NL1023111C2 - Systeem en werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo. - Google Patents

Systeem en werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo. Download PDF

Info

Publication number
NL1023111C2
NL1023111C2 NL1023111A NL1023111A NL1023111C2 NL 1023111 C2 NL1023111 C2 NL 1023111C2 NL 1023111 A NL1023111 A NL 1023111A NL 1023111 A NL1023111 A NL 1023111A NL 1023111 C2 NL1023111 C2 NL 1023111C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
electrode
phase
potential
electrons
control unit
Prior art date
Application number
NL1023111A
Other languages
English (en)
Inventor
Sergey Wasiliewich Mitko
Original Assignee
Nl Ct Voor Laser Res B V
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nl Ct Voor Laser Res B V filed Critical Nl Ct Voor Laser Res B V
Priority to NL1023111A priority Critical patent/NL1023111C2/nl
Priority to PCT/NL2004/000224 priority patent/WO2004088708A2/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1023111C2 publication Critical patent/NL1023111C2/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J3/00Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J3/02Electron guns

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)

Description

Titel: Systeem en werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo.
De uitvinding heeft betrekking op een systeem voor het genereren van een elektronensalvo.
De uitvinding heeft tevens betrekking op een werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo.
5 Een dergelijke systeem is op zich bekend. Dergelijke bekende systemen omvatten veelal een kathode en een anode. Bij het aanlegen van een voldoende groot potentiaalverschil tussen de kathode en de anode worden elektronen aan de kathode ontrokken, of nabij de kathode aan bijvoorbeeld een metaal ontrokken, en versneld in de richting van de anode. 10 Een dergelijke systeem is veelal voorzien van een filament met een tip van bijvoorbeeld wolfraam of lanthanumboride. Het filament wordt veelal omgeven door de kathode die kapvormig is uitgevoerd en een nabij de tip gelegen uitsparing heeft. In veel voorkomende situaties is de anode plaatvormig en voorzien van een uitsparing die tegenover de uitsparing in 15 de kathode en tegenover de tip van het filament ligt. Bij elektronenemissie vanuit de tip banen de elektronen zich een weg door de uitsparingen die op één lijn liggen met de tip. Hierbij worden de elektronen versneld door het potentiaalverschil tussen de anode en de kathode. Een nadeel van een dergelijk systeem is dat de elektronen veelal pas uit de tip kunnen worden 20 onttrokken nadat de tip is verhit. Deze verhitting is nodig om de elektronen voldoende kinetische energie te geven om te kunnen ontsnappen uit de tip. Om het ontsnappen van de elektronen uit de tip te kunnen vergemakkelijken dienen geen vreemde atomen of moleculen op posities op het oppervlak van de tip aanwezig te zijn. Om zoveel mogelijk te voorkomen 25 dat vreemde atomen en/of moleculen plaats kunnen nemen op het oppervlak van de tip wordt de tip veelal in een relatief hoog vacuüm gehouden. Ondanks dit hoge vacuüm komt het toch voor dat vreemde atomen en/of moleculen plaatsnemen op het oppervlak van de tip. Deze vreemde atomen 1 n? 3111 2 en/of moleculen kunnen worden verwijderd door een enorme spanningspuls aan de tip te geven. Hiermee wordt als het ware de tip van de vreemde atomen en/of moleculen ontdaan. Helaas leidt de hoge spanningspuls veelal tot minuscule beschadigingen van de tip. De vorm van de tip, met name de 5 vorm van een beschadigde tip, leidt tot een inhomogene elektronenbundel, zowel in energetisch als in geometrisch opzicht. Het noodzakelijke vacumeren van de tip vereist bovendien de aanwezigheid van een aantal vacuümpompen en relatief dure materialen voor het behoud van het vacuüm. Het noodzakelijk vacumeren brengt ook met zich dat na een 10 vervanging van een teveel beschadigde tip enige tijd verloren gaat voordat de elektronenbron wederom actief kan zijn.
De uitvinding beoogt tegemoet te komen aan tenminste één van de bovengenoemde problemen.
Dit doel van de uitvinding wordt bereikt door het systeem volgens 15 de uitvinding, omvattende: een diëlektrisch lichaam; een inrichting voor het opwekken van een elektrisch veld; een bron van elektronen; en een besturingseenheid voor het besturen van de inrichting, waarbij de besturingseenheid in gebruik dusdanig stuurt dat, 20 · in een eerste fase van een cyclus elektronen vanuit de bron op het diëlektrisch oppervlak terechtkomen, en • in een tweede fase van de cyclus elektronen het diëlektrische oppervlak verlaten.
In de eerste fase van de cyclus is het elektrische veld van het 25 oppervlak van het diëlektrisch lichaam af gericht en verplaatsen de elektronen zich tegengesteld aan de richting van de elektrische veldlijnen naar het diëlektrisch lichaam verplaatsen. De sterkte van het veld is zodanig dat de elektronen vanuit de bron van elektronen de veldlijnen volgen.
3
In de tweede fase van de cyclus, is het elektrische veld naar het oppervlak van het diëlektrisch lichaam toe gericht en verplaatsen de elektronen zich tegengesteld aan de richting van de elektrische veldlijnen, van dat oppervlak af.
5 Voor het in de tweede fase van de cyclus loskomen van de elektronen van het diëlektrische oppervlak is een naar het oppervlak gericht elektronisch veld nodig waarvan de sterkte minimaal kan zijn. Dit brengt met zich dat het oppervlak zelf geen beschadiging behoeft te ondervinden ten gevolge van de sterkte van dat elektrische veld. Dit verhoogt de 10 levensduur van het lichaam met het diëlektrische oppervlak.
Voor een bijzonder uitvoeringsvorm geldt dat de inrichting voorts is voorzien van een eerste en een tweede elektrode en een spanningsbron voor het aanleggen van een potentiaalverschil tussen de eerste en de tweede elektrode, waarbij de eerste elektrode zodanig tegen het diëlektrische 15 lichaam aanligt dat het diëlektrische lichaam in hoofdzaak tussen de eerste en de tweede elektrode is gelegen, waarbij de besturingseenheid is ingericht om: in de eerste fase een potentiaalverschil tussen de eerste elektrode en de tweede elektrode zodanig aan te leggen dat de eerste elektrode positief is ten opzichte van de tweede elektrode.
20 Doordat, in gebruik, in de eerste fase van de cyclus de eerste elektrode positief is ten opzichte van de tweede elektrode zullen elektronen zich in de richting van de eerste elektrode begeven en althans een aantal van deze elektronen zal terechtkomen op het diëlektrische lichaam. Deze elektronen kunnen bijvoorbeeld zijn ontrokken aan de tweede elektrode. De 25 tweede elektrode fungeert dan als bron van elektronen. Het is ook mogelijk dat een zich tussen de eerste elektrode en de tweede elektrode bevindend gas als bron van elektronen ontlaadt en dat de daardoor vrijgekomen elektronen terechtkomen op het diëlektrische lichaam van de eerste elektrode. De elektronen volgen immers een richting die tegengesteld is aan 30 de richting van de elektrische veldlijnen die alsdan gericht zijn van 1n?3i11 diëlektrische lichaam naar de tweede elektrode. Immers, de tweede I elektrode is in de eerste fase van de cyclus negatief ten opzicht van de eerste I elektrode. De hoeveelheid elektronen die op het diëlektrische lichaam I terecht kunnen komen is volgens een theorie rechtevenredig met het I 5 potentiaalverschil tussen de eerste elektrode en de tweede elektrode. De I maximale hoeveelheid lading die volgens de theorie op het diëlektrische I lichaam kan worden opgenomen wordt gegeven door: eAUch Q = -waarin Q de hoeveelheid elektrische lading voorstelt, ε de 4nh I diëlektrische constante van het diëlektrische lichaam voorstelt, A het I 10 oppervlak van het diëlektrische lichaam is, UCh de positieve potentiaal van I de eerste elektrode ten opzichte van een geaarde tweede elektrode is en h de I dikte van het diëlektrische lichaam voorstelt wanneer het lichaam de vorm I van een laag heeft. Met andere woorden, wanneer het diëlektrische lichaam I is vervaardigd van een materiaal met een hoge diëlektrische constante, het 15 diëlektrische lichaam een groot oppervlak heeft, de positieve potentiaal van I de eerste elektrode ten opzichte van een geaarde tweede elektrode groot is, I en het diëlektrische lichaam relatief dun is, kunnen zeer veel elektronen I terecht komen op de diëlektrische deklaag. Wanneer de diëlektrische I deklaag de hoogst mogelijke hoeveelheid aan elektronen heeft opgenomen, I 20 zal de elektronenstroom naar de eerste elektrode stoppen. Er is als het ware I een evenwicht bereikt tussen het over de eerste en de tweede elektrode I aangebrachte potentiaalverschil en de hoeveelheid lading die op het I diëlektrische lichaam terecht is gekomen.
I Volgens een bijzondere uitvoeringsvorm geldt dat de I 25 besturingseenheid voorts is ingericht om in de tweede fase het I potentiaalverschil tussen de eerste en de tweede elektrode te laten afnemen.
I In de tweede fase van de cyclus wordt het potentiaalverschil tussen I de eerste en de tweede elektrode verlaagd, wanneer in de eerste fase een I hoeveelheid elektronen op het diëlektrische lichaam terecht is gekomen. In 5 de tweede fase zal vanaf een zeker potentiaalverschil een "overschot" aan elektronen op de het diëlektrische lichaam aanwezig zijn. Elektrische veldlijnen zullen zich nu richten van de tweede elektrode in de richting van het oppervlak van het diëlektrische lichaam. Immers, het diëlektrische 5 lichaam is alsdan negatief ten opzichte van de tweede elektrode. Met andere woorden, het overschot aan elektronen zal het diëlektrische lichaam verlaten en een richting volgen die tegengesteld is aan de richting van de elektrische veldlijnen. Het diëlektrische lichaam vormt in dat geval een generator van een elektronensalvo. Een voordeel van een dergelijke 10 generator is dat de elektronen niet aan het diëlektrische lichaam of aan de eerste elektrode behoeven te worden ontrokken. Het is niet nodig om het diëlektrische lichaam of de eerste elektrode te verwarmen. Het is ook niet nodig om het diëlektrische lichaam in een vacuüm te onderhouden.
Wanneer de elektronen het diëlektrische lichaam in de tweede fase verlaten 15 ontstaat er een nagenoeg homogeen elektronensalvo. Het diëlektrische lichaam zal nagenoeg geen beschadigingen ondervinden en derhalve kan de levensduur van het diëlektrische lichaam lang zijn.
Een bijzondere uitvoeringsvorm wordt gekenmerkt in dat de besturingseenheid is ingericht om in de tweede fase het potentiaalverschil te 20 laten afnemen naar nul. In dit geval zullen alle in de eerste fase op het diëlektrische lichaam op genomen elektronen het diëlektrische lichaam verlaten. Er is dan sprake van een elektronensalvo met een hoge stroomdichtheid.
In een bijzondere uitvoeringsvorm geldt bovendien dat de 25 besturingseenheid is ingericht om in een derde fase van de cyclus een zodanig potentiaalverschil tussen de eerste en de tweede elektrode aan te leggen dat in gebruik de elektronen zich daardoor versneld in de richting van de tweede elektrode begeven. In dit geval is het ook mogelijk om een homogeen elektronensalvo te verkrijgen met elektronen die een hoge 30 kinetische energie bezitten. Het is daarmee mogelijk om de kinetische i m 0 111 6 energie van de elektronen af te stemmen op het gewenste gebruik van het elektronensalvo.
Voorts geldt in het bijzonder dat de inrichting is ingericht om in de eerste en in de tweede fase aan de eerste elektrode een ten opzichte van de 5 potentiaal van de tweede elektrode positieve potentiaal op te leggen.
Dit biedt het voordeel dat er geen omschakeling nodig is. In het bijzonder geldt daarbij dat in de eerste fase en in de tweede fase de eerste elektrode is verbonden met eenzelfde positieve pool van de spanningsbron.
In dit geval is het in het geheel niet nodig om de eerste elektrode op te 10 nemen in een circuit dat is verbonden met de besturingseenheid.
Voorts kan gelden dat de besturingseenheid is ingericht om aan de eerste elektrode een eerste potentiaal op te leggen en om aan de tweede elektrode een tweede potentiaal op te leggen, waarbij geldt dat in de eerste fase de tweede potentiaal negatief is ten opzichte van de eerste potentiaal en 15 waarbij voorts geldt in de tweede fase de tweede potentiaal positief is ten opzichte van de eerste potentiaal.
In een dergelijk systeem behoeft de besturingseenheid slechts de tweede elektrode om te polen, hetgeen een relatief eenvoudige handeling is.
Een bijzondere uitvoeringsvorm wordt verder gekenmerkt in dat op 20 aan een van de eerste elektrode afgekeerde zijde van de tweede elektrode een derde elektrode is opgesteld, waarbij de inrichting voorts is ingericht om ten minste in de tweede fase een zodanige potentiaal aan de derde elektrode op te leggen dat de van het diëlektrische lichaam vrijgekomen elektronen in de richting van de derde elektrode worden versneld.
25 Dit biedt het voordeel dat de eenmaal van het diëlektrische lichaam vrijgekomen elektronen een hoge snelheid kunnen verkrijgen en de bundel derhalve een hoog energetische elektronenbundel kan worden.
Daarbij geldt in het bijzonder dat de besturingseenheid is ingericht om in de eerste fase een zodanige potentiaal aan de tweede elektrode op te 7 leggen dat het elektrische veld tussen de eerste en de tweede elektrode is gericht van de eerste elektrode naar de tweede elektrode.
Bij een dergelijke uitvoeringsvorm is het mogelijk dat de derde elektrode onveranderd gedurende de eerste en de tweede fase met een 5 positieve pool van een hoogspanningsbron is verbonden. Het is mogelijk dat in een dergelijke uitvoeringsvorm de besturingseenheid slechts de potentiaal van de tweede elektrode behoeft te besturen.
Bij voorkeur geldt voorts dat tussen de eerste en de tweede elektrode een geleider als elektronenbron is opgenomen, welke geleider is voorzien 10 van uitsparingen voor het ten minste in de tweede fase door de uitsparingen laten passeren van elektronen die zich van de eerste elektrode in de richting van de tweede elektrode verplaatsen. Hierbij is het mogelijk dat de geleider via een relatief hoge elektrische weerstand is verbonden met een elektronenbron. Hierbij kan gelden dat de weerstand elektrisch is 15 verbonden met de aarde die in dat geval als elektronenbron fungeert.
De geleider zal in een dergelijke uitvoeringsvormen veelal een potentiaal aannemen die ligt tussen de potentiaal van de eerste en de potentiaal van de tweede elektrode.
In het bijzonder geldt dat de besturingseenheid is ingericht om een 20 cyclus veelvuldig achtereenvolgens uit te voeren. Het is in dit geval mogelijk dat er een nagenoeg continue stroom van elektronen als bundel van elektronen kan worden verkregen.
Bij voorkeur geldt dat het eerste lichaam plaatvormig is uitgevoerd. Dit komt de homogeniteit van de elektronenbundel ten goede en 25 vergroot bovendien het opnemingsvermogen van het diëlektrische lichaam voor het op nemen van elektronen in de eerste fase.
Tevens geldt bij voorkeur dat de tweede elektrode is voorzien van tenminste een ring. Dit brengt met zich dat de elektronen die in de tweede fase het diëlektrische lichaam verlaten door de opening in de ring van de in? a 111 I 8 I tweede elektrode zich kunnen voortbewegen voor verder gebruik van de I elektronenbundel.
Het is ook mogebjk dat de tweede elektrode een rooster omvat. Dit I bevordert de homogeniteit van de elektronenbundel.
I 5 Bij voorkeur geldt dat het diëlektrische lichaam is vervaardigd van een keramiek of een polymeer. Deze materialen hebben doorgaans een hoge I diëlektrische constante.
I Zoals gesteld, de uitvinding heeft tevens betrekking op een I werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo, waarbij de 10 werkwijze ten minste het opwekken van een elektrisch veld omvat, met het I kenmerk, dat de werkwijze voorts een cyclus omvat waarvan een eerste fase I ten minste omvat: · het zodanig opwekken van het elektrisch veld dat elektronen op een I diëlectrisch lichaam terechtkomen; I 15 en waarvan een tweede fase ten minste omvat: I · , het zodanig opwekken van het elektrisch veld dat elektronen het I diëlectrisch lichaam verlaten.
De uitvinding wordt thans toegelicht aan de hand van een I tekening. Hierin toont: I 20 Fig. 1 schematisch een eerste uitvoeringsvorm van een systeem I volgens de uitvinding in gebruik in een eerste fase van de cyclus;
Fig. 2 het systeem volgens Fig. 1 in gebruik in een tweede fase van I de cyclus; I Fig. 3 schematisch een tweede uitvoeringsvorm van een systeem I 25 volgens de uitvinding in gebruik in een eerste fase van de cyclus; en I Fig. 4 het systeem volgens Fig. 3 in gebruik in een tweede fase van I de cyclus.
I Fig. 1 toont een eerste uitvoeringsvorm van een systeem 1 volgens I de uitvinding. Het systeem omvat een diëlectrisch lichaam dat hier is I 30 uitgevoerd als een diëlektrische deklaag. Het systeem 1 omvat voorts een 9 inrichting voor het opwekken van een elektrisch veld. In dit voorbeeld omvat de inrichting een eerste en een tweede elektrode en een spanningsbron 5 voor het aanleggen van een potentiaalverschil tussen de eerste en de tweede elektrode. Hierbij geldt dat de eerste elektrode zodanig 5 tegen het diëlectrische lichaam ligt dat het diëlectrische lichaam in hoofdzaak tussen de eerste en de tweede elektrode is gelegen. In de getoonde voorbeelden is het diëlectrische lichaam als een diëlectrische deklaag op de eerste elektrode 3 aangebracht. Voorts omvat het systeem een besturingseenheid B voor het besturen van de inrichting. De 10 besturingseenheid B bestuurt in gebruik dusdanig dat in een eerste fase van een cyclus, zoals getoond in Fig. 1, elektronen vanuit de bron op het diëlektrische oppervlak terechtkomen. Voorts bestuurt de besturingseenheid B in gebruik dusdanig dat in een tweede fase van de cyclus elektronen het diëlektrische oppervlak verlaten. De tweede elektrode kan in dit voorbeeld | 15 tevens als bron van elektronen fungeren.
In dit voorbeeld is de eerste elektrode 3 plaatvormig uitgevoerd. De tweede elektrode 4 kan eveneens in hoofdzaak plaatvormig uitgevoerd zijn.
De tweede elektrode 4 omvat in dit voorbeeld een rooster die schematisch in doorsnede is getoond. Zo kan de tweede elektrode elektrisch geleidend gaas 20 omvatten. De eerste elektrode 3 is in deze uitvoeringsvorm evenwijdig aan de tweede elektrode 4 opgesteld. De eerste elektrode 3 is voorts voorzien van een diëlektrische deklaag 6 die bijvoorbeeld een keramiek of een polymeer omvat. In deze uitvoeringsvorm is de tweede elektrode 4 geaard. De eerste elektrode 3 en de tweede elektrode 4 zijn parallel aan elkaar geschakeld met 25 een positieve pool van de spanningsbron 5. De besturingseenheid B is tenminste voorzien van een schakelaar S die tussen de tweede elektrode 4 en de spanningsbron 5 is opgenomen.
Met een dergelijk systeem 1 volgens de uitvinding is het mogelijk om een elektronensalvo te genereren. Hiertoe wordt in een eerste fase van 30 een cyclus een potentiaalverschil tussen de eerste elektrode 3 en de tweede 1073111 I 10 elektrode 4 zodanig aangebracht dat de eerste elektrode 3 positief is ten opzichte van de tweede elektrode 4. In het getoonde uitvoeringsvoorbeeld brengt dit met zich dat de besturingseenheid B de schakelaar S in een I geopende stand houdt. In dat geval is de potentiaal van de tweede elektrode I 5 4 gelijk aan nul; de potentiaal van de eerste elektrode 3 gelijk aan de I positieve pool van de spanningsbron 5; en het potentiaalverschil derhalve I gelijk aan de potentiaal UCh van de positieve pool van de spanningsbron 5.
I Het potentiaalverschil tussen de eerste elektrode 3 en de tweede elektrode 4 is zodanig dat er elektronen op de diëlektrische deklaag 6 van de eerste 10 elektrode 3 terechtkomen. Het is mogelijk dat elektronen zijn ontrokken aan I elektrode 4 die, in het uitvoeringsvoorbeeld, is geaard. In dat geval fungeert I de tweede elektrode 4 als een bron van elektronen. Het is ook mogelijk dat I een zich tussen de eerste elektrode 3 en de tweede elektrode 4 bevindend I gas ontlaadt, hetgeen resulteert in het vrijkomen van elektronen en I 15 positieve ionen. Het gas fungeert dan als een bron van elektronen. In elk I geval zullen de daarbij vrijgekomen elektronen onder invloed van het aanwezige elektrische veld E zich bewegen in de richting van de I diëlektrische laag 6 op de eerste elektrode 3. Eenmaal op de diëlektrische I deklaag 6 aangekomen, zullen de elektronen door de aanwezigheid van het I 20 elektrische veld E op de diëlektrische deklaag 6 worden gehouden.
I Een tweede fase van de cyclus omvat tenminste het I potentiaalverschil tussen de eerste elektrode 3 en de tweede elektrode 4 te I laten afnemen zodat de elektronen die diëlektrische deklaag 6 verlaten. Dit I wordt schematisch in Fig. 2 getoond.
I 25 In dit uitvoeringsvoorbeeld wordt de scheiding tussen de eerste I fase van de cyclus en de tweede fase van de cyclus bepaald door de stand I van de schakelaar S, hetgeen een zeer eenvoudige en zeer robuuste I besturingseenheid met zich brengt. Door het gebruik van maar één I schakelaar S kan de overgang een scherpe overgang zijn en één stap I 30 omvatten. Voor het van de eerste fase overgaan naar de tweede fase van de 11 cyclus sluit volgens dit voorbeeld de besturingseenheid B de schakelaar S.
Op het moment van sluiten van de schakelaar S zijn de potentialen van de eerste elektrode 3 en de tweede elektrode 4 in één stap aan elkaar gelijk. Immers, zowel de eerste elektrode 3 als de tweede elektrode 4 worden dan 5 geaard. Men zou ook kunnen stellen dat in de tweede fase van de cyclus de eerste elektrode wordt verbonden met de tweede elektrode en dat dientengevolge het potentiaalvershil tussen de eerste en de tweede elektrode in de tweede fase gelijk is aan nul. Het is daarbij niet noodzakelijk dat de eerste elektrode en de tweede elektrode in de tweede fase met de 10 aarde zijn verbonden. In de tweede fase ontstaat in elk geval door de aanwezigheid van de elektronen op de diëlektrische deklaag 6 een elektrisch veld E dat loodrecht op het oppervlak van de diëlektrische deklaag is gericht. De elektronen zullen de diëlektrische deklaag verlaten in een richting die tegengesteld is aan de richting van het elektrische veld E. Bij 15 . een inrichting volgens de getoonde uitvoeringsvorm zullen de elektronen in de richting van de tweede elektrode de diëlektrische deklaag verlaten. De elektronen zullen zich derhalve van de diëlektrische deklaag 6 af voortbewegen in de richting van de tweede elektrode 4.
De elektronen worden in dit voorbeeld niet door de tweede 20 elektrode 4 aangetrokken daar de tweede elektrode 4 geaard is. De elektronen zullen zich door het rooster verplaatsen en daarmee een elektronenbundel vormen. Het is nu mogelijk om zeer snel weer in de eerste fase van een volgende cyclus terecht te komen door het simpelweg met behulp van de besturingseenheid B in één stap sluiten van schakelaar S. Op 25 het wederom sluiten van schakelaar S, wordt de potentiaal van de eerste elektrode wederom Uch, en draait de richting van het elektrische veld weer om. Zo kunnen de cycli snel achtereenvolgens worden uitgevoerd door het snel schakelen van de schakelaar S. In het getoonde uitvoeringsvoorbeeld is een weerstand R opgenomen om ervoor zorg te dragen dat de spanningsbron 30 5 niet kort wordt gesloten in de tweede fase. Deze weerstand kan ook 102 3111 12 nagenoeg gelijk aan nul zijn. In dat geval is het raadzaam om de spanningsbron te voorzien van een beveiliging voor kortsluiting.
De besturingseenheid is in het getoonde uitvoeringsvoorbeeld ingericht om in de tweede fase het potentiaalverschil tussen de eerste 5 elektrode 3 en de tweede elektrode 4 naar nul te laten afnemen. Het is echter ook mogelijk dat het potentiaalverschil slechts kleiner wordt dan het potentiaalverschil dat aangelegd is in de eerste fase van de cyclus. In dat geval is bijvoorbeeld de tweede elektrode 4 in de tweede fase niet geaard en is in de schakelaar S een weerstand op genomen die een spanningsval 10 teweegbrengt. Het zal duidelijk zijn dat de besturingseenheid in een dergelijke situatie en ietwat complexere uitvoering vergt. Het is eveneens mogelijk dat de besturingseenheid B is ingericht om in de tweede fase het potentiaalverschil stapsgewijs te laten afnemen. In een dergelijke uitvoeringsvorm is bijvoorbeeld een in de schakelaar S opgenomen 15 weerstand bijvoorbeeld regelbaar uitgevoerd.
Het is voorts mogelijk dat de besturingseenheid is ingericht om in een derde fase van de cyclus een zodanig potentiaalverschil tussen de eerste elektrode 3 en de tweede elektrode 4 aan te leggen dat in gebruik de elektronen zich daardoor versneld in de richting van de tweede elektrode 4 20 begeven. In een dergelijke uitvoeringsvorm dient de tweede elektrode 4 in de derde fase positief te zijn ten opzichte van de eerste elektrode 3. Het is uiteraard ook mogelijk om direct in de tweede fase het potentiaalverschil te laten afnemen tot onder nul.
De besturingseenheid kan zijn ingericht om de cyclus veelvuldig 25 achtereenvolgens uit te voeren. Zo kan een uit een veelvoud van elektronensalvo's opgebouwde nagenoeg continue elektronenbundel worden gegenereerd. De besturingseenheid kan worden aangedreven met een op zich bekende hoge spanning elektrisch pulser die bijvoorbeeld is uitgerust met een inrichting voor resonerende ladingen of roterende "spark-gaps", 30 thyratrons, semiconducting opening switches etc. Het is eveneens mogelijk 13 om het generen van de elektronensalvo'sl uit te voeren in een omgeving met een ioniseerbaar gas. Het ioniseerbare gas kan bij het ontladen in de eerste fase elektronen vrijgeven die kunnen terechtkomen op de diëlektrische deklaag 6. In dit geval vormt het ioniseerbare gas de elektronenbron. Het is 5 mogelijk gebleken om in een Helium gas bij een druk van 30 millibar een elektronenbundel te genereren met een stroomdichtheid van circa 8 ampère per cm2, met een maximale energie van 15 kV bij gebruik van een diëlektrische deklaag met een oppervlak van 60 cm2. De cycli werden hierbij uitgevoerd met een frequentie van 200 Hz.
10 Het is niet ondenkbaar dat de elektronensalvo's eveneens wordt gegenereerd bij een atmosferische druk. De energie van de elektronensalvo's kan variërën van een paar kV tot honderden kVs. De vakman kan de relevante parameters zodanig afstemmen dat de elektronen een vooraf bepaalde energie hebben. De vakman kan met routine-experimenten 15 bepalen hoe de stroomdichtheid bijvoorbeeld afhangt van de frequentie waarmee de cycli worden uitgevoerd. De vakman kan bijvoorbeeld de dimensies van de eerste elektrode 3 en de tweede elektrode 4 vrij bepalen. Het is eveneens mogelijk om de afstand d tussen de eerste elektrode 3 en de tweede elektrode 4 naar wens af te stemmen. Ook de optimale dikte h van 20 de deklaag kan met behulp van routine-experimenten worden bepaald. De besturingsmiddelen kunnen zodanig zijn ingericht dat de frequentie waarmee de cycli worden uitgevoerd vooraf bepaald is, instelbaar is, of bijvoorbeeld afhangt van de in de eerste fase naar de diëlektrische deklaag 6 gerichte stroom van elektronen. Het is bijvoorbeeld niet uitgesloten dat een 25 detector, bijvoorbeeld aan de hand van deze stroom elektronen, bepaalt of op de diëlektrische deklaag 6 de maximale hoeveelheid elektronen is terechtgekomen. Bij bereiking van deze maximale hoeveelheid heeft het geen zin om de eerste fase langer te laten voortduren. De besturingsmiddelen kunnen dan overgaan tot het uitvoeren van de tweede fase van de 30 cyclus, of wachten op een nadere inspectie. De tweede elektrode 4 kan een 1 no q 1 1 1 14 rooster omvatten, echter ook een enkele ring. De tweede elektrode kan echter ook een elektrisch geleidende plaat met perforaties omvatten. Alhoewel de tweede elektrode bij voorkeur is voorzien van openingen waardoor de van de eerste elektrode vrijgekomen elektronen zich kunnen 5 voortbewegen, kan het voor bijzondere uitvoeringsvormen ook nuttig zijn dat de plaat gesloten is, dat wil zeggen, vrij van dergelijke openingen.
Uiteraard is het eveneens mogelijk om een veelvoud van aan elkaar geschakelde ringen te omvatten. Voorts is het ook mogelijk dat de eerste elektrode in hoofdzaak een cilinder omvat en de tweede elektrode een in 10 hoofdzaak coaxiaal om de eerste elektrode aangebrachte cilinder omvat. Het zal duidelijk zijn dat elke arbitrair gekozen positie en oriëntatie van de eerste elektrode en de tweede elektrode ten opzichte van elkaar binnen het raamwerk van de uitvinding mogelijk is. Voorts geldt dat zowel de eerste elektrode als de tweede elektrode in een arbitrair gekozen vorm kan worden 15 uitgevoerd. Hieronder volgt een voorbeeld van een parametersetting voor het in bedrijf zijn van de inrichting volgens de uitvinding.
De parameters kunnen zodanig worden ingesteld dat UCh/h < Ebr, waarbij UCh in dit geval het maximale potentiaalverschil tussen de eerste en de tweede elektrode is; d de afstand tussen de eerste en de tweede elektrode 20 is; h de dikte van de diëlektrische deklaag is, uitgedrukt in cm; en Ebr de diëlektrische sterkte is van het materiaal waarvan de diëlektrische deklaag is vervaardigd. Wanneer de werkwijze wordt uitgevoerd in een omgeving met He gas geldt bij voorkeur dat: hp/£<0,2; 25 * h/£d<l;en pd > 0,4.
waarbij p de gasdruk is, uitgedrukt in Torr; waarbij £ de diëlektrische constante is van het materiaal waarvan de diëlektrische deklaag is vervaardigd en waarbij h en d elk zijn uitgedrukt in cm.
15
Voor een der gelijke parametersetting is gebleken dat „ 100 Iff3 1 J-—tJi—i en p l A hl T ~(£AL/h)1/2 wanneer 5
Uch< 800 * (£/p4AL), waarbij J de maximale stoomdichtheid van de gegenereerde elektronenbundel is uitgedrukt in Ampère/cm2; A het oppervlak van de 10 deklaag is, uitgedrukt in cm2; L de met de ontlading van de eerste elektrode gepaard gaande inductie is, uitgedrukt in μΗ; en T de duur van een elektronenstoompuls is, uitgedrukt in ns. Hierbij geldt wederom dat h de dikte is van de diëlektrische deklaag en d de afstand tussen de eerste en de tweede elektrode is. Het is gebleken dat binnen het geldigheidsbereik van de 15 bovenstaande formule voor J, bij h=0.5 cm, £ =2000, A = 60 cm2, L= 0.2 μΗ en p = 10 mbar He de stroomdichtheid 60 A/cm2 bedraagt. Indien UCh kleiner is dan hier aangegeven zal de stroomdichtheid J toenemen terwijl de puisduur T zal afnemen ten opzichte van de hierboven vermelde waarde van J en T.
20 Fig. 3 toont een alternatieve uitvoeringsvorm van een systeem voor het genereren van een elektronensalvo volgens de uitvinding. Ook in dit geval omvat het systeem een diëlektrisch lichaam; een inrichting voor het opwekken van een elektrisch veld, een bron van elektronen; en een besturingseenheid voor het besturen van de inrichting. De inrichting omvat 25 ook in deze uitvoeringsvorm een eerste en een tweede elektrode en een spanningsbron voor het aanleggen van een potentiaalverschil tussen de eerste en de tweede elektrode. De eerste elektrode is zodanig tegen het diëlektrische lichaam aangelegen dat het diëlektrische lichaam in hoofdzaak 1023111 16 tussen de eerste en de tweede elektrode is gelegen. Ook in deze uitvoeringsvorm geldt dat het diëlektrische lichaam als een diëlektrische deklaag op de eerste elektrode is aangebracht. De besturingseenheid is ingericht om: in de eerste fase een potentiaalverschil tussen de eerste 5 elektrode en de tweede elektrode zodanig aan te leggen dat de eerste elektrode positief is ten opzichte van dé tweede elektrode. De bron van elektronen omvat in deze uitvoeringsvorm een tussen de eerste en de tweede elektrode 3, 4 opgenomen geleider. Deze geleider is voorts voorzien van uitsparingen voor het tenminste in de tweede fase door de uitsparing laten 10 passeren van elektronen die zich van de eerste elektrode in de richting van de tweede elektrode verplaatsen. In dit voorbeeld is de geleider roostervormig uitgevoerd zodat de uitsparingen inherent aanwezig. Deze geleider 7 is via een relatief hoge weerstand verbonden met een elektronenbron van. In het getekende voorbeeld is de geleider 7 via de 15 relatief hoge elektrische weerstand R verbonden met de aarde.
De besturingseenheid bestuurt de inrichting in gebruik dusdanig dat: in een eerste fase van een cyclus elektronen vanuit de bron 7 op het diëlektrische oppervlak 6 terechtkomen en in een tweede fase van de cyclus elektronen het diëlektrische oppervlak 6 verlaten. Hiertoe legt de 20 besturingseenheid B in de eerste fase met behulp van de niet getoonde spanningsbron een zodanig potentiaalverschil aan tussen de eerste en de tweede elektrode dat de eerste elektrode positief is ten opzichte van de tweede elektrode. Bij het systeem volgens het voorbeeld zoals getoond in de figuren 3 en 4 is de elektrode 3 zowel in de eerste als in de tweede fase 25 verbonden met een positieve pool 5 van een niet getoonde spanningsbron. In dit voorbeeld is het systeem zelfs zodanig ingericht dat zowel in de eerste fase als in de tweede fase een potentiaal in absolute zin ter grootte van UCh aan de eerste elektrode 3 wordt opgelegd. De besturingseenheid B is voorts ingericht om in de eerste fase een in absolute zin negatieve potentiaal UBw 30 aan de tweede elektrode 4 op te leggen.
17
De besturingseenheid B is voorts zodanig ingericht dat in de tweede fase ten opzichte van de aan de eerste elektrode opgelegde potentiaal, een positieve 5 potentiaal aan de tweede elektrode kan worden opgelegd. Er geldt dus dat de besturingseenheid is ingericht om aan de eerste elektrode een eerste potentiaal op te leggen en om aan de tweede elektrode een tweede potentiaal op te leggen. Hierbij geldt dat in de eerste fase de tweede potentiaal negatief is ten opzichte van de eerste potentiaal en waarbij voorts geldt in de tweede 10 fase de tweede potentiaal positief is ten opzichte van de eerste potentiaal.
In het getoonde voorbeeld brengt dit met zich dat de besturingseenheid zodanig is ingericht dat in de tweede fase de tweede potentiaal positief is ten opzichte van de eerste potentiaal.
Het systeem zoals getoond in de figuren 3 en 4 omvat voorts aan 15 één van de eerste elektrode afgekeerde zijde van de tweede elektrode opgestelde derde elektrode. Het systeem is ingericht om tenminste in de tweede fase een zodanige potentiaal aan de derde elektrode op te leggen dat de van de diëlektrische deklaag vrijgekomen elektronen in de richting van de derde elektrode worden versneld. In het getoonde voorbeeld is deze 20 potentiaal zowel in de eerste als in de tweede fase aan de derde elektrode opgelegd. In dat geval is de besturingseenheid B ingericht om in de eerste fase een zodanig potentiaal aan de tweede elektrode op te leggen dat het elektrisch veld tussen de eerste en de tweede elektrode in de eerste fase is gericht van de eerste elektrode naar de tweede elektrode.
25 De werking van deze uitvoeringsvorm is als volgt. In de eerste fase stuurt de besturingseenheid B dusdanig dat de tweede elektrode 4 wordt met behulp van schakelaar SR aangesloten op een negatieve pool Usw (neg) van een niet getoonde spanningsbron. Het dan geldende potentiaalverschil tussen de tweede elektrode 4 en de eerste elektrode 3 heeft tot gevolg dat er 30 een elektrisch veld ontstaat waarvan de veldlijnen zijn gericht zoals 1 ΠΟ Q 1 1 1 18 weergegeven met pijl E. Vanuit de bron van elektronen, in dit geval uitgevoerd als geleider 7, verplaatsten de elektronen zich zoals weergegeven met de pijlen 2 naar het diëlektrische oppervlak 6. Het spanningsverschil tussen de tweede elektrode 4 en de eerste elektrode 3 is overigens dusdanig 5 dat de elektrische veldlijnen tussen de geleider 7 en het diëlektrische oppervlak 6 gericht zijn van het diëlektrische oppervlak naar de geleider 7. Met andere woorden, een op de derde elektrode aangebrachte relatief hoge potentiaal heeft geen invloed op de in de eerste fase gewenste richting van de veldlijnen nabij het diëlektrische oppervlak.
10 In de tweede fase stuurt de besturingseenheid B de inrichting zodanig dat de tweede elektrode een ten opzichte van de eerste elektrode hogere positieve potentiaal verkrijgt. De schakelaar SR wordt daartoe omgeschakeld naar een pool met een andere potentiaal. In het getekende voorbeeld betreft het de potentiaal Usw (pos). In dit geval zullen de 15 elektrische veldlijnen zich loodrecht richten op het diëlektrische oppervlak 6. De op het diëlektrische oppervlak aanwezige elektronen zullen als gevolg daarvan het diëlektrische oppervlak verlaten in een richting die tegengesteld is aan de richting van de elektrische veldlijnen een en ander zoals uiteengezet bij de beschrijving van de eerste uitvoeringsvorm. De 20 potentiaal van de geleider 7 zal vanwege de hoge weerstand R in de verbinding van de geleider 7 met de aarde, een potentiaal aannemen die ligt tussen de potentiaal van de eerste elektrode 3 en de tweede elektrode 4. In de tweede fase is er derhalve sprake van een oplopende potentiaal in de richting van de derde elektrode. De van het diëlektrische oppervlak 25 vrijgekomen elektronen zullen in de richting van de derde elektrode owrden versneld. Het zal duidelijk zijn dat de afstand dl tussen de eerste elektrode en de geleider 7, de afstand d2 tussen de geleider 7 en de tweede elektrode, en de afstand d3 tussen de tweede elektrode 4 en de derde elektrode 9 door de vakman zodanig kan worden gekozen dat een optimale werking van het 30 systeem wordt verkregen. Met betrekking tot bijvoorbeeld de vorm van 19 elektroden gelden voor deze uitvoeringsvorm dezelfde opmerkingen als gemaakt bij de bespreking van de eerste uitvoeringsvorm, het is in beide uitvoeringsvormen mogelijk dat een naar de tweede elektrode toegekeerde zijde van het diëlektrisch lichaam enigszins concaaf is uitgevoerd. Dit 5 bevordert de bundelvorming.
Ook voor deze uitvoeringsvorm gelden dat de cyclus veelvuldig wordt herhaald met bijvoorbeeld een frequentie zoals aangegeven bij een bespreking van de figuren 1 en 2.
Ook voor deze uitvoeringsvorm geldt dat de cycli kunnen worden 10 uitgevoerd in een omgeving met ioniseerbaas gas, zoals bijvoorbeeld He. Het is ook mogelijk om de inrichting te plaatsen en te laten opereren in een omgeving met een atmosferische druk. Ook deze uitvoeringsvorm kan worden gebruikt ten behoeve van het genereren van röntgenstraling of het genereren van een plasma.
15 Dergelijke uitbreidingen en varianten worden elk geacht tot de uitvinding te behoren.
Λ no o -! 1

Claims (50)

1. Systeem voor het genereren van een elektronensalvo, omvattende: I een diëlektrisch lichaam; een inrichting voor het opwekken van een I elektrisch veld; een bron van elektronen; en een besturingseenheid voor het I besturen van de inrichting, waarbij de besturingseenheid in gebruik I 5 dusdanig stuurt dat, · in een eerste fase van een cyclus elektronen vanuit de bron op het I diëlektrisch lichaam terechtkomen, en · in een tweede fase van de cyclus elektronen het diëlektrische lichaam I verlaten. I 10
2. Systeem volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de inrichting I voorts is voorzien van een eerste en een tweede elektrode en een I spanningsbron voor het aanleggen van een potentiaalverschil tussen de I eerste en de tweede elektrode, waarbij de eerste elektrode zodanig tegen het diëlektrische lichaam aanligt dat het diëlektrische lichaam in hoofdzaak I 15 tussen de eerste en de tweede elektrode is gelegen en waarbij de I besturingseenheid is ingericht om: in de eerste fase een potentiaalverschil tussen de eerste elektrode en de tweede elektrode zodanig aan te leggen dat I de eerste elektrode positief is ten opzichte van de tweede elektrode.
3. Systeem volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de I 20 besturingseenheid voorts is ingericht om in de tweede fase het I potentiaalverschil tussen de eerste en de tweede elektrode te laten afnemen.
4. Systeem volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de I besturingseenheid is ingericht om in de tweede fase het potentiaalverschil te I laten afnemen naar nul. I 25
5. Systeem volgens conclusie 3 of 4, met het kenmerk, dat de I besturingseenheid is ingericht om in de tweede fase de eerste elektrode en I de tweede elektrode met elkaar te verbinden.
6. Systeem volgens één der conclusies 3-5, met het kenmerk, dat de besturingseenheid is ingericht om in de tweede fase de eerste elektrode en de tweede elektrode met de aarde te verbinden.
7. Systeem volgens één der voorgaande conclusies 3-6, met het kenmerk, 5 dat de besturingseenheid is voorzien van een schakelaar voor het in de tweede fase in één stap laten afnemen van het potentiaalverschil.
8. Systeem volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat de tweede elektrode is geaard, de eerste elektrode en de tweede elektrode parallel aan elkaar zijn geschakeld met een positieve pool van de spanningsbron, en de 10 schakelaar tussen de tweede elektrode en de spanningsbron is opgenomen.
9. Systeem volgens conclusie 3 met het kenmerk, dat de besturingseenheid is ingericht om in de tweede fase het potentiaalverschil te laten afhemen tot onder nul.
10. Systeem volgens één der conclusies 3-9, met het kenmerk, dat de 15 besturingseenheid is ingericht om in een derde fase van de cyclus een zodanig potentiaalverschil tussen de eerste en de tweede elektrode aan te leggen dat in gebruik de elektronen zich daardoor versneld in de richting van de tweede elektrode begeven.
11. Systeem volgens één der conclusies 3-10, met het kenmerk, dat de 20 tweede elektrode tevens als elektronenbron fungeert.
12. Systeem volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat tussen de eerste en de tweede elektrode een geleider als elektronenbron is opgenomen, welke geleider is voorzien van uitsparingen voor het ten minste in de tweede fase door de uitsparingen laten passeren van elektronen die zich van de eerste 25 elektrode in de richting van de tweede elektrode verplaatsen.
13. Systeem volgens conclusie 12, met het kenmerk, dat de geleider via een relatief hoge elektrische weerstand is verbonden met een elektronenbron.
14. Systeem volgens conclusie 13, met het kenmerk, dat de weerstand 30 met de aarde elektrisch is verbonden. m?3iii
15. Systeem volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de inrichting is ingericht om in de eerste en in de tweede fase aan de eerste elektrode een ten opzichte van de potentiaal van de tweede elektrode positieve potentiaal op te leggen.
16. Systeem volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat in de eerste fase en in de tweede fase de eerste elektrode is verbonden met eenzelfde positieve pool van de spanningsbron.
17. Systeem volgens conclusie 2 of één der conclusies 12-16, met het kenmerk, dat de besturingseenheid is ingericht om aan de eerste elektrode 10 een eerste potentiaal op te leggen en om aan de tweede elektrode een tweede potentiaal op te leggen, waarbij geldt dat in de eerste fase de tweede potentiaal negatief is ten opzichte van de eerste potentiaal en waarbij voorts geldt in de tweede fase de tweede potentiaal positief is ten opzichte van de eerste potentiaal.
18. Systeem volgens conclusie 16 en 17, met het kenmerk, dat de besturingseenheid zodanig is ingericht dat in de tweede fase de tweede potentiaal positief is ten opzichte van de eerste potentiaal.
19. Systeem volgens één der conclusies 2-18, met het kenmerk, dat op aan een van de eerste elektrode afgekeerde zijde van de tweede elektrode 20 een derde elektrode is opgesteld, waarbij de inrichting voorts is ingericht om ten minste in de tweede fase een zodanige potentiaal aan de derde elektrode op te leggen dat de van de diëlektrische vrijgekomen elektronen in de richting van de derde elektrode worden versneld.
20. Systeem volgens conclusie 17 en 19, met het kenmerk, dat de 25 besturingseenheid is ingericht om in de eerste fase een zodanige potentiaal aan de tweede elektrode op te leggen dat het elektrische veld tussen de eerste en de tweede elektrode is gericht van de eerste elektrode naar de tweede elektrode.
21. Systeem volgens één der conclusies, met het kenmerk dat de besturingseenheid is ingericht om de cyclus veelvuldig achtereenvolgens uit te voeren.
22. Systeem volgens één der conclusies 1-21, met het kenmerk, dat het 5 lichaam in hoofdzaak plaatvormig is uitgevoerd.
23. Systeem volgens een der conclusies 2-22, met het kenmerk dat een naar de tweede elektrode toegekeerde zijde van het diëlektrisch lichaam enigszins concaaf is uitgevoerd.
24 Systeem volgens één der conclusies 3-23, met het kenmerk, dat de 10 tweede elektrode in hoofdzaak plaatvormig is uitgevoerd.
25. Systeem volgens een der conclusies 2-24, met het kenmerk, dat de eerste elektrode evenwijdig aan de tweede elektrode is opgesteld.
26. Systeem volgens één der conclusies 2-21, met het kenmerk, dat de eerste elektrode in hoofdzaak een cilinder omvat en de tweede elektrode een 15 in hoofdzaak coaxiaal om de eerste elektrode aangebrachte cilinder omvat.
27. Systeem volgens één der conclusies 2-26, met het kenmerk dat de tweede elektrode is voorzien van tenminste een ring.
28. Systeem volgens één der conclusies 2-27, met het kenmerk dat de tweede elektrode een rooster omvat.
29. Systeem volgens één der conclusies 2-28, met het kenmerk, dat de tweede elektrode elektrisch geleidend gaas omvat.
30. Systeem volgens één der conclusies 3-28, met het kenmerk, dat de tweede elektrode is vervaardigd van een elektrisch geleidende plaat met perforaties.
31. Systeem volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het diëlektrische lichaam van een keramisch materiaal is vervaardigd.
32. Systeem volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het diëlektrische lichaam van een polymeer is vervaardigd.
33. Werkwijze voor het genereren van een elektronenbundel, waarbij 30 de werkwijze ten minste het opwekken van een elektrisch veld omvat, met r,0*11. 1 het kenmerk, dat de werkwijze voorts een cyclus omvat waarvan een eerste fase ten minste omvat: • het zodanig opwekken van het elektrisch veld dat elektronen op een diëlectrisch lichaam terechtkomen; 5 en waarvan een tweede fase ten minste omvat: • het zodanig opwekken van het elektrisch veld dat elektronen het diëlectrisch lichaam verlaten.
34. Werkwijze volgens conclusie 33, met het kenmerk, dat het lichaam een eerste elektrode omvat en het diëlektrische oppervlak als een 10 diëlektrische deklaag is aangebracht op de eerste elektrode, waarbij nabij de eerste elektrode een tweede elektrode is gelegen.
35. Werkwijze volgens conclusie 34, met het kenmerk, dat de eerste fase ten minste omvat: het zodanig aanleggen van een potentiaalverschil over de eerste elektrode 15 en de tweede elektrode dat de eerste elektrode positief is ten opzichte van de tweede elektrode .
36. Werkwijze volgens conclusie 34, met het kenmerk, dat de tweede fase ten minste omvat het laten afnemen van het potentiaalverschil tussen de eerste en de tweede elektrode zodat elektronen het diëlektrische lichaam 20 verlaten.
37. Werkwijze volgens conclusie 36, met het kenmerk, dat de tweede fase van de werkwijze omvat: • het potentiaalverschil naar nul laten afnemen.
38. Werkwijze volgens conclusie 36 of 37, met het kenmerk, dat de tweede 25 fase van de werkwijze omvat: • het met elkaar verbinden van de eerste en de tweede elektrode.
39. Werkwijze volgens één der conclusies 33-38, met het kenmerk, dat de tweede fase van de werkwijze omvat: • het met de aarde verbinden van de eerste en de tweede elektrode.
40. Werkwijze volgens één der conclusies 33-39, met het kenmerk, dat de tweede fase van de werkwijze omvat: • het met behulp van een schakelaar in een stap laten afhemen van het potentiaalverschil.
41. Werkwijze volgens één der conclusies 33-40 met het kenmerk, dat de tweede fase van de werkwijze omvat: • het met de aarde verbinden van de eerste en de tweede elektrode.
42. Werkwijze volgens conclusie 33 met het kenmerk, dat de tweede fase van de werkwijze omvat: 10. het tot onder nul laten afhemen van het potentiaal verschil.
43. Werkwijze volgens één der conclusies 33-42 met het kenmerk, dat de werkwijze in een derde fase van de cyclus omvat: • het tussen de eerste en de tweede elektrode aanleggen van een zodanig potentiaal verschil dat, in gebruik, de elektronen zich 15 daardoor versneld in de richting van de tweede elektrode begeven.
44. Werkwijze volgens conclusie 33, met het kenmerk, dat de werkwijze voorts omvat, het in de eerste fase aan de eerste elektrode opleggen van een potentiaal die positief is ten opzichte van de potentiaal van de tweede elektrode en het in de tweede fase aan de tweede elektrode opleggen van een 20 potentiaal die positief is ten opzichte van de potentiaal van de eerste elektrode.
45. Werkwijze volgens één der conclusies 33-44 met het kenmerk, dat de werkwijze omvat: • het veelvuldig achtereenvolgens uitvoeren van de cyclus.
46. Werkwijze volgens één der conclusies 33-45, met het kenmerk, dat de werkwijze wordt uitgevoerd in een omgeving met een ioniseerbaar gas.
47. Werkwijze volgens één der conclusies 33-46 met het kenmerk, dat het gas Helium omvat. < n o o 1 1 1
48. Werkwijze volgens één der conclusies 33-47 met het kenmerk, dat de werkwijze wordt uitgevoerd bij een atmosferische druk.
49. Gebruik van een systeem volgens één der conclusies 1-32 ten behoeve van het genereren van röntgenstraling.
50. Gebruik van een inrichting volgens één der conclusies 1-32 ten behoeve van het genereren van een plasma.
NL1023111A 2003-04-04 2003-04-04 Systeem en werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo. NL1023111C2 (nl)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1023111A NL1023111C2 (nl) 2003-04-04 2003-04-04 Systeem en werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo.
PCT/NL2004/000224 WO2004088708A2 (en) 2003-04-04 2004-04-05 System and method for generating an electorn beam

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1023111A NL1023111C2 (nl) 2003-04-04 2003-04-04 Systeem en werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo.
NL1023111 2003-04-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1023111C2 true NL1023111C2 (nl) 2004-10-05

Family

ID=33129156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1023111A NL1023111C2 (nl) 2003-04-04 2003-04-04 Systeem en werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo.

Country Status (2)

Country Link
NL (1) NL1023111C2 (nl)
WO (1) WO2004088708A2 (nl)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7615931B2 (en) 2005-05-02 2009-11-10 International Technology Center Pulsed dielectric barrier discharge
GB2464926A (en) * 2008-10-28 2010-05-05 Ex Beams Ltd Apparatus for generating an electron beam

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3824400A (en) * 1969-09-25 1974-07-16 K Lehovec Induced charge transfer devices
US4363774A (en) * 1978-01-24 1982-12-14 Bennett Willard H Production and utilization of ion cluster acceleration
US5508590A (en) * 1994-10-28 1996-04-16 The Regents Of The University Of California Flat panel ferroelectric electron emission display system

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3824400A (en) * 1969-09-25 1974-07-16 K Lehovec Induced charge transfer devices
US4363774A (en) * 1978-01-24 1982-12-14 Bennett Willard H Production and utilization of ion cluster acceleration
US5508590A (en) * 1994-10-28 1996-04-16 The Regents Of The University Of California Flat panel ferroelectric electron emission display system

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BENEDEK G ET AL: "Displacement and emission currents from PLZT 8/65/35 and 4/95/5 excited by a negative voltage pulse at the rear electrode", NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH, SECTION - A: ACCELERATORS, SPECTROMETERS, DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, NORTH-HOLLAND PUBLISHING COMPANY. AMSTERDAM, NL, vol. 393, no. 1-3, 1 July 1997 (1997-07-01), pages 469 - 473, XP004093002, ISSN: 0168-9002 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004088708A3 (en) 2005-07-07
WO2004088708A2 (en) 2004-10-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1404889B1 (en) Method and apparatus for plasma generation
EP1038045B1 (en) A method for magnetically enhanced sputtering
Bogolyubov et al. A powerful soft X-ray source for X-ray lithography based on plasma focusing
Brown et al. Broad‐beam multi‐ampere metal ion source
NL1023111C2 (nl) Systeem en werkwijze voor het genereren van een elektronensalvo.
GB2602458A (en) Additive manufacturing using powder bed fusion
CN105239048B (zh) 一种金属等离子体源及其应用
EP3394873A1 (en) Methods and devices for producing an electron beam
Beukema Effects of clumps and ion bombardment on electrical breakdown in vacuum
Roy et al. High-current density electron beam generation from a polymer velvet cathode
Lan et al. Mode transition of vacuum arc discharge and its effect on ion current
Einat et al. High-repetition-rate ferroelectric-cathode gyrotron
Yahya Effect of electrode separation in magnetron DC plasma sputtering on grain size of gold coated samples
Mitko et al. Generation of powerful electron beams in a dense gas with a dielectric-barrier-discharge-based cathode
JP3506717B2 (ja) プラズマ浸漬イオン注入用の変調器
Anders Chopping effect observed at cathodic arc initiation
Bokhan et al. Switching of 100-kV pulses in a planar “open” discharge with generation of counterpropagating electron beams
RU198751U1 (ru) Управляемый вакуумный защитный разрядник
CN210074425U (zh) 一种低气压脉冲气体开关
KR20040012264A (ko) 고효율 마그네트론 스퍼터링 장치
Hasegawa et al. Starting process of laser-triggered vacuum arc ion source
Kumar et al. Experimental Investigation of Pseudospark generated electron beam
RU2612308C1 (ru) Ионный двигатель с устройством защиты от дугового разряда в межэлектродном зазоре ионно-оптической системы
Biehe et al. Development of MEVVA ion source
Frolova et al. Generation of heavy metal ions with charge states 17+ in pulsed vacuum arc

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20091101