or at a suitable point thereafter. Preferably, the -4 test irradiation is terminated around a point where the linear increase trend has ended, then the well-founded increase trend is displayed and then the slight decrease trend is displayed. That is, the test irradiation is terminated around a turning point from the increase trend to the decrease trend in transmission power, e.g. within 120 minutes before an after the turning point, preferably within 60 minutes before an after the turning point.
Volgens een voorkeursuitvoeringsvorm van de 10 onderhavige uitvinding wordt het transmissievermogen van het optische onderdeel, waarin de ultraviolet optische lens is gebonden door de gefluoreerde verbinding, verbeterd tot 70% (bij voorkeur tot 80%) door een ultraviolette straal toe te passen als de proefbestraling op het optische 15 onderdeel gedurende ten minste één uur, bij voorkeur gedurende ten minste twee uur.According to a preferred embodiment of the present invention, the transmission power of the optical part, in which the ultraviolet optical lens is bound by the fluorinated compound, is improved to 70% (preferably up to 80%) by applying an ultraviolet ray as the test irradiation on the optical element for at least one hour, preferably for at least two hours.
Het heeft de voorkeur dat een ultraviolette straal voor de proefbestraling golflengten korter dan 193 nm heeft.It is preferred that an ultraviolet ray for the test irradiation has wavelengths shorter than 193 nm.
2020
BEKNOPTE BESCHRIJVING VAN DE TEKENINGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
i Fig. 1 toont een voorbeeld van een optisch onderdeel toegepast bij een werkwijze volgens de onderhavige 25 uitvinding;FIG. 1 shows an example of an optical component used in a method according to the present invention;
Fig. 2 toont een ander voorbeeld van een optisch onderdeel toegepast bij de werkwijze volgens de onderhavige uitvinding;FIG. 2 shows another example of an optical element used in the method of the present invention;
Fig. 3 toont een verandering in ultraviolet 30 transmissievermogen vanaf een punt waar proefbestraling van het optische onderdeel volgens Fig. 1 met een ultraviolette -5- straal wordt gestart tot een punt nadat vier uur is verlopen;FIG. 3 shows a change in ultraviolet transmission power from a point where test irradiation of the optical element of FIG. 1 with an ultraviolet -5 beam is started to a point after four hours have elapsed;
Fig. 4 toont de verandering in ultraviolet transmissievermogen in het geval waar het optische 5 onderdeel volgens Fig. 1 is proefbestraald met ultraviolette straling gedurende 75 uur in tegenstelling tot het geval waar het optische onderdeel niet is proefbestraald met de ultraviolette straal;FIG. 4 shows the change in ultraviolet transmission power in the case where the optical element of FIG. 1 is test-irradiated with ultraviolet radiation for 75 hours, in contrast to the case where the optical component is not test-irradiated with the ultraviolet ray;
Fig. 5 toont de verandering in ultraviolet 10 transmissievermogen met behulp van de conventionele methode; enFIG. 5 shows the change in ultraviolet transmission power using the conventional method; and
Fig. 6 toont testresultaten van gefluoreerde olie bestraald met een Ar F laser.FIG. 6 shows test results of fluorinated oil irradiated with an Ar F laser.
15 UITVOERINGSVORMEN15 EMBODIMENTS
In een eerste uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding getoond in Fig. 1 wordt een gefluoreerde olie 1 (of mengsel 1 van gefluoreerde olie en een oplosbare 20 fluorhars) afgesloten in een cel 2. De cel 2 wordt geproduceerd door binden van meerdere platen van optische elementen gemaakt van synthetische kwarts (Si02) . De cel 2 heeft een dikte van 10 mm als geheel.In a first embodiment of the present invention shown in FIG. 1, a fluorinated oil 1 (or mixture 1 of fluorinated oil and a soluble fluororesin) is sealed in a cell 2. The cell 2 is produced by bonding multiple plates of optical elements made of synthetic quartz (SiO 2). The cell 2 has a thickness of 10 mm as a whole.
In een tweede uitvoeringsvorm van de onderhavige 25 uitvinding getoond in Fig. 2 zijn een eerste optisch element 3 gemaakt van plaatvormig synthetisch kwarts (Si02) en een tweede optisch element 4 gemaakt van plaatvormig fluoriet (CaF2) parallel gerangschikt, is een gefluoreerde olie 5 (of mengsel 5 van gefluoreerde olie en oplosbare 30 fluorhars) verschaft tussen de optische elementen 3 en 4 en is de gefluoreerde olie 5 afgesloten met afdichtmaterialen 6. Het afdichtmateriaal 6 heeft de dikte van 10 mm.In a second embodiment of the present invention shown in FIG. 2, a first optical element 3 made of plate-shaped synthetic quartz (SiO 2) and a second optical element 4 made of plate-shaped fluorite (CaF 2) are arranged in parallel, a fluorinated oil 5 (or mixture 5 of fluorinated oil and soluble fluororesin) is provided between the optical elements 3 and 4 and the fluorinated oil 5 is sealed with sealing materials 6. The sealing material 6 has the thickness of 10 mm.
-6--6-
De proefbestraling wordt uitgevoerd gedurende een vooraf bepaalde tijd door elk van de optische onderdelen van Fign. 1 en 2 te bestralen met een Ar F excimeerlaser met een golflengte van een ultraviolet gebied (waaronder een 5 die ultraviolet gebied) in de richting van de pijl.The test irradiation is performed for a predetermined time by each of the optical components of FIGS. 1 and 2 with an Ar F excimer laser with a wavelength of an ultraviolet region (including an ultraviolet region) in the direction of the arrow.
Fig. 3 toont het resultaat van een optisch onderdeel, welke wordt verkregen door het meten van de verandering in transmissievermogen vanaf een punt waar de bestraling van het optisch onderdeel van Fig. 1 met de ultraviolet straal 10 wordt gestart tot een punt nadat vier uur is verlopen.FIG. 3 shows the result of an optical component which is obtained by measuring the change in transmission power from a point where the irradiation of the optical component of FIG. 1 with the ultraviolet ray 10 is started to a point after four hours has elapsed.
Bij de eerste en tweede uitvoeringsvormen van de onderhavige uitvinding is de proefbestralingstijd gedurende twee uur nadat de ultraviolette bestraling is gestart en de feitelijke wafelbelichting daarna wordt uitgevoerd.In the first and second embodiments of the present invention, the test irradiation time is two hours after the ultraviolet irradiation is started and the actual wafer exposure is then performed.
15 Zoals getoond door een stippellijn in Fig. 3 neemt het transmissievermogen in hoofdzaak lineair toe tot ongeveer één uur is verlopen sinds de proefbestraling start. Vervolgens vertoont, zoals getoond door een getrokken lijn in Fig. 3, het transmissievermogen niet de lineaire 20 toenametrend, maar vertoont het transmissievermogen de gekromde toenametrend. Als de proefbestraling wordt uitgevoerd gedurende ongeveer twee uur is het ultraviolet transmissievermogen veranderd naar de afnametrend. Na het keerpunt, waar het transmissievermogen wordt veranderd van 25 de toenametrend naar de afnametrend, wordt het transmissievermogen op de in hoofdzaak stabiele toestand gehouden terwijl deze ten minste 70% (bij voorkeur ten minste 80%) is alhoewel een geringe fluctuatie wordt gegenereerd.As shown by a dotted line in FIG. 3, the transmission power increases substantially linearly until about one hour has elapsed since the test irradiation starts. Next, as shown by a solid line in FIG. 3, the transmission power does not show the linear increase trend, but the transmission power shows the curved increase trend. If the test irradiation is performed for about two hours, the ultraviolet transmission power is changed to the decrease trend. After the turning point, where the transmission power is changed from the increase trend to the decrease trend, the transmission power is kept at the substantially stable state while it is at least 70% (preferably at least 80%) although a slight fluctuation is generated.
30 Fig. 4 toont het resultaat van de optische eigenschap welke wordt verkregen door het meten van de transmissie nadat hetzelfde optische onderdeel als in Fig. 1 wordt -7- proefbestraald met de ultraviolette straal gedurende 75 uur. Daarentegen toont Fig. 4 ook het resultaat van de optische eigenschap, waarbij het optische onderdeel niet is proefbestraald met de ultraviolette straal.FIG. 4 shows the result of the optical property obtained by measuring the transmission after the same optical element as in FIG. 1 is test-irradiated with the ultraviolet ray for 75 hours. In contrast, FIG. 4 is also the result of the optical property in which the optical element has not been irradiated with the ultraviolet ray.
5 Zoals duidelijk is uit Fig. 4, wordt, in het optische onderdeel waarop de proefbestraling vooraf wordt toegepast met de ultraviolette straal gedurende 75 uur, het ultraviolette transmissievermogen gestabiliseerd terwijl de ten minste 70% is in de golflengte variërend van 185 tot 10 290 nm, en is het ultraviolette transmissievermogen gestabiliseerd terwijl dit ten minste 80% is bij de golflengten ten minste 230 nm.As is clear from FIG. 4, in the optical component to which the test irradiation is applied beforehand with the ultraviolet ray for 75 hours, the ultraviolet transmission power is stabilized while being at least 70% in the wavelength ranging from 185 to 10 290 nm, and the ultraviolet transmission power is stabilized while this is at least 80% at the wavelengths at least 230 nm.
In Fig. 4 is de reden, waarom het transmissievermogen ongeveer 70% is, dat de dikte van de gefluoreerde olie zo 15 dik als 10 mm (millimeter) is. Dit is omdat detectiegevoeligheid van de verandering in transmissie wordt verhoogd door het verhogen van de dikte van de olie om de verandering in transmissie duidelijk te herkennen.In FIG. 4, the reason why the transmission power is about 70% is that the thickness of the fluorinated oil is as thick as 10 mm (millimeters). This is because detection sensitivity of the change in transmission is increased by increasing the thickness of the oil to clearly recognize the change in transmission.
In de feitelijke bindende lens is de dikte van de 20 gefluoreerde olie gewoonlijk gezet op ongeveer 10 pm (micrometer). Dienovereenkomstig is het, in de feitelijke bindende lens, zeker dat het transmissievermogen ten minste 90% is.In the actual binding lens, the thickness of the fluorinated oil is usually set at about 10 µm (micrometers). Accordingly, in the actual binding lens, it is certain that the transmission power is at least 90%.
Zoals duidelijk is uit de hierboven beschreven 25 uitvoeringsvormen, wordt het ultraviolet transmissievermogen in de in hoofdzaak stabiele toestand gehouden terwijl deze ten minste 70% door het vooraf uitvoeren van de proefbestraling gedurende ongeveer twee uur.As is clear from the embodiments described above, the ultraviolet transmission power is maintained in the substantially stable state while it is at least 70% by pre-performing the test irradiation for about two hours.
30 De diep ultraviolette straling zal worden beschreven.The deep ultraviolet radiation will be described.
Als het transmissievermogen van het optische onderdeel van de diep-ultraviolette optische lens wordt verbeterd, -8- kan het optische onderdeel de belichting voldoende weerstaan, zelfs als het optische onderdeel wordt toegepast voor het belichtingsapparaat waarin de diepe ultraviolette straal wordt benut.If the transmission power of the optical component of the deep ultraviolet optical lens is improved, the optical component can sufficiently resist the exposure, even if the optical component is applied to the exposure apparatus in which the deep ultraviolet ray is utilized.
5 In een objectief lenssysteem worden lenzen geproduceerd met behulp van de optische materialen met de verschillende brekingsindices gebonden om chromatische afwijking te corrigeren. In het bijzonder wordt, in de objectieve lens toegepast in een apparaat voor het 10 inspecteren van een defect van een halfgeleidermasker, de diepe ultraviolette straal in toenemende mate toegepast vanwege detectienauwkeurigheid daarvan. In het geval waar de diepe ultraviolette straling wordt getransmitteerd door de lens, is het onmogelijk, omdat een kleefstof wordt 15 afgebroken om afschilfering of vergeling te veroorzaken door energie van de diep ultraviolette straling om de hechting met de duurzaamheid te maken. Derhalve wordt vooraf bepaalde optische prestatie verkregen door het combineren van de lenzen. In het bijzonder is het echter 20 noodzakelijk dat de bijstelling wordt uitgevoerd tot een nauwkeurigheid van sub-micrometer tussen de lenzen, zodat het zeer moeilijk is om te voldoen aan de optische prestatie. Daarentegen zijn er de volgende verdiensten als de binding kan worden gemaakt.In an objective lens system, lenses are produced using the optical materials with the different refractive indices bound to correct chromatic aberration. In particular, in the objective lens used in a device for inspecting a defect of a semiconductor mask, the deep ultraviolet ray is increasingly used because of its detection accuracy. In the case where the deep ultraviolet radiation is transmitted through the lens, it is impossible because an adhesive is broken down to cause exfoliation or yellowing by energy from the deep ultraviolet radiation to make the adhesion with the durability. Therefore, predetermined optical performance is achieved by combining the lenses. In particular, however, it is necessary for the adjustment to be made to an accuracy of sub-micrometers between the lenses, so that it is very difficult to satisfy optical performance. In contrast, there are the following merits if the bond can be made.
25 (1) Het lensbindingsoppervlak kan ruwe oppervlakteruwheid hebben.(1) The lens bonding surface may have rough surface roughness.
Productiekosten worden verlaagd Productieopbrengst wordt verbeterd.Production costs are reduced Production revenue is improved.
(2) De bijstelling kan ruw worden uitgevoerd tussen de 30 lenzen.(2) The adjustment can be carried out roughly between 30 lenses.
De vooraf bepaalde optische prestatie wordt gemakkelijk verkregen.The predetermined optical performance is easily obtained.
-9- (3) Het samenstel kan worden uitgevoerd met ruwe excentrische nauwkeurigheid.-9- (3) The assembly can be performed with rough eccentric accuracy.
De vooraf bepaalde optische prestatie wordt gemakkelijk verkregen.The predetermined optical performance is easily obtained.
5 (4) De lensopening kan worden verkleind en het aantal lenzen kan worden verlaagd.5 (4) The aperture can be reduced and the number of lenses can be reduced.
Miniaturisatie en gewichtsvermindering kunnen worden bereikt.Miniaturization and weight reduction can be achieved.
Er is de volgende verdienste als een lichtbron.There is the following merit as a light source.
10 (5) Een goed focusseersysteem kan worden verkregen zonder de golflengteband van de toegepaste laser extreem te vernauwen.(5) A good focusing system can be obtained without extreme narrowing of the wavelength band of the laser used.
De kosten van de lichtbron worden verminderd.The costs of the light source are reduced.
Tengevolge van de bovenstaande redenen wordt een 15 bindingsmethode ontwikkeld, waarbij de duurzaamheid wordt gehandhaafd na verloop van tijd zelfs bij de toegepaste golflengte van het type ultraviolette gebied.Due to the above reasons, a binding method is being developed in which the durability is maintained over time even at the ultraviolet region type wavelength used.
De gefluoreerde olie zal hieronder worden beschreven.The fluorinated oil will be described below.
Om de duurzaamheid te verkrijgen als het optische 20 onderdeel wordt bestraald met het licht met de golflengte van 248 nm, is het belangrijk dat bindingsenergie van moleculen groter is. Tegelijkertijd is het belangrijk dat absorptie wordt geëlimineerd om het hoge transmissievermogen te verkrijgen (zie Tabel 1).To achieve the durability when the optical component is irradiated with the light with the wavelength of 248 nm, it is important that the binding energy of molecules is greater. At the same time, it is important that absorption is eliminated to achieve the high transmission power (see Table 1).
25 -10-25 -10-
Tabel 1Table 1
Bindingsenergie (kJ/mol)Binding energy (kJ / mol)
Binding Energie Binding Energie C-C 3437,7 Si-0 369,0 5 C-H 413,4 C=C 607,0 C-0 351,5 C=0 724,0 _O^O_148,9_C^F_441, 0Binding Energy Binding Energy C-C 3437.7 Si-0 369.0 C-H 413.4 C = C 607.0 C-0 351.5 C = 0 724.0 _0 ^ O_148.9_C ^ F_441.0
Bij beschouwing van Tabel 1 is het zeer moeilijk om de 10 substantie te kiezen met de duurzaamheid uit organische materialen in dit golflengtetrajeet. Er wordt echter gedurfd te denken dat gefluoreerde materialen potentieel hebben. Bij voorkeur wordt, uit de gefluoreerde materialen, de gefluoreerde olie toegepast als een brekingsindex 15 passende oplossing, wordt excentriciteit bijgesteld in de lens, terwijl de gefluoreerde olie wordt afgesloten en wordt het afdichtmiddel voor vastzetten rond de lens toegepast.When considering Table 1, it is very difficult to choose the substance with the durability from organic materials in this wavelength trajeet. However, people dare to think that fluorinated materials have potential. Preferably, from the fluorinated materials, the fluorinated oil is used as a refractive index fitting solution, eccentricity is adjusted in the lens, while the fluorinated oil is sealed, and the sealant is applied around the lens.
Tabel 2 toont de rollen van de olie en het 20 afdichtmiddel als een alternatief voor de kleefstof.Table 2 shows the oil and sealant rollers as an alternative to the adhesive.
Tabel 2Table 2
Delen van rollen van olie en afdichtmiddelParts of rolls of oil and sealant
Kleefstof Gefluoreerde Afdichtmiddel _olie_ 25 Passen van O o brekingsindexAdhesive Fluorinated Sealant _olie_ 25 Passes of Refractive Index
Vastzetten van O o lens (olieafdichtin g)Fixing the O o lens (oil seal)
Bijstellen van o o 30 excentriciteit__________ -11-Adjusting o e 30 eccentricity__________ -11-
Gefluoreerde oliën in vloeibare vorm bij gewone temperatuur worden gekozen, zoals getoond in Tabel 3.Fluorinated oils in liquid form at normal temperature are selected, as shown in Table 3.
Tabel 3 5 Geselecteerde gefluoreerde oliënTable 3 5 Selected fluorinated oils
Fabrikan Moleculaire structuur _t_______ D K F (CF2CF2CF20) „CF2CF3 Rechtketenig type bedrijf 10 S CF3 [ (OCF2CF2) p (OF2) q] OCFF3 Rechtketenig type bedrijf D F(CF(CF3)CF20)nCF2CF3 Vertakt type bedrijf 15 Het heeft de voorkeur om een substantie te selecteren met de laserduurzaamheid tot 198 nm.Fabrikan Molecular structure _t_______ DKF (CF2CF2CF20) „CF2CF3 Straight chain company type 10 S CF3 [(OCF2CF2) p (OF2) q] OCFF3 Straight chain company type DF (CF (CF3) CF20) nCF2CF3 Branched type company 15 It is preferred to use a substance selectable with laser durability up to 198 nm.
De bestralingstest van gefluoreerde olie zal hieronder worden beschreven.The irradiation test of fluorinated oil will be described below.
In een bestralingstest met de ArF laser werd een 20 oliecel bereid door een schijfvormig fluoriet en een schijfvormig synthetisch kwartsglas tegen beide oppervlakken van een capillair-uitgeruste cilindrische glazen ring te drukken met behulp van een metallisch ! materiaal.In an irradiation test with the ArF laser, an oil cell was prepared by pressing a disk-shaped fluorite and a disk-shaped synthetic quartz glass against both surfaces of a capillary-equipped cylindrical glass ring using a metallic ring. material.
25 De bestralingstests gedurende een korte tijd toonden dat de gefluoreerde olie, getoond in Tabel 3 geproduceerd door D bedrijf, goede resultaten vertoont. Derhalve werd de gefluoreerde olie, geproduceerd door D bedrijf, continue bestraald met de ArF laser met vermogen van 300 mW/cm2.The short-term irradiation tests showed that the fluorinated oil, shown in Table 3 produced by D company, shows good results. Therefore, the fluorinated oil produced by D company was continuously irradiated with the ArF laser with a power of 300 mW / cm 2.
30 Fig. 6 toont het resultaat van de verandering in transmissievermogen.FIG. 6 shows the result of the change in transmission power.
Bij een aanvankelijk stadium wordt de grote absorptie gegenereerd door een restmonomeer van de gefluoreerde olie -12- in golflengten niet groter dan 250 nm. Het restmonomeer wordt echter ontleend door de bestraling met de diepe ultraviolette straling, welke de absorptie elimineert om het transmissievermogen te verbeteren. Nadat het 5 restmonomeer is ontleend, wordt de gefluoreerde olie alleen gevormd door een σ-binding en wordt de gefluoreerde olie geblokkeerd tegen de lucht, d.w.z. zuurstof, omdat de gefluoreerde olie is afgesloten. Zelfs als de gefluoreerde olie wordt bestraald met de diepe ultraviolette straling 10 blijft de gefluoreerde olie stabiel gedurende zelfs 100 uur zonder ontleding. Derhalve kan worden verwacht dat het transmissievermogen niet wordt veranderd.At an initial stage, the high absorption is generated by a residual monomer of the fluorinated oil -12- in wavelengths not larger than 250 nm. However, the residual monomer is derived from the irradiation with the deep ultraviolet radiation, which eliminates the absorption to improve the transmission power. After the residual monomer has been derived, the fluorinated oil is only formed by an σ bond and the fluorinated oil is blocked against the air, i.e. oxygen, because the fluorinated oil is sealed. Even if the fluorinated oil is irradiated with the deep ultraviolet radiation, the fluorinated oil remains stable for even 100 hours without decomposition. Therefore, the transmission power can not be expected to be changed.
Bij het ontleden van de restmonomeer bleek dat een oppervlakte van het kwartsglas wordt geëtst in associatie 15 met een gevormd fluoride ion en vocht in de olie. Tabel 4 toont oppervlakte ruwheid voorafgaande aan en na de bestraling gemeten met behulp van AFM.Upon decomposition of the residual monomer, it was found that a surface of the quartz glass is etched in association with a formed fluoride ion and moisture in the oil. Table 4 shows surface roughness before and after the irradiation measured by AFM.
Tabel 4 20 Oppervlakteruwheid voorafgaande aan en na bestralingTable 4 20 Surface roughness before and after irradiation
Oppervlakteru Ra Rmax RSurface time Ra Rmax R
wheid (nm)*_truth (nm) * _
Kwartsglas 1,021/0,434 5,100/1,882 9,822/2,217Quartz glass 1,021 / 0,434 5,100 / 1,882 9,822 / 2,217
Fluoriet_2,661/2,764 10,965/9,061 9,066/10,965 25 * na-bestraling/voor-bestralingFluorite_2,661 / 2,764 10.965 / 9.061 9.066 / 10.965 25 * post-irradiation / pre-irradiation
Derhalve wordt een dehydratatiewerkwijze toegepast op de gefluoreerde olie en de lensmaterialen van het fluoriet en het synthetische kwarts en wordt vochtigheid in een 30 werkomgeving zo veel mogelijk verlaagd.Therefore, a dehydration method is applied to the fluorinated oil and the lens materials of the fluorite and the synthetic quartz and humidity in a working environment is reduced as much as possible.
Een verschijnsel, waarbij het oppervlak van het kwartsglas wordt geëtst, wordt geëlimineerd door deze tegenmaatregel.A phenomenon where the surface of the quartz glass is etched is eliminated by this counter measure.
*9j* 9y
Claims (10)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005251093 | 2005-08-31 | ||
| JP2005251093A JP2007065277A (en) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | Method for improving transmittance of optical member and optical member with the transmittance improved by the method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL1032193A1 NL1032193A1 (en) | 2007-03-01 |
| NL1032193C2 true NL1032193C2 (en) | 2007-08-08 |
Family
ID=37704544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL1032193A NL1032193C2 (en) | 2005-08-31 | 2006-07-18 | Method for improving transmission power of optical component and optical component, the transmission power of which is thereby improved. |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2007065277A (en) |
| DE (1) | DE102006042634A1 (en) |
| NL (1) | NL1032193C2 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1014429A1 (en) * | 1997-04-18 | 2000-06-28 | Nikon Corporation | Method and device for exposure control, method and device for exposure, and method of manufacture of device |
| US20040168758A1 (en) * | 2003-02-28 | 2004-09-02 | Kabushiki Kaisha Topcon | Optical member and method of producing the same |
| JP2005064045A (en) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Nikon Corp | Optical device, aligner, and method of manufacturing device |
-
2005
- 2005-08-31 JP JP2005251093A patent/JP2007065277A/en active Pending
-
2006
- 2006-07-18 NL NL1032193A patent/NL1032193C2/en not_active IP Right Cessation
- 2006-08-31 DE DE200610042634 patent/DE102006042634A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1014429A1 (en) * | 1997-04-18 | 2000-06-28 | Nikon Corporation | Method and device for exposure control, method and device for exposure, and method of manufacture of device |
| US20040168758A1 (en) * | 2003-02-28 | 2004-09-02 | Kabushiki Kaisha Topcon | Optical member and method of producing the same |
| JP2005064045A (en) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Nikon Corp | Optical device, aligner, and method of manufacturing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102006042634A1 (en) | 2007-03-01 |
| NL1032193A1 (en) | 2007-03-01 |
| JP2007065277A (en) | 2007-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Ma et al. | Low-loss chalcogenide waveguides for chemical sensing in the mid-infrared | |
| JP6448480B2 (en) | Multi-photon exposure system | |
| US6285496B1 (en) | Optical mount with UV adhesive and protective layer | |
| Voigtländer et al. | Inscription of high contrast volume Bragg gratings in fused silica with femtosecond laser pulses | |
| Brandenburg et al. | Grating couplers as chemical sensors: a new optical configuration | |
| Chorel et al. | Influence of absorption-edge properties on subpicosecond intrinsic laser-damage threshold at 1053 nm in hafnia and silica monolayers | |
| NL1032193C2 (en) | Method for improving transmission power of optical component and optical component, the transmission power of which is thereby improved. | |
| RU2281310C2 (en) | Radiation-sensitive composition with variable refraction coefficient | |
| JP2004294155A (en) | Apparatus and method for measuring refractive index and thickness | |
| KR101107528B1 (en) | Spatial light modulator and spatial light modulation method | |
| Yao et al. | Optically 3-D $\mu $-Printed Ferrule-Top Polymer Suspended-Mirror Devices | |
| Kmetik et al. | Optical absorption in fluorocarbon liquids for the high energy stimulated Brillouin scattering phase conjugation and compression | |
| US6392753B1 (en) | Accelerated damage testing method and apparatus for low loss optical materials | |
| Mironnikov et al. | Study of the optical methods of formation of multilevel profile in the thin films of a hybrid photopolymer material based on thiol-siloxane and acrylate oligomers | |
| US8259768B2 (en) | Optical fiber component and optical module using the same | |
| WO2006084829A1 (en) | Optical pumping device and method | |
| US11385154B2 (en) | Apparatus and method for monitoring and measuring properties of polymers in solutions | |
| RU2773871C2 (en) | Optical modulator | |
| CN111595555B (en) | Device and method for realizing real-time development monitoring of grating mask by utilizing wide spectral ratio | |
| EP4109687A1 (en) | Generation of high energy ultrashort laser pulse | |
| Li et al. | Nonlinear absorption measurement of UV dielectric components by pulsed top-hat beam thermal lens | |
| Mühlig et al. | Comparative study of fused silica materials for ArF laser applications | |
| Becker et al. | Fiber Bragg grating inscription with DUV femtosecond exposure and two beam interference | |
| Mühlig et al. | Characterization of high reflecting coatings and optical materials by direct absorption and cavity ring down measurements | |
| JP3085875B2 (en) | Optical surface forming method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AD1A | A request for search or an international type search has been filed | ||
| RD2N | Patents in respect of which a decision has been taken or a report has been made (novelty report) | ||
| PD2B | A search report has been drawn up | ||
| V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20110201 |