MD20130050A2 - Procedeu şi dispozitiv de obţinere a plasmei prin descărcări electrice prin impulsuri - Google Patents

Abstract

Invenţia se referă la domeniul fizicii generale, în particular la procedee de obţinere a plasmei prin descărcări electrice prin impulsuri şi poate fi utilizată în diverse dispozitive şi metode de prelucrare a materialelor metalice, de obţinere a peliculelor pe suprafeţe şi de excitare a moleculelor în vederea obţinerii radiaţiilor secundare cu lungimi de undă, care cuprind întregul spectru de radiaţie.Procedeul de obţinere a plasmei constă în efectuarea unor descărcări electrice prin impulsuri monopolare între anod şi catod. Anodul este conectat la plusul bateriei de condensatoare, iar catodul este conectat direct la pământ. Bateria de condensatoare cu capacitatea C=0,083 µF este încărcată de la un generator de impulsuri de curent de tip RC până la tensiunea de 20…25 kV. Încărcarea bateriei de condensatoare este asigurată de prezenţa rezistenţei de balast R=10 MΩ. Descărcările prin impulsuri ale bateriei de condensatoare au durata τ=0,2…0,25 µs. Valoarea de amplitudine a curentului total al descărcării constituie nu mai puţin de 150 kA şi în interstiţiul între electrozi se realizează o putere P=20…30 MW.Dispozitivul de obţinere a plasmei prin descărcări electrice prin impulsuri monopolare, în vederea evitării scurgerii de sarcină la pământ, are o rezistenţă de balast R=10 MΩ conectată. Între catod şi pământ este conectată o cheie electronică D, care asigură o polaritate a descărcării electrice prin impuls, iar sursa de alimentare a bateriei de condensatoare C generează impulsuri de încărcare cu tensiunea Ui=20…25 kV şi durata de 1 µs.