NL1027902C2 - Lock to be able to supply materials from and to an enclosed space where a certain gas atmosphere prevails and a method for moving materials to an enclosed space using the lock. - Google Patents
Lock to be able to supply materials from and to an enclosed space where a certain gas atmosphere prevails and a method for moving materials to an enclosed space using the lock. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1027902C2 NL1027902C2 NL1027902A NL1027902A NL1027902C2 NL 1027902 C2 NL1027902 C2 NL 1027902C2 NL 1027902 A NL1027902 A NL 1027902A NL 1027902 A NL1027902 A NL 1027902A NL 1027902 C2 NL1027902 C2 NL 1027902C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- cylinder
- lock
- space
- materials
- gas
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21F—PROTECTION AGAINST X-RADIATION, GAMMA RADIATION, CORPUSCULAR RADIATION OR PARTICLE BOMBARDMENT; TREATING RADIOACTIVELY CONTAMINATED MATERIAL; DECONTAMINATION ARRANGEMENTS THEREFOR
- G21F7/00—Shielded cells or rooms
- G21F7/005—Shielded passages through walls; Locks; Transferring devices between rooms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/10—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit
- F16K11/12—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit with one plug turning in another
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
Description
Sluis om materialen te kunnen toevoeren vanuit en naar een afgesloten ruimte waar een bepaalde gasatmosfeer heerst en een werkwijze om met behulp van de sluis materialen naar een afgesloten ruimte te verplaatsenLock to be able to supply materials from and to an enclosed space where a certain gas atmosphere prevails and a method of moving materials to an enclosed space using the lock
De uitvinding heeft betrekking op een sluis, die dient om vanuit een eerste ruimte materialen te kunnen toevoeren naar een afgesloten tweede ruimte en omgekeerd, waarbij in de afgesloten tweede ruimte een gasatmosfeer heerst van een andere samenstelling dan de gasatmosfeer die heerst in de eerste ruimte, welke sluis is bevestigd in een 5 scheidingswand tussen de beide ruimten. De uitvinding heeft ook betrekking op een werkwijze voor het vanuit een eerste ruimte, zoals een stofarme ruimte (beter bekend onder de benaming cleanroom) toevoeren van materialen naar een afgesloten of tweede ruimte, via een sluis volgens de uitvinding.The invention relates to a lock which serves to be able to supply materials from a first space to a closed second space and vice versa, wherein in the closed second space a gas atmosphere prevails of a different composition than the gas atmosphere prevailing in the first space, which lock is fixed in a partition between the two spaces. The invention also relates to a method for supplying materials from a first space, such as a low-dust space (better known as cleanroom) to a closed or second space, via a lock according to the invention.
Wanneer materialen dienen te worden bewerkt onder een bepaalde gasatmosfeer, 10 die afwijkt van de samenstelling van lucht, zoals een atmosfeer waarin geen of maar een bepaalde zeer kleine hoeveelheid zuurstof aanwezig mag zijn, dan dient de bewerking gedaan te worden in een afgesloten ruimte in welke ruimte de gewenste gasatmosfeer, bijvoorbeeld stikstof, heerst. Opdat, zowel na het inbrengen van materialen om te worden behandeld als na het uit de gesloten ruimte halen van reeds behandelde materialen, niet 15 steeds de gasatmosfeer in de behandelingsruimte dient te worden gewijzigd, doordat de omgevingslucht de kans krijgt de tijdelijk geopende afgesloten tweede ruimte kan binnen dringen omdat de ruimte dient te worden geopend voor het toelaten van de materialen, worden de materialen bij voorkeur via een sluis in de gesloten ruimte gebracht, omdat sneller de gasatmosfeer van de kleinere ruimte van de sluis kan worden gewijzigd, dan die 20 van de afgesloten tweede ruimte. Zonder toepassing van een sluis dient namelijk de gasatmosfeer van de veel grotere afgesloten ruimte te worden gewijzigd, hetgeen veel meer tijd vergt en daardoor ook meer kosten.When materials are to be processed under a certain gas atmosphere, which deviates from the composition of air, such as an atmosphere in which no or only a certain very small amount of oxygen may be present, then the treatment must be done in an enclosed space in which space has the desired gas atmosphere, for example nitrogen. So that, both after the introduction of materials to be treated and after the removal of already treated materials from the closed space, it is not always necessary to change the gas atmosphere in the treatment space, because the ambient air has the opportunity to open the temporarily opened closed second space can penetrate because the space must be opened for admission of the materials, the materials are preferably introduced into the closed space via a lock, because the gas atmosphere of the smaller space of the lock can be changed faster than that of the closed second room. After all, without the use of a lock, the gas atmosphere of the much larger enclosed space must be changed, which requires much more time and therefore more costs.
De sluis doet dienst om de gasatmosfeer die de te bewerken materialen omgeeft te kunnen wijzigen. De materialen worden vanuit de omgevingslucht in de geopende sluis 25 gebracht waarbij de atmosfeer in de sluis overeenkomt met de omgevingslucht. Vervolgens wordt de sluis gesloten en de gasatmosfeer in de sluis gewijzigd in de gewenste gasatmosfeer, totdat als de gasatmosfeer ongeveer overeenkomt met de gasatmosfeer van de gesloten ruimte, waarna de sluis aan de zijde van de afgesloten ruimte wordt geopend. Vervolgens kan dan het materiaal worden behandeld en na behandeling via de sluis weer 30 uit de gesloten ruimte worden gehaald, zonder dat de omgevingslucht de gesloten ruimte 1027002 2 kan binnen dringen en daarna de gasatmosfeer worden aangepast aan de gewenste gasatmosfeer.The lock serves to be able to change the gas atmosphere that surrounds the materials to be processed. The materials are introduced from the ambient air into the opened lock 25, the atmosphere in the lock corresponding to the ambient air. Subsequently, the lock is closed and the gas atmosphere in the lock is changed to the desired gas atmosphere, until the gas atmosphere approximately corresponds to the gas atmosphere of the closed space, after which the lock is opened on the closed space side. Subsequently, the material can be treated and after treatment through the lock again removed from the closed space, without the ambient air being able to penetrate the closed space 1027002 2 and thereafter the gas atmosphere be adapted to the desired gas atmosphere.
Op zich zijn sluizen algemeen bekend, die dienen om materialen door te kunnen voeren naar een afgesloten ruimte. Deze sluizen bestaan uit een ruimte, die aan twee zijden 5 kan worden afgesloten door een afsluitorgaan, zoals een deurtje of een schuif. Aan beide zijden van de afgesloten ruimte nemen de middelen voor het af te kunnen sluiten van de opening van de sluis, zoals een schuif of een deurtje ruimte in beslag, waarvoor vooral in de afgesloten ruimte plaats dient te worden gereserveerd, welke eigenlijk niet beschikbaar is, daar de afgesloten ruimte altijd zo klein mogelijk dient te zijn.Locks are generally known per se, which serve to be able to feed materials to an enclosed space. These locks consist of a space that can be closed on two sides by a closing member, such as a door or a slide. On both sides of the closed space, the means for being able to close the opening of the lock, such as a gate or a door, take up space, for which space must be reserved in particular in the closed space, which is actually not available. , since the enclosed space must always be as small as possible.
10 De uitvinding beoogt een sluis die kan worden toegepast voor het doorsluizen van materialen naar en uit een gasdicht afgesloten ruimte welke gevuld is met een gas of gasmengsel die afwijkt van de lucht of omgevingsatmosfeer, waarbij de ruimte die de sluis inneemt, zowel in gesloten als open toestand niet groter is dan de afmetingen van de sluis zelf, waardoor ten eerste de ruimte, die de sluis in beslag neemt zo klein mogelijk is ten 15 opzichte van de door te voeren materialen en bovendien het oppervlak (footprint) dat de sluis in beslag neemt ook zo gering mogelijk is. Dit is daarom van belang omdat de kosten zeer hoog kunnen zijn van de ruimte aangrenzend aan de afgesloten ruimte, zoals een cleanroom, waarvoor de sluizen volgens de uitvinding voor worden gebruikt.It is an object of the invention to provide a lock which can be used for piping materials to and from a gas-tightly sealed space which is filled with a gas or gas mixture that deviates from the air or ambient atmosphere, wherein the space occupying the lock, both in closed and open state is not larger than the dimensions of the lock itself, whereby firstly the space occupied by the lock is as small as possible with respect to the materials to be implemented and, moreover, the surface area (footprint) that the lock occupies as small as possible. This is therefore important because the costs can be very high for the space adjacent to the closed space, such as a clean room, for which the locks according to the invention are used.
Dit oogmerk wordt met de inrichting volgens de uitvinding bereikt, doordat de sluis 20 bestaat uit een eerste holle cilinder, waarvan de wanden bestaan uit een gebogen cilindervlak, een grondvlak en een bovenvlak die onderling luchtdicht aan elkaar zijn bevestigd en welke holle cilinder is voorzien van een opening in de gebogen cilinderwand en welke eerste holle cilinder draaibaar om zijn symmetrieas is bevestigd in de scheidingswand, die de beide ruimten van elkaar scheiden en dat concentrisch binnenin de 25 eerste holle cilinder een tweede holle cilinder is aangebracht, welke tweede cilinder eveneens draaibaar om zijn symmetrieas is bevestigd welke symmetrieas samenvalt met de symmetrieas van de eerste holle cilinder en welke tweede cilinder onafhankelijk van de eerste cilinder kan worden rondgedraaid, welke tweede holle cilinder ook is voorzien van een opening in de cilinderwand.This object is achieved with the device according to the invention in that the lock 20 consists of a first hollow cylinder, the walls of which consist of a curved cylinder surface, a base surface and an upper surface which are mutually airtightly attached to each other and which hollow cylinder is provided with an opening in the curved cylinder wall and which first hollow cylinder is rotatably mounted about its axis of symmetry in the separating wall, which separate the two spaces and that a second hollow cylinder is arranged concentrically within the first hollow cylinder, which second cylinder is also rotatable about its axis of symmetry is fixed which axis of symmetry coincides with the axis of symmetry of the first hollow cylinder and which second cylinder can be rotated independently of the first cylinder, which second hollow cylinder is also provided with an opening in the cylinder wall.
30 Door deze maatregelen heeft het toepassen van de sluis volgens de uitvinding, het voordeel boven de bekende sluizen, dat de ruimte, die de sluis volgens de uitvinding zowel wat betreft het volume als het oppervlak, in beslag neemt niet veel groter is dan dat van het volume en het oppervlak dat de door te voeren materialen in beslag nemen en de afmetingen van de sluis hierop aangepast kunnen worden. Bovendien, wanneer de opening 1027902 3 in de buitenwand van de buitenste cilinder naar de ene zijde van de sluis is gericht, is automatisch de toegang tot de sluis aan de andere zijde gesloten. De sluis volgens de uitvinding kan dus nooit aan weerszijden tegelijkertijd geopend zijn.Through these measures, the use of the lock according to the invention has the advantage over the known locks that the space occupied by the lock according to the invention in terms of both volume and surface area is not much greater than that of the volume and surface that the materials to be taken up can occupy and the dimensions of the lock can be adjusted accordingly. Moreover, when the opening 1027902 3 in the outer wall of the outer cylinder is directed to one side of the lock, the access to the lock on the other side is automatically closed. The lock according to the invention can therefore never be open on both sides simultaneously.
Bij voorkeur bevindt zich tussen de binnenwand van de buitenste cilinder en de 5 buitenwand van de binnenste cilinder een kleine ruimte, waardoor tussen de beide cilinders geen wrijving kan optreden, daar door optredende wrijving stofdeeltjes zouden kunnen vrij komen en bovendien zonder wrijving kunnen de beide cilinders gemakkelijker onafhankelijk ten opzichte van elkaar roteren.Preferably, there is a small space between the inner wall of the outer cylinder and the outer wall of the inner cylinder, as a result of which no friction can occur between the two cylinders, as dust particles could be released as a result of friction and, moreover, the two cylinders could do so without friction. easier to rotate independently of each other.
Opdat het volume van de sluis zo goed mogelijk kan worden benut voor het 10 verplaatsen van materialen, zijn in een voorkeursuitvoering volgens de uitvinding de afmetingen van de openingen in de cilinderwand van beide cilinders ongeveer een kwart van de omtrek meten en ongeveer de hoogte van de betreffende cilinder, waardoor gemakkelijk het grootste deel van het inwendige van de sluis kan worden benut. Door de cilinderwanden van beide cilinders van doorzichtig materiaal te vervaardigen, wordt 15 bereikt, dat gemakkelijk in de gesloten kamer kan worden gekeken vanbuiten af.In order that the volume of the lock can be utilized as well as possible for moving materials, in a preferred embodiment of the invention the dimensions of the openings in the cylinder wall of both cylinders are approximately one quarter of the circumference and approximately the height of the relevant cylinder, whereby the majority of the interior of the lock can easily be used. By manufacturing the cylinder walls of both cylinders from transparent material, it is achieved that it is easy to look into the closed chamber from the outside.
De werkwijze voor het vanuit een eerste ruimte, zoals een stofvrije ruimte of cleanroom toevoeren van materialen naar een afgesloten of tweede ruimte, via een sluis volgens de uitvinding is nu als volgt: Eerst worden de beide cilinders met de opening naar de omringende ruimte geplaatst, terwijl de gasdruk in de afgesloten ruimte hoger is dan de 20 gasdruk van de eerste ruimte van waaruit de materialen dienen te worden verplaatst. Vervolgens worden de door te voeren materialen in de binnenste cilinder van de sluis geplaatst. Daarna wordt de buitenste cilinder ongeveer een halve slag gedraaid en wel zodanig dat de opening van de buitenste cilinder naar de gesloten ruimte is gericht, terwijl de opening van de binnenste cilinder naar de andere zijde blijft gericht. Vervolgens wordt 25 het gas met behulp van middelen uit de sluis gepompt, waardoor gas vanuit de afgesloten tweede ruimte wordt toegevoerd aan de ruimte omsloten door de beide cilinders en nadat geconstateerd is dat de gassamenstelling van het afgevoerde gas voldoende overeenkomt met de gassamenstelling van het gas dat zich bevindt in de afgesloten ruimte, dat dan de tweede cilinder ongeveer een halve slag wordt gedraaid en wel zodanig dat de beide 30 openingen van de beide cilinders ongeveer samenvallen en dat daarna de materialen uit de sluis wordt weggenomen en verplaatst naar een gewenste plek binnen in de afgesloten ruimte.The method for supplying materials from a first space, such as a dust-free space or clean room, to a closed or second space via a lock according to the invention is now as follows: First, the two cylinders are placed with the opening to the surrounding space, while the gas pressure in the closed space is higher than the gas pressure of the first space from which the materials must be moved. The materials to be fed are then placed in the inner cylinder of the lock. Thereafter, the outer cylinder is rotated about a half turn so that the opening of the outer cylinder is directed to the closed space, while the opening of the inner cylinder remains directed to the other side. Subsequently, the gas is pumped out of the sluice by means of means, whereby gas is supplied from the closed second space to the space enclosed by the two cylinders and after it has been established that the gas composition of the discharged gas corresponds sufficiently to the gas composition of the gas that is located in the closed space, that the second cylinder is then rotated about half a turn, in such a way that the two openings of the two cylinders coincide approximately and that thereafter the materials are removed from the lock and moved to a desired location within in the enclosed space.
De uitvinding zal nader worden toegelicht aan de hand van de tekening. In de tekening toont: 1 0 ? 7 o <\ | 4The invention will be further elucidated with reference to the drawing. In the drawing: 1 0? 7 o <\ | 4
Figuur 1 een dwarsdoorsnede volgens de lijn I - I uit figuur 2 van de sluis volgens de uitvinding;Figure 1 shows a cross-section along the line I - I of Figure 2 of the lock according to the invention;
Figuur 2 een dwarsdoorsnede volgens de lijn II - II uit figuur 1 van de sluis volgens de uitvinding; 5 Figuur 3 tot 8 schematisch een dwarsdoorsnede door een gesloten ruimte en in een wand van de gesloten ruimte een sluis volgens de uitvinding;Figure 2 shows a cross-section along the line II - II from Figure 1 of the lock according to the invention; Figures 3 to 8 schematically show a cross section through a closed space and in a wall of the closed space a lock according to the invention;
Figuren 1 en 2 tonen een sluis 1 volgens de uitvinding. De sluis 1 bestaat uit een eerste holle cilinder 2, die draaibaar om zijn symmetrieas 3 is aangebracht in een scheidingswand 4 van twee van elkaar gescheiden ruimten 5 en 6, waarbij de eerste ruimte 10 5 aan de ene zijde van de scheidingswand 4 een andere gasatmosfeer heeft dan de tweede ruimte 6 aan de andere zijde van de scheidingswand 4. De cilinder 2 kan draaien om zijn symmetrieas 3 en bestaat uit een cilindrisch gebogen buitenwand 7 en wordt zowel aan de bovenkant door een wand 8, als aan de onderkant door een wand 9 begrensd en zowel de bovenwand 8 als de onderwand 9 zijn gasdicht met de cilinderwand 7 verbonden.Figures 1 and 2 show a lock 1 according to the invention. The lock 1 consists of a first hollow cylinder 2, which is arranged rotatably about its axis of symmetry 3 in a partition wall 4 of two spaces 5 and 6 separated from each other, the first space 10 on one side of the partition wall 4 having a different gas atmosphere then has the second space 6 on the other side of the dividing wall 4. The cylinder 2 can rotate about its axis of symmetry 3 and consists of a cylindrically curved outer wall 7 and becomes both at the top through a wall 8 and at the bottom through a wall 9 and both the upper wall 8 and the lower wall 9 are connected to the cylinder wall 7 in a gas-tight manner.
15 Binnen in de ruimte 10 omsloten door de eerste cilinder 2 is concentrisch een tweede cilinder 11 aangebracht, die onafhankelijk van de eerste cilinder 2 ook kan draaien om dezelfde symmetrieas 3. De eerste cilinder 2 kan met behulp van rotatiemiddelen 12, bijvoorbeeld een elektromotor of pneumatisch, worden geroteerd, terwijl onafhankelijk hiervan de tweede cilinder 11 ook met behulp van rotatiemiddelen 13 kan worden 20 geroteerd over een gewenste hoek. Beide cilinders van elke sluis zijn voorzien van een opening 14, 15 in de cilinderwand. Met behulp van afdichtmiddelen 16 is de buitencilinder van elke sluis luchtdicht verbonden met de scheidingswand 4 waarin de sluis is geplaatst. De afdichtmiddelen 16 zijn bij voorkeur opblaasbare afdichtmiddelen, waardoor tijdens het roteren van de buitencilinder de druk op de afdichtmiddelen kan worden verkleind en 25 zodoende zo min mogelijk wrijving ontstaat daar door wrijving stofdeeltjes worden afgescheiden. Via een afvoer 17 kan de gasatmosfeer uit de beide cilinders van een sluis afgevoerd wordenArranged in the space 10 enclosed by the first cylinder 2 is a concentrically arranged second cylinder 11, which independently of the first cylinder 2 can also rotate about the same axis of symmetry 3. The first cylinder 2 can be rotated by means of rotation means 12, for example an electric motor or pneumatically, while independently of this the second cylinder 11 can also be rotated through a desired angle with the aid of rotation means 13. Both cylinders of each lock are provided with an opening 14, 15 in the cylinder wall. With the aid of sealing means 16, the outer cylinder of each lock is airtightly connected to the partition wall 4 in which the lock is placed. The sealing means 16 are preferably inflatable sealing means, whereby the pressure on the sealing means can be reduced during rotation of the outer cylinder and thus as little friction as possible is created since dust particles are separated off by friction. The gas atmosphere can be discharged from the two cylinders of a lock via a discharge 17
Figuren 3, 4, 5, 6, 7 en 8 tonen zeer schematisch een afgesloten ruimte 5 met in de scheidingswand 4 van de ruimte, die de afgesloten ruimte scheidt van de ruimte die deze 30 omgeeft, een tweetal sluizen 1 een rechter sluis 18 en een linker sluis 19 volgens de uitvinding. Aan de hand van de figuren zal de werkwijze voor het doorvoeren van de materialen door de sluis, nader worden verklaard. Om van halfgeleidermateriaal vervaardigde zogenaamde “wafers” te kunnen behandelen in een oven dient het transporteren van de materialen naar de oven in een zuurstofarme atmosfeer te gebeuren.Figures 3, 4, 5, 6, 7 and 8 show very schematically a closed space 5 with in the partition wall 4 of the space, which separates the closed space from the space surrounding it, two locks 1 a right-hand lock 18 and a left-hand lock 19 according to the invention. The method for passing the materials through the lock will be explained in more detail with reference to the figures. In order to be able to treat so-called "wafers" made of semiconductor material in an oven, the materials must be transported to the oven in a low-oxygen atmosphere.
1027902 51027902 5
Hiertoe wordt de ruimte bijvoorbeeld onder een zeer zuivere stikstof atmosfeer gebracht. Om niet steeds wanneer materialen uit of in de behandelingsruimte worden gebracht de atmosfeer van de gesloten ruimte 5 van de inrichting te behoeven te zuiveren en om zo min mogelijk stofdeeltjes in de atmosfeer te hebben, wordt gebruik gemaakt van een werkwijze 5 waarbij de materialen eerst in een stofvrije ruimte, een zogenaamde “cleanrooom” worden gebracht, waar een normale gasatmosfeer, dus lucht heerst en welke ruimte zo goed mogelijk stofvrij is gemaakt. Vervolgens worden de materialen via een sluis vanuit de cleanroom in de gesloten behandelingsruimte gebracht.For this purpose, the space is brought, for example, under a very pure nitrogen atmosphere. In order not to have to purify the atmosphere of the closed space 5 of the device every time materials are brought into or from the treatment room and to have as few dust particles as possible in the atmosphere, a method 5 is used wherein the materials first a dust-free room, a so-called “clean room”, where a normal gas atmosphere, so air, prevails and which room is made as dust-free as possible. The materials are then brought from the cleanroom into the closed treatment room via a lock.
Figuur 3 toont schematisch een gesloten ruimte 6 met in de wand van de ruimte 6 10 grenzend aan bijvoorbeeld een “cleanroom” een tweetal sluizen 1, een rechter sluis 18 en een linker sluis 19, waarvan van beide sluizen 18, 19 de beide cilinders 2, 11 in de stand staan dat de openingen in de richting van de cleanroom staan dus zodanig, dat de binnenste cilinders 11 beladen kunnen worden met materialen om deze vervolgens via de sluis door te kunnen sluizen naar de gesloten ruimte 5. De druk van de gasatmosfeer in de gesloten 15 ruimte dient nu hoger te zijn dan de gasatmosfeer in de cleanroom, daar anders bij het draaien van de cilinders er kans bestaat dat zuurstofrijk gas, namelijk de lucht uit de cleanroom de gesloten ruimte kan binnen stromen, doordat tijdens het draaien van de buitenste cilinder er kans bestaat dat een moment de ruimte 5 direct in contact staat met de lucht van de cleanroom, via de opening in de buitenste cilinder.Figure 3 shows schematically a closed space 6 with in the wall of the space 6 adjacent for instance a "clean room" two locks 1, a right-hand lock 18 and a left-hand lock 19, of which of both locks 18, 19 the two cylinders 2 11 are in the position that the openings are in the direction of the cleanroom, so that the inner cylinders 11 can be loaded with materials so that they can then be routed through the lock to the closed space 5. The pressure of the gas atmosphere in the closed space must now be higher than the gas atmosphere in the clean room, since otherwise when rotating the cylinders there is a chance that oxygen-rich gas, namely the air from the clean room, can flow into the closed space because during the rotation of the outer cylinder there is a chance that for a moment the space 5 is in direct contact with the air from the cleanroom, via the opening in the outer cylinder.
20 Figuur 4 toont de gesloten ruimte 5 met de beide sluizen 18 ,19, waarbij van de rechter sluis 18 de buitenste cilinder 2 met de opening naar de gesloten ruimte is gedraaid. Nu kan door de tussen ruimte 20 tussen de beide cilinderwanden van de sluis 18 stikstof uit de gesloten ruimte in de ruimte omsloten door de cilinders stromen. Door de gasatmosfeer uit de cilinder ruimte weg te zuigen en af te voeren via een afzuigsysteem 21 zal de ruimte 25 binnen de cilinderwanden worden gespoeld met stikstof en na verloop van tijd zal het zuurstofgehalte van de atmosfeer in de cilinder zover zijn gedaald, dat deze beneden het gewenste percentage is gedaald. Figuur 5 toont vervolgens hoe ook de tweede sluis 18 de buitenste cilinder zover gedraaid is om zijn as, dat ook hiervan de opening naar de gesloten ruimte is gekeerd en door beide sluizen stikstof wordt geleid en afgevoerd via het 30 afzuigsysteem 21.Figure 4 shows the closed space 5 with the two locks 18, 19, the outer cylinder 2 of the right-hand lock 18 being turned with the opening to the closed space. Nitrogen can now flow through the space between the two cylinder walls of the lock 18 from the closed space into the space enclosed by the cylinders. By sucking the gas atmosphere out of the cylinder space and removing it via a suction system 21, the space 25 within the cylinder walls will be flushed with nitrogen and after some time the oxygen content of the atmosphere in the cylinder will have fallen to such an extent that it will fall below the desired percentage has fallen. Figure 5 then shows how also the second lock 18 has turned the outer cylinder so far about its axis that the opening thereof is also turned towards the closed space and nitrogen is passed through both locks and discharged via the extraction system 21.
In figuur 6 is weergegeven de stand van de cilinders van de beide sluizen 18, 19, nadat gemeten is dat het zuurstof gehalte van de atmosfeer genoeg gedaald is zodat ook de binnen cilinder 11 een halve slag kan worden gedraaid, en de openingen van beide cilinders van beide sluizen naar de gesloten ruimte zijn gekeerd, waarna de materialen uit 1 0 2 7 9 02 6 de sluis kunnen worden genomen en in de afgesloten ruimte naar de gewenste plaats binnen de gesloten ruimte 5 kunnen worden verplaatst. Nu kan ook continu de stiksof via de beide sluizen 22 met behulp van een ventilator 23 worden gerecirculeerd via een filter 24 om zoveel mogelijk stofdeeltjes uit de stikstofatmosfeer te vangen.Figure 6 shows the position of the cylinders of the two locks 18, 19, after it has been measured that the oxygen content of the atmosphere has fallen enough so that the inside of cylinder 11 can also be turned half a turn, and the openings of both cylinders from both locks are turned to the closed space, whereafter the materials can be taken out of the lock and moved in the closed space to the desired location within the closed space. It is now also possible to continuously recirculate the dust through the two locks 22 with the aid of a fan 23 via a filter 24 to capture as many dust particles as possible from the nitrogen atmosphere.
5 Figuur 7 geeft de stand weer nadat materialen uit de gesloten ruimte in de linker sluis 19 zijn geplaatst en vervolgens de buitenste cilinder 2 een halve slag is gedraaid. Nu kan met behulp van hetzelfde afzuigsysteem 21 lucht vanuit de cleanroom door de sluis worden geleid, waardoor de zuivere stikstof wordt afgevoerd en de atmosfeer binnen de cilinders wordt gewijzigd in lucht. Figuur 8 toont de linker sluis 19 waarbij de beide 10 cilinders weer met de openingen naar de cleanroom zijn gekeerd, waardoor de sluis toegankelijk wordt voor een persoon om de materialen uit de sluis te halen en eventueel weer opnieuw te beladen.Figure 7 shows the position after materials from the closed space have been placed in the left-hand lock 19 and then the outer cylinder 2 has been turned half a turn. Now, with the help of the same extraction system 21, air can be conducted from the cleanroom through the sluice, whereby the pure nitrogen is discharged and the atmosphere within the cylinders is changed into air. Figure 8 shows the left-hand lock 19 with the two cylinders again facing the cleanroom with the openings, whereby the lock becomes accessible for a person to remove the materials from the lock and possibly reload them again.
1027 9021027 902
Claims (9)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1027902A NL1027902C2 (en) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | Lock to be able to supply materials from and to an enclosed space where a certain gas atmosphere prevails and a method for moving materials to an enclosed space using the lock. |
| PCT/NL2005/000895 WO2006071115A1 (en) | 2004-12-28 | 2005-12-23 | Lock enabling materials to be fed from and to a closed space in which a defined gas atmosphere is present, and a method for moving materials to a closed space with the aid of the lock |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1027902 | 2004-12-28 | ||
| NL1027902A NL1027902C2 (en) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | Lock to be able to supply materials from and to an enclosed space where a certain gas atmosphere prevails and a method for moving materials to an enclosed space using the lock. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL1027902C2 true NL1027902C2 (en) | 2006-06-29 |
Family
ID=35427324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL1027902A NL1027902C2 (en) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | Lock to be able to supply materials from and to an enclosed space where a certain gas atmosphere prevails and a method for moving materials to an enclosed space using the lock. |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL1027902C2 (en) |
| WO (1) | WO2006071115A1 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE9110919U1 (en) * | 1991-08-30 | 1991-10-17 | Lipfert, Rolf, Dr., O-1193 Berlin, De | |
| JPH07254635A (en) * | 1994-03-15 | 1995-10-03 | Hitachi Ltd | Semiconductor producing apparatus |
| JPH10340874A (en) * | 1997-06-05 | 1998-12-22 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | Locally sealed cleaning apparatus |
| US5961269A (en) * | 1996-11-18 | 1999-10-05 | Applied Materials, Inc. | Three chamber load lock apparatus |
| WO2000002659A2 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | La Calhene, Inc. | Rapid transfer port |
-
2004
- 2004-12-28 NL NL1027902A patent/NL1027902C2/en not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-12-23 WO PCT/NL2005/000895 patent/WO2006071115A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE9110919U1 (en) * | 1991-08-30 | 1991-10-17 | Lipfert, Rolf, Dr., O-1193 Berlin, De | |
| JPH07254635A (en) * | 1994-03-15 | 1995-10-03 | Hitachi Ltd | Semiconductor producing apparatus |
| US5961269A (en) * | 1996-11-18 | 1999-10-05 | Applied Materials, Inc. | Three chamber load lock apparatus |
| JPH10340874A (en) * | 1997-06-05 | 1998-12-22 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | Locally sealed cleaning apparatus |
| WO2000002659A2 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | La Calhene, Inc. | Rapid transfer port |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1996, no. 02 29 February 1996 (1996-02-29) * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1999, no. 03 31 March 1999 (1999-03-31) * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2006071115A1 (en) | 2006-07-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| NL9200446A (en) | Apparatus for handling microcircuit disks (wafers). | |
| TW201218260A (en) | Ozone plenum as UV shutter or tunable UV filter for cleaning semiconductor substrates | |
| NL1007376C2 (en) | X-ray inspection device for an airbag pump with rotating entrance and exit doors. | |
| NL1027902C2 (en) | Lock to be able to supply materials from and to an enclosed space where a certain gas atmosphere prevails and a method for moving materials to an enclosed space using the lock. | |
| ATE349258T1 (en) | FILTER WITH ROTATABLE DISK-SHAPED FILTER ELEMENTS | |
| JP2001501693A (en) | Cryopump / getter pump combination pump and its regeneration method | |
| JP2010034392A (en) | Valve body, mechanism for preventing penetration of particle, exhaust controller, and substrate treatment apparatus | |
| ES2914694T3 (en) | Grinding assembly for a ball mill | |
| KR910014288A (en) | Units for handling and treating hazardous waste and solid waste | |
| EP0597779A1 (en) | Apparatus for processing medical waste | |
| US5685335A (en) | Lamp processing machine | |
| JP4536347B2 (en) | Herbal medicine freezing and grinding method and herbal medicine freezing and grinding apparatus | |
| KR20100137685A (en) | The device for supply water purifiction of the extracting medicinal liquid automatic packing machine | |
| JP4014729B2 (en) | UV cleaning equipment | |
| JP2000317342A (en) | Magnetic matter removing apparatus | |
| KR102396912B1 (en) | Plasma sterilizer | |
| JPH0731822A (en) | Dust collector | |
| EP0966638A1 (en) | Device for separating two zones with different environment | |
| JPS59207326A (en) | Discharging device for matter contained in drum | |
| CA2314526A1 (en) | Drum for garbage processing apparatus and associated apparatus | |
| US1220160A (en) | Apparatus for treating grain. | |
| JPH07754A (en) | Extremely low dew point air generator | |
| EP1167203B1 (en) | Conditioning plant for food products | |
| JP2007136383A (en) | Waste treatment apparatus for truck container | |
| CN111936236A (en) | Safety cabinet |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD2B | A search report has been drawn up | ||
| VD1 | Lapsed due to non-payment of the annual fee |
Effective date: 20090701 |