MXPA06008719A - Modular de luz espacial con estructura de compensacion optica integrada - Google Patents

Abstract

Un modulador de luz espacial comprende una estructura de compensaciónóptica integrada, por ejemplo, una estructura de compensaciónóptica acomodada entre un substrato y una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles, o una estructura de compensaciónóptica ubicada en el lado opuesto de los elementos de modulación de luz del substrato;los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles están configurados para modular la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato transparente;métodos para elaborar dichos moduladores de luz espacial involucran la fabricación de una estructura de compensaciónóptica sobre un substrato y la fabricación de una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles sobre la estructura de compensaciónóptica;la estructura de compensaciónóptica puede ser una estructura de compensaciónóptica pasiva;la estructura de compensaciónóptica puede incluir uno o más de una fuente de iluminación frontal suplementaria, un difusor, una máscara negra, un elementoóptico difractivo, un filtro de color, una capa antirreflejante, una estructura que difunda la luz, una disposición de microlentes, y una película holográfica.

Description

MODULAR DE LUZ ESPACIAL CON ESTRUCTURA DE COMPENSACIÓN ÓPTICA INTEGRADA CAMPO DE LA INVENCIÓN La presente invención se refiere a mejoras en la fabricación y rendimiento de moduladores de luz espacial tal como los moduladores interferométricos .

ANTECEDENTES DE LA INVENCIÓN Los moduladores de luz espacial son dispositivos de pantalla que contienen disposiciones de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles. Ejemplos de moduladores de luz espacial incluyen pantallas de cristal líguido y disposiciones de moduladores interferométricos . Los elementos de modulación de luz en dichos dispositivos típicamente funcionan alterando las características de la luz reflejada o transmitida a través de los elementos individuales, alterando así la apariencia de la pantalla.

SUMARIO DE LA INVENCIÓN Conforme los moduladores de luz espacial se vuelven cada vez más sofisticados, el inventor anticipa gue las dificultades asociadas con la fabricación de éstos, a causa de los flujos del proceso de fabricación actual, también aumentarán. Por consiguiente, el inventor ha desarrollado moduladores de luz espacial que tienen estructuras de compensación óptica integradas y métodos para elaborarlas. Una modalidad provee un modulador de luz espacial que incluye un substrato; una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles acomodados sobre el substrato y configurados para modular luz; y una estructura de compensación óptica; en donde la estructura de compensación óptica está acomodada entre el substrato y la pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles. En algunas modalidades, la estructura de compensación óptica es una estructura de compensación óptica pasiva. Una modalidad provee un modulador de luz espacial que incluye un substrato; una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles acomodados sobre él substrato y configurados para modular luz; y una estructura de compensación óptica; en donde la pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles está acomodada entre el substrato y la estructura de compensación óptica. La estructura de compensación óptica comprende por lo menos uno de un filtro de color, máscara negra, y capa antireflectante.

Otra modalidad provee un método para elaborar un modulador de luz espacial que incluye fabricar una estructura de compensación óptica sobre un substrato transparente; y fabricar una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles sobre la estructura de compensación óptica, los elementos de modulador de luz espacial están configurados para modular la luz transmitida a través del substrato transparente. En algunas modalidades, la fabricación de la estructura de compensación óptica incluye fabricar una estructura de compensación óptica pasiva. Otra modalidad provee un método para elaborar un modulador de luz espacial que incluye fabricar una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles sobre un substrato; y fabricar una estructura de compensación óptica sobre la pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles, los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles están configurados para modular la luz transmitida a través de la estructura de compensación óptica. La estructura de compensación óptica comprende por lo menos uno de un filtro de color, máscara, y capa antireflectante. Otra modalidad provee un modulador de luz espacial que incluye un substrato transparente, una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles acomodados sobre el substrato transparente, y configurados para modular la luz transmitida a través del substrato transparente, los elementos interferométricos de modulación de luz comprenden una cavidad y una pared móvil; y por lo menos una estructura de compensación óptica acomodada entre el substrato transparente y la pluralidad de elementos interferométricos de modulación de luz individualmente dirigibles, la estructura de compensación óptica comprende un difusor o filtro de color. Otra modalidad provee un modulador de luz espacial que incluye un substrato; un medio para modular la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato; y un medio para compensar la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato; en donde el medio para compensar la luz está operativamente acomodado entre el substrato y el medio para modular la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato. En algunas modalidades, el medio para compensar la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato es un medio para compensar de manera pasiva la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato. Otra modalidad provee un modulador de luz espacial que incluye un substrato; un medio para modular la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato; y un medio para compensar la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato; en donde los medios para modular la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato están operativamente acomodados entre el substrato y los medios para compensar la luz. Los medios para compensar la luz transmitida a través de, o reflejada del substrato comprende por lo menos uno de un filtro de color, máscara negra, y capa antireflectante . Otra modalidad provee un modulador de luz espacial hecho a través de un método que incluye fabricar una estructura de compensación óptica sobre un substrato transparente; y fabricar una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles sobre la estructura de compensación óptica, los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles están configurados para modular la luz transmitida a través del substrato transparente. Otra modalidad provee un modulador de luz espacial hecho a través de un método que incluye fabricar una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles sobre un substrato; y fabricar una estructura de compensación óptica sobre la pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles, los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles están configurados para modular la luz transmitida a través de la estructura de compensación óptica. La estructura de compensación óptica comprende por lo menos uno de un filtro de color, máscara negra, y capa antireflectante. Otras modalidades descritas en la presente invención también pueden proveer la fabricación simplificada en algunos casos. En otra modalidad, una región de pantalla comprende un elemento de modulación de luz blanco y negro y un filtro de color. El elemento de modulación de luz blanco y negro incluye una primera y segunda superficies reflectantes y una cavidad en medio de las mismas. La segunda superficie es móvil con respecto a la primera superficie. El filtro de color está configurado para transmitir luz a color cuando se ilumina con luz blanca. El filtro de color está colocado con respecto al elemento de modulación de luz para que la luz emitida desde el elemento de modulación de luz sea filtrada por el filtro de color. El elemento de modulación de luz blanco y negro puede comprender un modulador interferométrico en blanco y negro. El elemento de modulación de luz blanco y negro se puede incluir en una disposición de otros elementos de modulación de luz, tal como otros elementos de modulación en blanco y negro. También se pueden incluir filtros de color adicionales, posiblemente en una disposición. Los filtros de color con diferentes respuestas se pueden utilizar para diferentes elementos de modulación de luz para producir diferentes colores (por ejemplo, rojo, verde y azul) . En otra modalidad, una región de pantalla comprende una pluralidad de elementos de modulación de luz que incluyen primera y segunda superficies reflectantes y una cavidad en medio de las mismas. La segunda superficie es móvil con respecto a la primera superficie. La región de pantalla además comprende una pluralidad de elementos de filtro de color configurados para transmitir un rango más angosto de longitudes de onda cuando se ilumina con un rango más amplio de longitudes de onda. Los elementos de filtro de color están colocados con respecto a los elementos de modulación de luz para que la luz emitida desde los elemento de modulación de luz sea filtrada por los elementos de filtro de color. La primera superficie reflectante está separada de la segunda superficie reflectante por una distancia sustancialmente igual para cada una de la pluralidad de elementos de modulación de luz, cuando los elemento de modulación de luz emiten luz (por ejemplo, luz blanca) . Los elementos de modulación de luz pueden comprender elementos de modulación de luz blanco y negro. Los elementos de modulación de luz pueden comprender moduladores interferométricos u otros tipos de moduladores. Los elementos de modulación de luz pueden emitir luz cuando están en un estado reflectante, por ejemplo. La pluralidad de elementos de filtro de color puede incluir dos o tres o más elementos de filtro de color configurados para producir diferentes salidas de color (por ejemplo, rojo, verde, azul) . Los elementos de filtro de color pueden comprender material (por ejemplo, material teñido tal como fotorresistencia teñida) que transmite un rango más angosto de longitudes de onda cuando se ilumina con un rango más amplio de longitudes de onda. En varias modalidades, este material puede transmitir luz a color cuando se ilumina con luz blanca. En otra modalidad, una región de pantalla comprende una pluralidad de elementos de modulación de luz y una disposición de filtro de color. Cada uno de los elementos de modulación de luz incluye primera y segunda superficies reflectantes y una cavidad en medio de las mismas. La segunda superficie es móvil con respecto a la primera superficie. La disposición del filtro de color incluye una pluralidad de elementos de filtro de color configurados para transmitir un rango más angosto de longitudes de onda cuando se ilumina con un rango más amplio de longitudes de onda. La disposición de filtro de color está colocada con respecto a los elementos de modulación de luz para que la salida de luz de los elementos de modulación de luz sea filtrada por los elementos de filtro de color. La primera superficie reflectante está separada de la segunda superficie reflectante por una distancia sustancialmente igual para cada uno de la pluralidad de elementos de modulación de luz, cuando los elementos de modulación de luz emiten luz (por ejemplo, luz blanca) . Por lo menos dos de los elementos de filtro de color están configurados para producir una salida de color diferente. Otra modalidad incluye un método para fabricar un dispositivo de pantalla. En este método, se provee un elemento de modulación de luz blanco y negro. El elemento de modulación de luz blanco y negro que se provee, incluye primera y segunda superficies ópticas, en donde la segunda superficie óptica se puede mover con respecto a la primera superficie óptica. Un filtro de color está colocado con respecto al elemento de modulación de luz para que la salida de luz blanca del elemento de modulación de luz sea filtrada por el filtro de color. El filtro de color está configurado para transmitir luz a color cuando se ilumina con luz blanca. El elemento de modulación de luz blanco y negro puede comprender un modulador interferométrico blanco y negro. El elemento de modulación de luz blanco y negro se puede incluir en una disposición de otros elementos de modulación de luz, tal como otros elementos de modulación en blanco y negro. También se pueden incluir filtros de color adicionales, posiblemente en una disposición. Los filtros de color con diferentes respuestas se pueden utilizar ara diferentes elementos de modulación de luz para producir diferentes colores (por ejemplo, rojo, verde y azul) . Otra modalidad incluye un método para fabricar una región de pantalla. En este método, una pluralidad de elementos de modulación de luz incluyen, cada uno, una primera y segunda superficies ópticas y se provee una cavidad en medio de las mismas. La primera superficie reflectante está separada de la segunda superficie reflectante por una distancia sustancialmente igual para cada uno de la pluralidad de elementos de modulación de luz cuando los elementos de modulación de luz emiten luz. Los elementos de filtro de color están colocados con respecto a los elementos de modulación de luz para gue la luz emitida por los elementos de modulación de luz sea filtrada por elementos de filtro de color respectivos. En varias modalidades, los elementos de filtro de color pueden incluir material configurado para transmitir un rango angosto de longitudes de onda cuando se ilumina con un rango amplio de longitudes de onda. En algunas modalidades, los elementos de filtro de color se incluyen en una disposición. La disposición puede incluir por lo menos dos elementos de filtro de color configurados para producir diferentes salidas de color. Los elementos de modulación de luz pueden comprender elementos de modulación de luz en blanco y negro. Los elementos de modulación de luz pueden comprender moduladores interferométricos u otros tipos de moduladores. Los elementos de modulación de luz pueden emitir luz cuando están en un estado reflectante, por ejemplo. La pluralidad de elementos de filtro de color puede incluir dos o tres o más elementos de filtro de color configurados para producir diferentes salidas de color (por ejemplo, rojo, verde, azul). Los elementos de filtro de color pueden comprender material tal como un material teñido tipo fotorresistencia teñida. El material puede transmitir color cuando se ilumina con luz blanca. Otra modalidad incluye un dispositivo de pantalla que comprende medios para producir una señal de luz blanca modulada que incluye primera y segunda superficies ópticas, en donde la segunda superficie óptica se puede mover con respecto a la primera superficie óptica. El dispositivo de pantalla además comprende medios para filtrar la señal de luz blanca modulada para transformar la señal de luz blanca en una señal de luz a color.

Estas y otras modalidades se describen con mayor detalle a continuación.

BREVE DESCRIPCIÓN DE LAS FIGURAS Este y otros aspectos de la invención serán fácilmente aparentes a partir de la siguiente descripción y de las figuras anexas, las cuales pretenden ilustrar y no limitar la invención, y en donde: Las figuras ÍA y IB ilustran algunas características de un modulador interferométrico típico (ver figuras 1A y IB de la Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al) . La figura 2 ilustra algunas características de un modulador interferométrico típico (ver figura 2 de la Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al) . Las figuras 3A-3F ilustran películas de compensación óptica fabricadas en la superficie opuesta del substrato del cual reside una disposición de elementos de modulación de luz (ver figuras 6A - 6F de la Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al) . La figura 4 ilustra una película de compensación óptica (difusor) fabricada en la superficie opuesta del substrato del cual reside un elemento de modulación de luz. Las figuras 5A a 5C ilustran varias modalidades de moduladores de luz espacial que comprenden estructuras de compensación óptica integradas. La figura 6 ilustra una modalidad de un modulador de luz espacial que comprende una estructura de compensación óptica integrada que dispersa la luz. Las figuras 7A y 7B ilustran varias modalidades de moduladores de luz espacial que comprenden estructuras de compensación óptica integradas . La figura 8 ilustra una modalidad de un diagrama de flujo de proceso de fabricación para elaborar moduladores de luz espacial que comprenden estructuras de compensación óptica integradas. La figura 9 ilustra una modalidad de un modulador de luz espacial que comprende una estructura de compensación óptica integrada.

DESCRIPCIÓN DETALLADA DE LAS MODALIDADES PREFERIDAS Una modalidad preferida es un modulador interferométrico que incluye por lo menos una estructura de compensación óptica integrada. En algunas configuraciones, la estructura de compensación óptica está colocada entre el substrato y los elementos de modulación de luz del modulador interferométrico. En otras configuraciones, los elementos de modulación de luz están acomodados entre el substrato y la estructura de compensación óptica.

Varios ejemplos de moduladores interferométricos se describen en la Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al. Las figuras 1 y 2 ilustran algunas características de un modulador interferométrico típico (ver figuras 1 y 2 de la Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al y el texto correspondiente) . Refiriéndose a las figuras ÍA y IB, dos estructuras de modulador interferométrico 114 y 116, cada una incluye un espejo secundario 102 con un patrón corrugado 104 grabado en su superficie superior (exterior) 103, utilizando cualquiera de una variedad de técnicas conocidas. La corrugación no se extiende a través de la membrana 106 sobre la cual está formado el espejo, de manera que la superficie interior 108 del espejo permanece lisa. La figura IB revela el patrón de corrugación grabada 104 en el espejo secundario y la superficie interior lisa 112 la cual permanece después del grabado. El patrón corrugado, el cual se puede formar en una variedad de geometrías (por ejemplo, rectangular, piramidal, cónica) , provee rigidez estructural del espejo, haciéndolo más inmune a las variaciones en las tensiones de material, reduciendo la masa total, y evitando la deformación cuando se activa el espejo. En general, un modulador interferométrico, el cual no tiene ni voltaje aplicado ni algún voltaje de estado relativamente constante, o voltaje de polarización, aplicado, se considera que está en un estado quiescente y reflejará un color particular, un color quiescente. Tal como se hace referencia en la Publicación de Patente EUA número 2002/0126364 Al, el color quiescente queda determinado por el grosor del separador de sacrificio sobre el cual está fabricado el espejo secundario. Cada modulador interferométrico 114, 116 es rectangular y está conectado en sus cuatro esquinas a cuatro postes 118 a través de brazos de soporte tal como 120 y 122. En algunos casos (ver análisis en la Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al), la disposición de modulador interferométrico será operada a un voltaje de polarización constante seleccionado. En esos casos, el espejo secundario 102 generalmente mantendrá una posición quiescente la cual está más cera del espejo primario correspondiente 128 que sin ningún voltaje de polarización aplicado. La fabricación de moduladores interferométricos con brazos de soporte de diferente tamaño permite que la fuerza de restauración mecánica de cada modulador interferométrico quede determinada por su geometría. Por lo tanto, con el mismo voltaje de polarización aplicado a múltiples moduladores interferométricos, cada modulador interferométrico puede mantener una posición polarizada diferente (distancia desde el espejo primario) a través del control de las dimensiones del brazo de soporte y su constante de resorte resultante. Mientras más grueso sea el brazo de soporte, mayor será su constante de resorte. Por lo tanto, diferentes colores (por ejemplo, rojo, verde y azul) pueden ser desplegados por diferentes moduladores interferométricos sin requerir la deposición de separadores de diferente grosor. Más bien, se puede utilizar un solo separador, depositado y posteriormente retirado durante la fabricación, mientras se determina el color a través de la modificación de las dimensiones del brazo de soporte durante el único paso fotolitográfico empleado para definir los brazos. Por ejemplo, en la figura 2, los moduladores interferométricos 114, 116 se muestran en estados quiescentes con el mismo voltaje de polarización aplicado. Sin embargo, la separación en espacio 126 para el modulador interferométrico 114 es mayor que la separación en espacio 128 para el modulador interferométrico 116 en virtud de las dimensiones más grandes de sus brazos de soporte respectivos. También se conocen otros ejemplos de moduladores interferométricos. La Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al también describe varias estructuras de compensación óptica pasiva para reducir al mínimo el cambio de color conforme cambia el ángulo de incidencia (una característica típica de las estructuras interferométricas) y estructuras de compensación óptica activa para suministrar iluminación suplementaria. Por ejemplo, como se ilustra en las figuras 3A-3F (ver figuras 6A - 6F de la Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al) , una película de compensación óptica se puede fabricar en la superficie opuesta del substrato de la cual reside la disposición de elementos de modulación de luz. Dichas películas se pueden diseñar y fabricar en un número de formas, y se pueden utilizar entre sí . En la figura 3A, una película de compensación óptica pasiva 600 es una película holográfica de liberación de superficie o volumen. Una película holográfica de volumen se puede producir exponiendo un polímero fotosensible al patrón de interferencia producido por la intersección de dos o más fuentes de luz coherentes (por ejemplo, láser) . Utilizando las frecuencias y orientaciones de haz apropiadas se pueden producir patrones periódicos arbitrarios de índices refractivos dentro de la película. Una película holográfica de liberación de superficie se puede producir creando una matriz metálica que utilice cualquier número de técnicas de microfabricación conocidas por aquellos expertos en la técnica. La matriz se utiliza posteriormente para configurar la película. Dichas películas se pueden utilizar para mejorar la transmisión y reflexión de luz dentro de un cono definible de ángulos, reduciendo así al mínimo la luz fuera de eje. Los colores y la brillantez de una pantalla vista con luz en eje se mejoran, y el cambio de color se reduce debido a que la brillantez disminuye significativamente fuera del cono. En la figura 3B se ilustra otro enfoque de un dispositivo 604 en donde se fabrica una disposición de estructuras de compensación óptica pasiva 606 sobre el substrato. Estas estructuras, las cuales se pueden fabricar utilizando las técnicas a las que se hace referencia en la Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al, se pueden considerar cristales fotónicos, tal como se describe en el libro "Photonic Crystals", por John D. Joannopoulos, et al. Estos son disposiciones interferométricas esencialmente tridimensionales que muestran la interferencia desde todos los ángulos. Esto provee la capacidad para diseñar guías de onda, las cuales puede realizar un número de funciones, incluyendo la canalización de la luz incidente de algunas frecuencias a los píxeles apropiadamente coloreados, o cambiando la luz de un cierto ángulo de incidencia a un nuevo ángulo de incidencia, o alguna combinación de ambos. En otro ejemplo de una estructura de compensación óptica pasiva, vista en la figura 3C, una película polimérica de tres capas 610 contiene partículas suspendidas. Estas partículas en realidad son espejos dieléctricos de una sola capa o de múltiples capas que han sido fabricadas en la forma de placas microscópicas. Estas placas, por ejemplo, se pueden fabricar mediante deposición de películas dieléctricas de múltiples capas sobre una lámina de polímero la cual, cuando se disuelve, deja una película que se puede "agrupar" en una forma que produzca las placas. Las placas se mezclan sustancialmente en un precursor de plástico líquido. Mediante la aplicación de campos eléctricos durante el proceso de curado, la orientación de estas placas se puede fijar durante la fabricación. Los espejos se pueden diseñar para que solo se reflejen a un rango de ángulos rasantes. En consecuencia, la luz es reflejada o transmitida dependiendo del ángulo de incidencia con respecto al espejo. En la figura 3C, la capa 612 está orientada para reflejar luz 609 de alta incidencia que entra a la película 610 más cerca de la perpendicular. La capa 614 refleja la luz 613 de menor incidencia en una trayectoria más perpendicular. La capa 616 modifica la luz incidente de ángulo aún menor 615. Debido a gue las capas afectan de manera mínima la luz que se acerca de forma perpendicular, éstas pueden actuar como un "filtro de incidencia de ángulo selectivo" teniendo como resultado gue la luz incidente aleatoriamente orientada se acople en el substrato con un grado superior de perpendicularidad. Esto reduce al mínimo el cambio de color de una pantalla vista a través de esta película.

En otro ejemplo de una estructura de compensación óptica pasiva, que se ilustra en la figura 3D, se utilizan micro-lentes 622 en una disposición en el dispositivo 620. Cada lente 622 se puede utilizar para mejorar el factor de relleno de la pantalla mediante el agrandamiento efectivo del área activa de cada píxel. Este enfoque puede ser utilizado por sí mismo o en conjunto con las otras películas de compensación de cambio de color. En un ejemplo de una estructura de compensación óptica activa, que se ilustra en la figura 3E, el dispositivo 624 utiliza iluminación suplementaria en la forma de una disposición de iluminación frontal. En este caso, se puede depositar y configurar sobre el substrato, material que emita luz orgánica 626, por ejemplo, estructuras Alq/diamina y poli (fenileno-vinileno) . La vista superior, figura 3F, revela un patrón 627 que corresponde con la disposición de modulador interferométrico debajo. Es decir, las áreas que emiten luz 626 están diseñadas para oscurecer las áreas inactivas entre el modulador interferométrico, y permitir una abertura clara en las regiones restantes. La luz es emitida de manera activa en el substrato sobre el modulador interferométrico y, posteriormente, es reflejada de regreso al telespectador. Por el contrario, una película de emisión configurada se puede aplicar a la placa posterior de la pantalla y se puede transmitir luz hacia delante a través de los espacios entre los sub-píxeles. Al configurar un espejo en la parte frontal de la pantalla, esta luz se puede reflejar de regreso sobre la disposición de modulador interferométrico. Fuentes de luz periféricamente montadas junto con películas que se basan en la reflexión interna total son todavía otro enfoque. La Patente EUA número 6,055,090 también describe un modulador interferométrico que tiene una estructura de compensación óptica activa que incluye una fuente de iluminación frontal suplementaria. La figura 4 ilustra un modulador interferométrico que comprende una película de compensación óptica (un difusor 22) fabricado en la superficie opuesta del substrato de la cual reside un elemento de modulación de luz. El difusor 22 generalmente compensa la apariencia especular de una disposición de modulador de luz espacial no compensado, por ejemplo, haciendo la apariencia de disposición reflectante menos parecida a un espejo y más parecida al papel. En la figura 4, un elemento de modulación de luz 8 comprende una pared móvil o elemento 16, una cavidad 20 y un poste de soporte 18. Como se ilustra en la figura 4, la pared móvil 16 está soportada sobre la cavidad 20 por el poste de soporte 18. Una pila óptica 14 forma una pared de la cavidad 20 opuesta a la pared móvil 16. La pila óptica 14 se puede considerar parte del elemento de modulación de luz 8. La pila óptica 14 está fabricada sobre un substrato transparente 12, y el difusor 22 está fabricado sobre el lado opuesto del substrato 12 del elemento de modulación de luz 8. En operación, la pared móvil 16 se mueve a través de planos paralelos a la pared frontal de la cavidad 20. La pared móvil 16 es altamente reflectante y típicamente comprende un metal. Conforme la pared móvil 16 se mueve hacia la pila óptica 14 en el lado opuesto de la cavidad 12, ocurre una auto-interferencia de luz (que típicamente entra a través del substrato transparente 12 y la pila óptica 14) dentro de la cavidad 20. El color de la luz reflejada que sale de la cavidad a través del substrato transparente 12 y la pila óptica 14 se puede controlar modificando la distancia entre la pila óptica 14 y la pared móvil 16. La superficie del substrato transparente 12 en contacto con la pila óptica 14 es la superficie sobre la cual se fabrica el elemento de modulación de luz 8. El difusor 22 típicamente está fabricado o fijo a la superficie opuesta del substrato transparente 12 después de la fabricación del elemento de modulación de luz 8. Como se ilustra en la figura 4 y a través de la descripción de la Publicación de Patente EUA Número 2002/0126364 Al, las estructuras de compensación óptica pasiva para moduladores de luz espacial típicamente se fabrican en la superficie opuesta del substrato de la cual reside la disposición de elementos de modulación de luz para facilitar los flujos de proceso de fabricación existentes. La fabricación del sistema de pantalla general típicamente involucra la producción de varios componentes por separado, tal como las estructuras de compensación óptica pasiva, las estructuras de modulador interferométrico, los circuitos electrónicos de activación, las funciones de control de gráficos, etc., y después la integración de los mismos en una etapa posterior en el flujo del procesamiento de fabricación. La producción de los diversos componentes por separado y después la integración de los mismos en una etapa posterior simplifica la tarea delicada de fabricar los elementos de modulación de luz reduciendo la necesidad de los esquemas de deposición compleja y micro-fabricación. Conforme los moduladores de luz espacial se vuelven cada vez más sofisticados, se anticipa que también aumentarán las dificultades asociadas con su fabricación a través de los flujos de proceso de fabricación actuales. Por consiguiente, se han desarrollado moduladores de luz espacial que tienen estructuras de compensación óptica integradas y métodos para elaborarlas. Una modalidad provee moduladores de luz espacial que tienen una estructura de compensación óptica integrada, por ejemplo, una estructura de compensación óptica ubicada entre el substrato y los elementos de modulación de luz, y una estructura de compensación óptica ubicada en el lado opuesto de los elementos de modulación de luz del substrato. La estructura de compensación óptica puede ser activa o pasiva, según se desee. En este contexto, una estructura de compensación óptica "pasiva" es una que no suministra una fuente de iluminación frontal suplementaria. Como se analizó anteriormente, la figura 4 ilustra una película de compensación óptica pasiva (un difusor 22) fabricado en la superficie opuesta del substrato del cual reside un elemento de modulación de luz. En la figura 4, el elemento de modulación de luz 8 es un modulador interferométrico que comprende la pared móvil o elemento 16, la cavidad 12, el poste de soporte 18. La pila óptica 14 es fabricada en el substrato transparente 12, y el difusor 22 es fabricado en el lado opuesto del substrato 12 del elemento de modulación de luz 8. La pila óptica 14 se puede considerar parte del elemento de modulación de luz 8. Aquellos expertos en la técnica apreciarán que, en algunas modalidades, un modulador interferométrico puede modular entre un estado en negro o estado de absorción y un estado reflectante. El estado reflectante es un estado basado en la no interferencia gue parece ser blanca. Aunque el estado blanco en estas modalidades no depende particularmente de las características de interferencia del modulador, los elementos de modulación de preferencia tienen una estructura que es similar a aquellas modalidades de moduladores interferométricos que se basan en las características de interferencia y a las que se hará referencia en la presente invención. Los moduladores interferométricos pueden modular entre un estado de absorción y un estado de interferencia, entre un estado de absorción y un estado reflectante, entre un estado reflectante y un estado de interferencia, o entre dos estados de interferencia diferentes. La figura 5A ilustra una modalidad de un modulador de luz espacial 40 en el gue está acomodada una estructura de compensación óptica pasiva (difusor 41) entre un substrato 42 y un elemento de modulación de luz 44, en lugar de estar en el lado opuesto del substrato del elemento de modulación de luz, como se muestra en la figura 4. En la modalidad que se ilustra en la figura 5A, el elemento de modulación de luz 44 es un modulador interferométrico gue comprende una cavidad 45, una pared móvil 46, una pila óptica 43 y un soporte 47. La pila óptica 43 está en la pared de la cavidad 45 que está opuesta a la pared móvil 46. En la modalidad que se ilustra, el modulador de luz espacial 40 además comprende una capa de planarización 48 entre el substrato 42 y la pila óptica 43. Tanto la pared móvil 46 como la pila óptica 43 son reflectantes, de manera que la operación del modulador espacial de luz 40 generalmente es similar a aquella descrita para el modulador de luz espacial 10 que se ilustra en la figura 4. Típicamente, el substrato 42 es por lo menos parcialmente transparente. Aquellos expertos en la técnica apreciarán que el elemento de modulación de luz 44 se puede configurar en una disposición que comprenda una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles acomodados sobre un substrato transparente y configurados para modular la luz transmitida a través del substrato transparente. Aquellos expertos en la técnica también apreciarán que el difusor 41 que se ilustra en la figura 5A es representativo de varias estructuras de compensación óptica (tanto activa como pasiva) que se pueden acomodar entre el substrato y la pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles. Por ejemplo, una estructura de compensación óptica activa puede suministrar una fuente de iluminación frontal suplementaria. Ejemplos no limitativos de estructuras de compensación óptica pasiva incluyen una capa antireflectante, un elemento óptico difractivo, una estructura que dispersa la luz, una máscara negra, un filtro de color, una disposición de microlentes, una película holográfica (por ejemplo, que mitigue un cambio en el color reflejado con respecto a un ángulo de incidencia de la luz transmitida a través del substrato transparente) , o una combinación de los mismos. En la figura 5, el elemento de modulación de luz 44 comprende un modulador interferométrico, pero también se pueden utilizar otros moduladores de luz espacial. La figura 5B ilustra una modalidad de un modulador de luz espacial 33 en donde está acomodada una estructura de compensación óptica pasiva (máscara negra 32) entre un substrato transparente 12 y un elemento reflectante 31. El elemento reflectante puede ser una pila óptica. Se pueden utilizar máscaras negras, tal como la máscara negra 32 para enmascarar partes de la estructura del modulador de luz espacial que no se desea sean vistas por el telespectador. Para propósitos de claridad, en la figura 5B se omite un elemento o elementos de modulación de luz (por ejemplo, una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles) , pero se entiende que están acomodados sobre el substrato transparente 12 y que están configurados para modular la luz transmitida a través del substrato transparente 12. Por ejemplo, el elemento de modulación de luz de la figura 5B puede comprender una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles acomodados sobre el elemento reflectante 31, tal como se analizó anteriormente con respecto a la figura 5A. El modulador de luz espacial 33 puede incluir una capa de planarización 30, por ejemplo, entre la máscara negra 32 y el elemento reflectante 31, como se muestra en la figura 5B. La figura 5C ilustra una modalidad de un modulador de luz espacial 37 en el que está acomodada una estructura de compensación óptica pasiva (que comprende elementos de filtro de color 34, 36, 38) entre un substrato transparente 12 y un elemento reflectante 39. Al igual que en la figura 5B, el elemento reflectante 39 puede ser una pila óptica. En la modalidad que se ilustra, los elementos de filtro de color 34, 36, 38 son rojo, verde y azul, respectivamente, pero aquellos expertos en la técnica pueden seleccionar otros colores para que el modulador de luz espacial resultante produzca los colores deseados. Al igual que en la figura 5B, en la figura 5C se omite un elemento o elementos de modulación de luz (por ejemplo, una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles) para propósitos de claridad, pero se entiende que están acomodados sobre el substrato transparente 12 y que están configurados para modular la luz transmitida a través el substrato transparente 12. Por ejemplo, el elemento de modulación de luz de la figura 5C puede comprender una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles acomodados sobre la pila óptica, tal como se analizó anteriormente con respecto a la figura 5A. El modulador de luz espacial 37 puede incluir una capa de planarización 30, por ejemplo, entre los elementos del filtro de color 34, 36, 38 y la pila óptica 39, como se muestra en la figura 5C. Los moduladores interferométricos que producen solo blanco y negro se pueden utilizar en combinación con filtros de color para producir luz a color. Los moduladores interferométricos se pueden fabricar para producir varios colores variando el tamaño de la cavidad. Sin embargo, la variación del tamaño de la cavidad puede involucrar una modificación del proceso de fabricación, por ejemplo, fabricando una cavidad de diferente tamaño para un modulador interferométrico que produce luz verde que para un modulador interferométrico que produce luz roja. El uso de los moduladores interferométricos en blanco y negro en combinación con filtros de color pueden simplificar sustancialmente el proceso de fabricación. Otras mejoras en el proceso de fabricación se realizan mediante la incorporación del filtro de color en el modulador interferométrico, como se ilustra en la figura 5C. La figura 6 ilustra una modalidad de un modulador de luz espacial 100 en donde una estructura de compensación óptica pasiva 105 (una capa de planarización que comprende un elemento de difusión 110) está acomodada entre un substrato transparente 115 y un elemento de modulación de luz 120. En la modalidad que se ilustra en la figura 6, el elemento de modulación de luz 120 es un modulador interferométrico que comprende una cavidad 130, una pared móvil 125, y una pila óptica 135. La pila óptica 135 está en la pared de la cavidad 130 que está opuesta a la pared móvil 125. Tanto la pared móvil 125 como la pila óptica 135 son reflectantes (la pila óptica 135 es parcialmente reflectante) , de manera que la operación del modulador de luz espacial 100 generalmente es similar a aquella descrita para el modulador de' luz espacial 10 que se ilustra en la figura 4. La luz 140 pasa a través de una ranura 150 en la pared móvil 125 y se refleja del elemento de difusión 110 para que éste difunda la luz 140 de regreso a la pared móvil 125 (y en algunos casos, de regreso otra vez al elemento de difusión 110) , pasando por último a través del substrato transparente 115 y las salidas 160, 165, como se muestra en la figura 6. De preferencia, el elemento de difusión 110 está configurado para que la luz 140 se difunda de manera aleatoria. Para propósitos de claridad, en la figura 6 se ilustra un solo elemento de difusión 110 y una sola ranura 150, pero se entenderá que el modulador de luz espacial 100 puede comprender una pluralidad de elementos de difusión y ranuras, acomodados para proveer la cantidad deseada de luz difundida. Las figuras 7A y 7B ilustran modalidades de moduladores de luz espacial que comprenden diferentes combinaciones de estructuras de compensación óptica integradas. La figura 7A ilustra una modalidad de un modulador de luz espacial 60 en donde una estructura de compensación óptica pasiva (que comprende un elemento de filtro de color 34 y una máscara negra 32) está acomodada entre un substrato transparente 12 y una pila óptica 61. La figura 7B ilustra una modalidad de un modulador de luz espacial 62, en donde una primera estructura de compensación óptica pasiva (que comprende un elemento de filtro de color 40 y una máscara negra 32) y una segunda estructura de compensación óptica pasiva (que comprende un difusor 26) están acomodadas entre un substrato transparente 12 y una pila óptica 63. Al igual que en las figuras 5B y 5C, para propósitos de claridad, en las figuras 7A y 7B se omite un elemento o elementos de modulación de luz (por ejemplo, una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles) , pero se entiende que están acomodados sobre el substrato transparente 12 y configurados para modular la luz transmitida a través del substrato transparente. Los moduladores de luz espacial 60, 62 pueden incluir una capa de planarización 30, por ejemplo, entre la estructura de compensación óptica pasiva (que comprende el elemento de filtro de color 34 y la máscara negra 32) y la pila óptica 61, como se muestra en la figura 7A, o entre la primera y segunda estructuras de compensación óptica pasiva, como se muestra en la figura 7B. El modulador de luz espacial puede incluir una capa de planarización adicional, por ejemplo, una capa de planarización 35 como se muestra en la figura 7B, entre la primera estructura de compensación óptica pasiva (que comprende un elemento de filtro de color 40 y una máscara negra 32) y la pila óptica 63. Los moduladores de luz espacial pueden comprender una estructura de compensación óptica que ejecute una o más funciones (por ejemplo, un filtro de color y una máscara negra, como se ilustra en la figura 7A) , y/o la estructura de compensación óptica puede comprender múltiples capas, opcionalmente separadas entre sí por capas de planarización (por ejemplo, como se ilustra en la figura 7B) . Aquellos expertos en la técnica apreciarán que el término "estructura de compensación óptica" se puede utilizar para referirse a una estructura que tenga una función particular (por ejemplo, el difusor 26), una capa que tenga múltiples funciones (por ejemplo, que comprenda el elemento de filtro de color 34 y la máscara negra 32) , o múltiples capas, cada una con una o más funciones, tal como se ilustra en la figura 7B, incluyendo opcionalmente la capa de planarización. Por lo tanto, los moduladores de luz espacial pueden comprender cualquier combinación de estructuras de compensación óptica activa y/o pasiva, por ejemplo, máscara negra y un filtro de color; una máscara negra y un difusor; un filtro de color y un difusor; una máscara negra, filtro de color y un difusor, etc. Medios para compensar la luz transmitida a través del substrato transparente incluyen estructuras de compensación óptica, tal como se describe en la presente invención. Los moduladores de luz espacial que comprenden una estructura de compensación óptica se pueden fabricar incorporando la fabricación de la estructura de compensación óptica en el proceso para fabricar el modulador de luz espacial. Un ejemplo de dicho proceso se ilustra en la figura 8. El proceso comienza con el substrato que se provee en el paso 50. Típicamente, el substrato es vidrio, plástico u otro substrato transparente. Aquellos expertos en la técnica apreciarán que el término "transparente", tal como se utiliza en la presente invención, abarca materiales que son sustancialmente transparentes a las longitudes de onda operativas del modulador de luz espacial, y por lo tanto, los substratos transparentes no necesitan transmitir todas las longitudes de onda de luz y pueden absorber una porción de la luz en las longitudes de onda operativas del modulador de luz espacial. Por ejemplo, el substrato transparente se puede teñir y/o polarizar, si se desea, para una aplicación particular. Por lo tanto, la transparencia y reflectividad del substrato puede variar, dependiendo de la configuración y de la función deseada. En algunas modalidades, el substrato es por lo menos parcialmente transparente y puede ser sustancialmente transparente. En otras modalidades, el substrato es por lo menos parcialmente reflectante y puede ser sustancialmente reflectante. Se entiende que un substrato puede ser tanto parcialmente transparente como parcialmente reflectante. El proceso que se ilustra en la figura 8 continúa en el paso 52 con la fabricación de la estructura de compensación óptica. Dependiendo de la estructura, los materiales y métodos empleados para su fabricación pueden variar. Por ejemplo, con frecuencia es conveniente fabricar las estructuras de compensación óptica utilizando técnicas y métodos compatibles con la fabricación de los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles, por ejemplo, mediante técnicas de recubrimiento centrífugo y/o deposición de vapor químico. Por ejemplo, una película de difusor se puede fabricar mediante recubrimiento centrífugo del substrato utilizando un polímero o solución de polímero que contenga elementos de difusión dispersos en el mismo. Por ejemplo, el polímero puede ser una poliimida y los elementos de difusión pueden ser perlas de vidrio microscópicas. Los filtros de color y las máscaras negras pueden ser polímeros de fotorresistencia apropiadamente secados, fabricados sobre el substrato a través del uso de técnicas de deposición de fotorresistencia y enmascaramiento. Las máscaras negras también pueden ser materiales inorgánicos tal como óxido de cromo, también conocido como cromo negro, fabricadas sobre el substrato utilizando técnicas de deposición y enmascaramiento conocidas. El proceso que se ilustra en la figura 8 continúa en el paso 54 con la deposición de una capa de planarización. La capa de planarización o capas típicamente son polímeros, por ejemplo, poliimida, y se pueden depositar utilizando técnicas de deposición y enmascaramiento conocidas. La deposición de una capa de planarización es opcional, pero con frecuencia se prefiere debido a que da como resultado un substrato conveniente para los pasos de procesamiento posteriores. El proceso que se ilustra en la figura 8 continúa en el paso 56 con la fabricación de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles (por ejemplo, elementos de modulador interferométrico) sobre la estructura de compensación óptica y, si está presente, la capa de planarización. Los moduladores interferométricos generalmente se fabrican utilizando procesos de deposición de película delgada, por ejemplo, como se describe en las Patentes EUA número 5,835,255 y 6,055,090, y en la Publicación de Patente EUA número 2002/0126364 Al. Una variación de este proceso, que también, se ilustra en la figura 8, involucra la fabricación de una capa de planarización adicional en el paso 58, seguido por la fabricación de una estructura de compensación óptica adicional en el paso 59. Después de la fabricación en el paso 59, el proceso de fabricación puede regresar a los pasos 58, 59 para la fabricación de capas de planarización y estructuras de compensación óptica adicionales, o puede continuar con los pasos. 54, 56 para la fabricación de la capa de planarización y de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles. Aquellos expertos en la técnica entenderán que el proceso que se ilustra en la figura 8, o las variaciones del mismo, se pueden utilizar para fabricar los moduladores de luz espacial que se describen en la presente invención, incluyendo sin limitación, los moduladores de luz espacial que se ilustran en las figuras 5-7. Medios para modular la luz transmitida a través del substrato transparente incluyen moduladores interferométricos y pantallas de cristal líquido. La figura 9 ilustra una modalidad de un modulador de luz espacial 200, en donde un elemento de modulación de luz 205 está acomodado entre un substrato 210 y una estructura de compensación óptica 215. En la modalidad que se ilustra en la figura 9, el elemento de modulación de luz 205 es un modulador interferométrico que comprende una cavidad 220, una pared móvil 225, y una pila óptica 230, y soportes 235. La pila óptica 230 está en la pared de la cavidad 220 que queda opuesta a la pared móvil 225. La estructura de compensación óptica 215 puede ser cualquiera de las estructuras de compensación óptica aquí descritas, por ejemplo, una estructura de compensación óptica activa que suministra una fuente de iluminación frontal suplementaria, y/o una estructura de compensación óptica pasiva, por ejemplo, una capa antirreflectante, un elemento óptico difractivo, una estructura que difunda la luz, una máscara negra, un filtro de color, un difusor, una disposición de microlentes, una película holográfica que mitigue un cambio en el color reflejado con respecto a un ángulo de incidencia de la luz transmitida a través del substrato, o una combinación de los mismos. En la figura 9, el elemento de modulación de luz 205 comprende un modulador interferométrico, pero también se pueden utilizar otros moduladores de luz espacial. Un modulador de luz espacial, en el cual está acomodado un elemento de modulación de luz entre un substrato y una estructura de compensación óptica (tal como aquella que se ilustra en la figura 9) se puede fabricar a través de un proceso similar a aguel que se ilustra en la figura 8, excepto que los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles se fabrican sobre el substrato, seguido por la fabricación de las estructuras de compensación óptica sobre los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles (por ejemplo, el paso 56 en la figura 8 se ejecuta después del paso 50 y antes del paso 52) . Opcionalmente, se puede fabricar una capa de planarización sobre todos los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles, seguido por la fabricación de las estructuras de compensación óptica sobre la capa de planarización. Aunque la descripción detallada anterior ha mostrado, descrito y señalado características novedosas de la invención como aplicadas a varias modalidades, se entenderá que aquellos expertos en la técnica pueden realizar varias omisiones, sustituciones, y cambios en la forma y detalles del dispositivo o proceso ilustrado, sin apartarse del espíritu de la invención. Tal como se reconocerá, la presente invención se puede incorporar dentro de una forma que no provea todas las características y beneficios aquí mencionados, ya que algunas características se pueden utilizar o practicar separadas de otras.

Claims (76)

NOVEDAD DE LA INVENCIÓN Habiendo descrito el presente invento, se considera como una novedad y, por lo tanto, se reclama como prioridad lo contenido en las siguientes: REIVINDICACIONES

1.- Un modulador de luz espacial, que comprende: un medio para soportar una estructura; un medio para modular de manera interferométrica la luz transmitida a través de, o reflejada de los medios de soporte, los medios de modulación de luz están acomodados sobre los medios de soporte; y un medio para compensar la luz transmitida a través de, o reflejada de los medios de soporte, los medios de compensación están operativamente acomodados entre los medios de soporte y los medios de modulación.

2.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de soporte comprenden un substrato.

3.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de soporte comprenden un substrato transparente.

4.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de soporte comprenden un substrato por lo menos parcialmente reflectante.

5.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de soporte son parcialmente reflectantes.

6.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de modulación comprenden una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles.

7.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de modulación comprenden una pluralidad de moduladores interferométricos .

8. - El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de modulación comprenden un elemento móvil y una cavidad.

9.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una máscara negra.

10.- El modulador de luz espacial de conformidad con las reivindicaciones 1 ó 9, caracterizado porgue los medios de compensación comprenden un filtro de color.

11.- El modulador de luz espacial de conformidad con las reivindicaciones 1 ó 9, caracterizado porque los medios de compensación comprenden un difusor.

12.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una capa antirreflectante.

13.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una pluralidad de elementos de difusión.

14.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una capa de planarización que comprende un elemento de difusión.

15.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una disposición de microlentes.

16.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una película holográfica que mitiga un cambio en el color reflejado con respecto a un ángulo de incidencia de la luz transmitida a través de los medios de soporte .

17.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porgue los medios de compensación comprenden un elemento óptico difractivo.

18.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de compensación están colocados para que la luz transmitida a través de los medios de soporte pase a través de los medios de compensación para ser modulada por los medios de modulación.

19.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de compensación son una estructura de compensación óptica pasiva.

20.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, que además comprende una capa de planarización.

21.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, que además comprende un segundo medio para compensar la luz dispuesta sobre los medios de compensación .

22.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 21, caracterizado porque los segundos medios de compensación comprenden por lo menos uno de una máscara negra, un filtro de color, una capa antirreflectante, un elemento de difusión y un difusor.

23.- Un método para elaborar un modulador de luz espacial, el método comprende: fabricar una estructura de compensación óptica sobre un substrato transparente; y fabricar una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles sobre la estructura de compensación óptica, en donde los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles comprenden una pluralidad de moduladores interferométricos configurados para modular de manera interferométrica la luz transmitida a través del substrato transparente.

24.- El método de conformidad con la reivindicación 23, caracterizado porque la fabricación de los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles comprende fabricar una cavidad y un elemento móvil .

25.- El método de conformidad con la reivindicación 23, que además comprende fabricar una segunda estructura de compensación óptica sobre el substrato transparente.

26.- El método de conformidad con la reivindicación 23, que además comprende fabricar una capa de planarización sobre la estructura de compensación óptica.

27.- El método de conformidad con la reivindicación 23, caracterizado porque la fabricación la estructura de compensación óptica comprende fabricar por lo menos una estructura seleccionada del grupo que consiste de un filtro de color y difusor.

28.- El método de conformidad con la reivindicación 23, caracterizado porque dicha fabricación de la estructura de compensación óptica comprende depositar material sobre el substrato transparente para que la luz transmitida a través del substrato transparente pase a través del material para ser modulada por el elemento de modulación de luz.

29.- El método de conformidad con la reivindicación 28, caracterizado porque dicho material comprende poliimida de recubrimiento centrífugo y/o fotorresistencia.

30.- El método de conformidad con la reivindicación 28, caracterizado porque la fabricación de la estructura de compensación óptica comprende fabricar una estructura de compensación óptica pasiva.

31.- Un modulador de luz espacial hecho a través del método de la reivindicación 23, caracterizado porque el substrato transparente comprende por lo menos uno de plástico y vidrio.

32.- Un modulador de luz espacial, que comprende: un medio para soportar una estructura; un medio para modular de manera interferométrica la luz transmitida a través de, o reflejada de los medios de soporte; y un medio para compensar la luz transmitida a través de, o reflejada de los medios de soporte, los medios de modulación están operativamente acomodados entre los medios de soporte y los medios de compensación.

33.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de soporte comprenden un substrato.

34.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de soporte comprenden un substrato por lo menos parcialmente transparente.

35.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de soporte comprenden un substrato por lo menos parcialmente reflectante.

36.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de modulación comprenden una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles .

37.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porgue los medios de modulación comprenden una pluralidad de moduladores interferométricos .

38.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de modulación comprenden un elemento móvil y una cavidad.

39.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una máscara negra.

40.- El modulador de luz espacial de conformidad con las reivindicaciones 32 ó 39, caracterizado porque los medios de compensación comprenden un filtro de color.

41.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una capa antirreflectante .

42.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una capa de planarización.

43.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una capa de planarización que comprende un elemento de difusión.

44.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de compensación comprenden un filtro de color y un difusor.

45.- El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque los medios de compensación comprenden una máscara negra y un difusor.

46.- Un método para elaborar un modulador de luz espacial, el método comprende: fabricar una pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles sobre un substrato, la pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles comprende una pluralidad de moduladores interferométricos; y fabricar una estructura de compensación óptica sobre la pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles, los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles están configurados para modular de manera interferométrica la luz transmitida a través de la estructura de compensación óptica.

47.- El método de conformidad con la reivindicación 46, caracterizado porque la fabricación de los elementos de modulación de luz individualmente dirigibles comprende fabricar una cavidad y un elemento móvil.

48.- El método de conformidad con la reivindicación 46, caracterizado porque la estructura de compensación óptica comprende por lo menos uno de un filtro de color, máscara y capa antirreflectante.

49.- El método de conformidad con la reivindicación 46, que además comprende fabricar una segunda estructura de compensación óptica sobre la pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles.

50.- El método de conformidad con la reivindicación 46, que además comprende fabricar una capa de planarización sobre la pluralidad de elementos de modulación de luz individualmente dirigibles.

51.- Un modulador de luz espacial hecho de conformidad con el método de la reivindicación 46, caracterizado porque el substrato comprende plástico o vidrio.

52.- Un dispositivo de pantalla que comprende: un medio para producir una señal de luz blanca modulada de manera interferométrica; y un medio para filtrar la señal de luz blanca modulada de forma interferométrica a través de los medios de producción para transformar dicha señal de luz blanca en una señal de luz de color.

53.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 52, caracterizado porque los medios de producción comprenden un modulador interferométrico.

54.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 52, caracterizado porque los medios de producción comprenden una pluralidad de moduladores interferométricos .

55.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 54, caracterizado porque cada modulador interferométrico comprende primera y segunda superficies reflectantes y una cavidad en medio de las mismas .

56.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 55, caracterizado porque la primera superficie reflectante está separada de la segunda superficie reflectante por una distancia sustancialmente igual para cada uno de la pluralidad de moduladores interferométricos, cuando los moduladores interferométricos emiten luz y en donde los medios de filtración están configurados para producir por lo menos dos colores diferentes.

57.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 52, caracterizado porgue los medios de producción incluyen primera y segunda superficies reflectantes y una cavidad en medio de las mismas, la segunda superficie reflectante móvil con respecto a la primera superficie reflectante.

58.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 57, caracterizado porque la primera superficie reflectante comprende una pila óptica.

59.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 57, caracterizado porque por lo menos una de la primera y segunda superficies reflectantes es parcialmente reflectante.

60.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 52, caracterizado porque los medios de filtración comprenden un filtro de color.

61.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 52, caracterizado porque los medios de filtración comprenden un filtro de color configurado para transmitir un rango más angosto de longitudes de onda cuando se ilumina con un rango más amplio de longitudes de onda.

62.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 52, caracterizado porque los medios de filtración comprenden una pluralidad de filtros de color.

63.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 62, caracterizado porque por lo menos tres de los filtros de color están configurados para producir diferentes salidas de color.

64.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 63, caracterizado porque la pluralidad de filtros de color incluye filtros de color rojo, verde y azul.

65.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 62, caracterizado porque la pluralidad de filtros de color comprende un material configurado para transmitir un rango más angosto de longitudes de onda cuando se ilumina con un rango más amplio de longitudes de onda.

66.- El dispositivo de pantalla de conformidad con la reivindicación 65, caracterizado porque el material comprende material teñido.

67.- Un método para fabricar un dispositivo de pantalla, el método comprende: proveer un elemento de modulación interferométrico en blanco y negro; y colocar un filtro de color con respecto a los elementos de modulación interferométricos de manera que la luz blanca que salga del elemento de modulación interferométrico sea filtrada por dicho filtro de color, dicho filtro de color configurado para transmitir luz de color cuando se ilumina con luz blanca.

68.- El método de conformidad con la reivindicación 67, caracterizado porque dicho aprovisionamiento de un elemento de modulación interferométrico en blanco y negro comprende proveer un modulador interferométrico.

69 . - El método de conformidad con la reivindicación 67, caracterizado porque el elemento de modulación interferométrico comprende primera y segunda superficies reflectantes, dicha segunda superficie reflectante se puede mover con respecto a dicha primera superficie reflectante.

70.- El método de conformidad con la reivindicación 67, caracterizado porque dicho aprovisionamiento de un elemento de modulación interferométrico en blanco y negro comprende proveer una pluralidad de elementos de modulación interferométricos, cada uno incluyendo primera y segunda superficies reflectantes, la primera superficie reflectante separada de la segunda superficie reflectante por una distancia sustancialmente igual para cada uno de la pluralidad de elementos de modulación interferométricos cuando los elementos de modulación interferométricos emiten luz.

71.- El método de conformidad con la reivindicación 70, caracterizado porque dicho posicionamiento de un filtro de color comprende colocar una disposición de filtros de color con respecto a la pluralidad de elementos de modulación interferométricos para que la luz blanca emitida de la pluralidad de elementos de modulación interferométricos sea filtrada por los filtros de color respectivos.

72.- El método de conformidad con la reivindicación 71, caracterizado porque por lo menos tres de los filtros de color están configurados para producir salidas de diferente color.

73.- El método de conformidad con la reivindicación 71, caracterizado porgue la disposición de filtros de color incluye filtros de color rojo, verde y azul .

74.- El método de conformidad con la reivindicación 71, caracterizado porque la disposición de filtros de color comprende un material configurado para transmitir un rango angosto de longitudes de onda cuando se ilumina con un rango amplio de longitudes de onda.

75.- El método de conformidad con la reivindicación 74, caracterizado porque el material comprende material teñido.

76.- Un dispositivo de pantalla fabricado por medio del método de la reivindicación 67.