LU502524B1 - A Device and Method for In-situ measurement on Low-Temperature Crystal Structure of Two-Dimensional Materials - Google Patents
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Claims (9)
1. Un dispositif pour l’étude in-situ de la structure cristalline à basse température de matériaux bidimensionnels se caractérise par : Comprendre un système de commande cryogénique, un système RHEED, une table de substrat, un élévateur de table de substrat, un dispositif d’entraînement de l’axe Z creux et un système de vide ; Dans lesquels, le système de commande cryogénique est situé sur le système de vide et connecté au système de vide, le système RHEED est monté sur un côté du système de vide, la table de substrat est installée sous le système de commande cryogénique, le dispositif d'entraînement de l'axe Z creux est situé à la jonction du système de commande cryogénique et du système de vide et commande le système de commande cryogénique, et l'élévateur de table de substrat est installé sur le côté supérieur du dispositif d'entraînement de l'axe Z creux et commande la table de substrat ; Un substrat est disposé au bas de la table de substrat décrite; La table de substrat décrite est intégrée à un système de commande de rétroaction de température,et ce dernier est composé d’un dispositif de chauffage, d’un thermomètre et d’un élément de commande de température de rétroaction ; Le système de commande cryogénique décrit comprend un réfrigérateur à cycle fermé, un dispositif d’extraction d’air, un dispositif de transport d’air, un contrôleur de débit massique et un échangeur de chaleur ; Le réfrigérateur à cycle fermé décrit est disposé à la partie supérieure du système de commande cryogénique, le dispositif d'extraction d'air est relié au dispositif de transport d'air, et ce précédent est situé sur le côté du réfrigérateur à cycle fermé, le contrôleur de débit massique est situé sur la canalisation de connexion entre le dispositif de transport d'air et le réfrigérateur à cycle fermé, et l'échangeur de chaleur est relié et situé sous le réfrigérateur à cycle fermé.
2. Un dispositif pour l’étude in-situ de la structure cristalline à basse température de matériaux bidimensionnels selon la revendication 1 décrit, se caractérise par : Le système de vide décrit comprend une cavité de préparation sous vide, une pompe à 11 vide et une interface de vide ; La pompe a vide décrite est installée sur la paroi 17008586 latérale inférieure de la cavité de préparation sous vide, et l'interface de vide est située au sommet de la même cavité de préparation sous vide, et l'échangeur de chaleur précédent s'étend dans la cavité de préparation sous vide à travers l'interface de vide.
3. Un dispositif pour l’étude in-situ de la structure cristalline à basse température de matériaux bidimensionnels selon la revendication 2 décrit, se caractérise par : Le système RHEED décrit comprend un canon à électrons RHEED et un écran fluorescent RHEED ; Le canon à électrons RHEED décrit est situé d’un côté de la cavité de préparation sous vide, et l’écran fluorescent RHEED est situé de l’autre côté de la cavité de préparation sous vide.
4. Un dispositif pour l’étude in-situ de la structure cristalline à basse température de matériaux bidimensionnels selon la revendication 3 décrit, se caractérise par : Le réfrigérateur à cycle fermé comprend une tête de réfrigération, un compresseur et une canalisation de transport de gaz ; La tête de réfrigération décrite s’étend dans le dispositif d’échange de chaleur décrit, et la tête de réfrigération est reliée au compresseur par une canalisation de transport de gaz.
5. Un dispositif pour l’étude in-situ de la structure cristalline à basse température de matériaux bidimensionnels selon la revendication 4 décrit, se caractérise par : La surface extérieure de la table de substrat décrite est faite de cuivre sans oxygène à haute conductivité thermique.
6. Un dispositif pour l’étude in-situ de la structure cristalline à basse température de matériaux bidimensionnels selon la revendication 5 décrit, se caractérise par : La cavité de préparation sous vide décrite est une cavité de dépôt de film.
7. Un dispositif pour l’étude in-situ de la structure cristalline à basse température de matériaux bidimensionnels selon la revendication 6 décrit, se caractérise par : L’échangeur de chaleur décrit est muni d’une protectrice ; La protectrice enveloppe la surface de l’échangeur de chaleur décrit. 12
8. Un dispositif pour l’étude in-situ de la structure cristalline à basse température 17008586 de matériaux bidimensionnels selon la revendication 7 décrit, se caractérise par : La protectrice est faite d’acier inoxydable austénitique et a une longue structure tubulaire.
9. Un dispositif pour l’étude in-situ de la structure cristalline à basse température de matériaux bidimensionnels selon la revendication 8 décrit, se caractérise par : Les types de réfrigérateur à cycle fermé décrit comprennent un réfrigérateur à tube pulsé et un réfrigérateur Gifford-McMahon ; Le gaz réfrigérant dans le réfrigérateur à cycle fermé décrit est choisi entre l’hélium 3 et l’hélium 4. 13
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