LT7111B - Didelės galios pjezoelektrinė sukamoji pavara - Google Patents

Didelės galios pjezoelektrinė sukamoji pavara Download PDF

Info

Publication number
LT7111B
LT7111B LT2024012A LT2024012A LT7111B LT 7111 B LT7111 B LT 7111B LT 2024012 A LT2024012 A LT 2024012A LT 2024012 A LT2024012 A LT 2024012A LT 7111 B LT7111 B LT 7111B
Authority
LT
Lithuania
Prior art keywords
piezoelectric
ring
elastic ring
piezoelectric elements
drive
Prior art date
Application number
LT2024012A
Other languages
English (en)
Other versions
LT2024012A (lt
Inventor
Piotr Vasiljev
Dalius MAŽEIKA
Andrius ČEPONIS
Sergejus BORODINAS
Regimantas BAREIKIS
Arūnas STRUCKAS
Original Assignee
Vilniaus Gedimino technikos universitetas
Vytauto Didžiojo Universitetas
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vilniaus Gedimino technikos universitetas, Vytauto Didžiojo Universitetas filed Critical Vilniaus Gedimino technikos universitetas
Priority to LT2024012A priority Critical patent/LT7111B/lt
Publication of LT2024012A publication Critical patent/LT2024012A/lt
Publication of LT7111B publication Critical patent/LT7111B/lt

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Išradimas skirtas sukurti didelės galios pjezoelektrinę pavarą, leidžiančią pasiekti didelį sukimo momentą, greitį bei veikimo stabilumą esant didelėms apkrovoms. Pjezoelektrinė pavara susideda iš tampraus žiedo formos statoriaus (6), kuriame abipus žiedo išdėstyti trapeciniai dantys (7), kurių horizontalioje simetrijos ašyje suformuotos įpjovos (8), o tarp dantų (7) išdėstyti pjezoelektriniai elementai (9). Prie viršutinių ir apatinių dvipusių trapecinių dantų (7) paspyruokliuotai per standžius frikcinius elementus (10) prispausti disko formos rotoriai (2), kurie sukami paveikiant pjezoelektrinius elementus (9) vienu ar dviem elektriniais harmoniniais signalais, kurių dažnis suderintas su tampraus žiedo (6) išilginių virpesių rezonansiniu dažniu. Žadinant pavarą dviem harmoniniais signalais, jų fazių skirtumas turi būti π/2. Žadinant vienu elektriniu signalu, veikiama tik viena iš pjezoelektrinių elementų grupių (18, 19), o kita paliekama pasyvia. Pakeitus harmoninius signalus į pjūklo ar stačiakampio formos signalą, o pjezoelektrinių paketų grupes (18, 19) apjungus į bendrą grupę gaunamas inercinis pavaros veikimo principas.

Description

IŠRADIMO SRITIS
Išradimas priskiriamas elektro-mechaninių, mechatroninių sistemų ir robototechnikos sritims. Pavaros konstrukcija, jos sudarymo ir veikimo principas gali būti taikomi kuriant aukšto tikslumo ir didelės galios sukamojo judesio sistemas, tokias kaip giroskopinės ar erdvinio pozicionavimo sistemas, skirtas valdyti objektų poziciją erdvėje ar plokštumoje. Giroskopinės ir kitos pozicionavimo sistemos, sukurtos naudojant šias pavaras, taikytinos mažųjų žemės palydovų ar kitų objektų erdvinės ar plokštuminės pozicijos valdymui, nustatymui ir derinimui nenutrūkstamame cikle.
TECHNIKOS LYGIS
Mažieji žemės palydovai vis plačiau taikomi komunikacijos, ryšių ir kitų tyrimų srityse, todėl iškyla poreikis ypač tiksliai valdyti, derinti ir palaikyti šių objektų erdvinę ar plokštuminę poziciją. Šiam tikslui pasiekti naudojamos aukšto patikimumo, tikslumo ir didelės galios pavaros bei vykdikliai, kuriems, atsižvelgiant į jų taikymo sritį, keliami griežti masės ir montavimo tūrio reikalavimai. Siekiant įvykdyti šiuos reikalavimus, vis plačiau naudojamos pjezoelektrinės pavaros ir varikliai. Šiuo metu yra žinomi keli techniniai sprendimai ir patentai, kuriuose siūlomos ir sprendžiamos šios techninės problemos.
Patente EP0449048A1 aprašoma pjezoelekthnė sukamojo judesio pavara, pagrįsta daugiasluoksniais pjezoelekthniais keitikliais. Pavaros konstrukciją sudaro daugiasluoksniai pjezoelekthniai keitikliai, kurie tolygiai paskirstyti aplink banguotą rotorių. Keitiklių laisvuosiuose galuose sumontuoti cilindriniai antgaliai arba cilindriniai riedėjimo elementai, kurie per trintį prispausti prie banguoto rotoriaus. Siekiant gauti sukamąjį rotoriaus judesį, pjezoelektriniai daugiasluoksniai keitikliai paveikiami žadinimo įtampa ko pasėkoje sukuriami išilginiai keitiklių poslinkiai, kurie per keitiklių antgalius ir netolygų rotorių paverčiami radialine jėga, kuri veikia rotorių ir sukuria sukamąjį rotoriaus judesį. Pavara žadinama nuolatine įtampa, kuri laiko intervalais, apibrėžtais rotoriaus banguotumu, paduodama į pjezoelektrinius keitiklius. Reversinis pavaros judesys gali būti gaunamas keičiant pjezoelekthnių daugiasluoksnių keitiklių žadinimo eiliškumą.
JAV patente US5955820A aprašoma pjezoelekthnė žiedo formos sukamoji pavara. Pavaros konstrukciją sudaro pjezoelektrinis žiedas, ant kurio viršutinės ir apatinės plokštumų pritvirtinti tamprios kryžiaus formos asimetrinės, pakilusios nuo žiedo plokštumos, konstrukcijos. Apatinė, asimetrinės konstrukcijos, dalis įtvirtinama nejudamai, o prie viršutinės konstrukcijos dalies, per trinties jėga, prispaustas rotorius. Pavaros veikimas pagrįstas radialines pjezoelektrinio žiedo virpesių modos žadinamos harmoniniu elektriniu signalu, kuris paduodamas į viršutinį ir apatinį pjezoelektrinio žiedo elektrodus. Žadinant radialinę pjezoelektrinio žiedo virpesių modą, sukuriami radialiniai visos konstrukcijos virpesiai, kurie dėka asimetrinių konstrukcijų ir pavaros įtvirtinimo būdo sukuria asimetrinės konstrukcijos radialinius, lenkimo ir išilginius virpesius, kurie statoriaus ir rotoriaus kontakto zonoje sukuria elipsės formos judesio trajektoriją, todėl kontakto metu per trinties jėgą sukuriamas rotoriaus sukamasis judesys.
Patente US6628045B2 aprašoma pjezoelektrinė žiedo formos sukamoji pavara. Pavarą sudaro tamprus žiedas, ant kurio iš vienos pusės suformuojami stačiakampiai dantys, prie kurių viršūnių per trinties jėgą prispaudžiamas disko formos rotorius, o iš kitos tampraus žiedo pusės montuojamas pjezoelektrinis žiedas, kurio elektrodas padalijamas į lygias dalis. Pavaros veikimas pagrįstas bėgančios bangos žadinimu žiede naudojant lenkimo virpesius, kurie žadinami dviem harmoniniais signalais, kurių fazių skirtumas yra π/2. Sužadinus žiede bėgančios bangos virpesius, dantų viršūnėse susiformuoja elipsės formos judesio trajektorijos, kurios per trinties jėgą sukuria sukamąjį rotoriaus judesį. Dantų geometriniai parametrai parenkami taip, kad jie padidintų žiedo lenkimo virpesių amplitudes ir užtikrintų didesnį rotoriaus sukimosi greitį bei sukimo momentą. Dantų aukštis tiesiogiai proporcingas sukuriamam pavaros sukimo greičiui, tačiau apkraunant pavarą didesne jėga, statoriaus dantys pradeda klupti ko pasėkoje sumažėja pavaros sukimosi greitis ir momentas, didėja kontakto zonos dėvėjimasis ir mažinamas pavaros patikimumas.
IŠRADIMO ESMĖ
Šio išradimo esmė ir tikslas yra padidinti pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros sukimo momentą, greitį, veikimo stabilumą, patikimumą ir išplėsti funkcines galimybes.
Išradimo tikslas pasiekiamas tuo, kad pjezoelekthnėje žiedo formos sukamojo judesio pavaroje ant tampraus žiedo viršutinio ir apatinio paviršiaus išdėstomi trapeciniai dantys taip suformuojant dvipusį trapecinį dantį, o jų vieta ant tampraus žiedo parenkama taip, kad sutaptų su žiedo formos statoriuje žadinamų išilginių virpesių pūpsniais, o atstumas tarp dantų simetrijos ašių būtų lygus išilginių virpesių bangos ilgiui. Pjezoelektriniai elementai neišardomai montuojami tarp trapecinių dantų ant viršutinio ir apatinio žiedo paviršių taip, kad toje pačioje plokštumoje šalia esančių elementų poliarizacijos kryptys būtų priešingos ir nukreiptos išilgai elementų storio. Viršutiniame ir apatiniame žiedo paviršiuje esantys pjezoelektriniai elementai turi priešingas poliarizacijos kryptis.
Pavaros sukimo momentas padidinamas dėl statoriaus žiede žadinamų išilginių rezonansinių virpesių, kurie užtikrina elektros energijos keitimą į mechaninę energiją bei stabilų veikimą esant didelėms variklio apkrovoms ir dėl dvipusio disko formos rotoriaus, ant kurio kontaktinio paviršiaus nejudamai pritvirtinamas žiedas, pagamintas iš trinčiai atsparios didelio standumo medžiagos, pavyzdžiui AI2O3. Rotoriaus sukimosi greitis didinamas dėl įpjovos, kuri suformuojama dvipusiuose trapecijos formos dantyse. Išpjovos ilgis turi būti ne didesnis negu 2/3 pačio danties pločio dėl ko padidinamos trapecinių dantų viršūnių virpesių amplitudės bei sumažinamas bendras pavaros aukštis.
Pavaros veikimo stabilumas didinamas naudojant trapecijos formos dantis, kurių ilgasis pagrindas patalpinamas ant tampraus žiedo, ko pasėkoje sumažinamas jų klupdymas esant didelėms ašinėms apkrovoms. Funkcinės pavaros galimybės praplečiamos taikant skirtingas atskirų pjezoelektrinių elementų ar jų grupių žadinimo schemas ir būdus.
BRĖŽINIŲ APRAŠYMAS
Čia ir toliau sukamojo judesio pavara aprašoma su nuorodomis į brėžinius, tačiau techninis pavaros įgyvendinimas nėra ribojamas pateiktu būdu. Galimos įvairios įgyvendinimo būdo modifikacijos ir tobulinimai.
Pav. 1 a, b Pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros principinė schema:
(a) - izomethnis pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros vaizdas;
(b) - išskleistinis pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros vaizdas;
Pav. 2 a, b Pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros statoriaus principinė schema:
(a) - izometrinis pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros statoriaus vaizdas;
(b) - išskleistinis pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros statoriaus vaizdas;
Pav. 3 a, b Pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros žadinimo schema;
(a) - vaizdas iš viršaus;
(b) - vaizdas iš apačios;
Pav. 4 Dvipusių trapecinių dantų pasiskirstymo schema;
Pav. 5 Sukamojo judesio pavaros virpesių modos:
BRĖŽINIAI - pažymėtų objektų aprašymas
- pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros statohus;
- disko formos rotorius;
- prispaudimo spyruoklė;
- veržlė;
- velenas;
- tamprus žiedas;
- dvipusis trapecinis dantis;
- įpjova;
- pjezoelekthnis elementas;
- standus frikcinis kontaktinis elementas;
- statoriaus įtvirtinimo žiedas;
- slankiklis;
- pjezoelektrinės slenkamojo judesio pavaros statohus;
- tamprus kvadrato formos strypas;
- signalų generatorius;
- signalų komutacijos įrenginys;
- pjezoelekthnių elementų poliarizacijos kryptis;
- pirma pjezoelektrinių elementų grupe;
- antra pjezoelektrinių elementų grupe;
DETALUS IŠRADIMO APRAŠYMAS
Čia ir toliau pavara aprašoma su nuorodomis į brėžinius, tačiau techninis pavaros įgyvendinimas nėra ribojamas pateiktais būdais. Galimos įvairios įgyvendinimo būdų modifikacijos ir tobulinimai.
Detalus aprašymas. Pjezoelektrinę sukamojo judesio pavarą sudaro tamprus žiedo formos statorius (1), kuriame radiališkai išsidėstę dvipusiai trapeciniai dantys (7), tarpusavyje sujungti neišardomai taip suformuojant bendrą žiedo formos statohaus (1) konstrukciją, ir paspyruokliuotai prispausti du disko formos rotoriai (2). Kiekvieno dvipusio trapecinio danties (7) horizontalioje simetrijos ašyje suformuojama įpjova (8), kuri leidžia sumažinti dvipusių trapecinių dantų (7) aukštį. Standūs frikciniai kontaktiniai elementai (10) patalpinami ant viršutinių ir apatinių dvipusių trapecinių dantų (7) plokštumų. Frikciniai elementai (10) tiesiogiai kontaktuoja su dviem disko formos rotoriais (2), kurie sujungti su pavaros velenu (5). Rotoriaus prispaudimo jėga keičiama per prispaudimo spyruoklę (3), keičiant veržlės (4) vertikalią poziciją ant veleno (5). Pavaros statohaus (1) tampraus žiedo (6) vidutinis skersmuo parenkamas taip, kad tenkintų sąlygą D = nC/πί ( čia D - vidutinis tampraus žiedo skersmuo; n - sveikasis skaičius; C - žiedo išilginių virpesių bangos sklidimo greitis; f - pavaros rezonansinis dažnis). Dvipusiai trapeciniai dantys (7) patalpinami žiedo (6) išilginių virpesių pūpsniuose, o jų aukštis kartu su žiedo aukščiu (6) parenkamas taip, kad būtų lygus arba artimas lenkimo virpesių pusės bangos ilgiui. Dvipusių trapecinių dantų (7) horizontalioje simetrijos ašyje formuota įpjova (8), kurios ilgis parenkamas taip, kad neviršytų 2/3 bendro danties pločio. Viršutiniame ir apatiniame pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros statoriaus žiedo (6) paviršiuose, tarp dvipusių trapecinių dantų (7) montuojami pjezoelektriniai elementai (9), kurių šalia esančių elementų poliarizacijos kryptys yra priešingos ir nukreiptos išilgai elementų storio. Viršutiniame ir apatiniame žiedo paviršiuje esantys pjezoelektriniai elementai (9) turi priešingas poliarizacijos kryptis. Pjezoelektrinės sukamojo judesio pavaros įtvirtinimas realizuojamas naudojant statoriaus įtvirtinimo žiedą (11), kuris neišardomai sujungiamas su statoriumi (1) išilginių virpesių mazginėse zonose, o pats įtvirtinimo žiedas (11) standžiai sujungiamas su kitomis konstrukcinėmis pavaros dalimis. Formuojant sukamojo judesio pavarą, prie standžių frikcinių kontaktinių elementų (10), slystamai, prispaudžiami du disko formos rotoriai (2), kurie tarpusavyje sujungti velenu (5). Prispaudimo jėgą formuoja prispaudimo spyruoklė (3), kurios sukuriama prispaudimo jėga reguliuojama keičiant veržlės (4) vertikalią poziciją.
Pavaros veikimo aprašymas: Siekiant gauti disko formos rotorių (2) sukimąsi, pjezoelektriniai elementai (9) per signalų generatorių (15) ir signalų komutacinį įrenginį (16) paveikiami harmoniniais arba neharmoniniais elektriniais signalais taikant skirtingas žadinimo schemas. Pirmuoju atveju sukamieji disko formos rotorių (2) judesiai gaunami paveikiant pirmą pjezoelekthnių elementų grupę (18) harmoniniu elektriniu signalu, kurio dažnis sutampa su tampraus žiedo (6) išilginių virpesių rezonansiniu dažniu, o antra pjezoelekthnių elementų grupe (19) lieka pasyvi, ko pasėkoje tampriame žiede (6) dėl medžiagos Puasono koeficiento sužadinami išilginiai virpesiai, o tuo pačiu ir dvipusių trapecinių dantų (7) asimetriniai lenkimo virpesiai. Dėl asimetrinės žadinimo schemos ir su tampraus žiedo (6) išilginiais virpesiais suderinto dvipusių trapecinių dantų (7) lenkimo virpesiais, standūs frikciniai elementai (10) formuoja elipsines judesio trajektorijas, kurių dėka, per trinties jėgą frikciniai elementai (10) kontaktuodami su disko formos rotoriais (2) juos suka. Antruoju atveju pjezoelekthnių elementų grupės (18, 19) paveikiamos dviem harmoniniais signalais, kurių fazių skirtumas yra π/2, o dažnis sutampa su tampraus žiedo (6) išilginių virpesių rezonansiniu dažniu. Dėl to tampriame žiede (6) sužadinami išilginiai bėgančios bangos virpesiai, ko pasėkoje dvipusiai trapeciniai dantys (7) sinchroniškai lenkiasi, suformuodami frikcinių elementų (10) elipsės formos judesio trajektorijas ir kontaktuodami su rotoriais (2) sukuria sukamuosius judesius. Trečiuoju atveju pjezoelekthnių elementų grupės (18, 19) bendrai apjungiamos ir paveikiamos pjūklo ar stačiakampio formos elektriniu signalu, ko pasėkoje tampriame žiede (6) sužadinami neharmoniniai išilginiai virpesiai. Toks žadinimo būdas užtikrina dvipusių trapecinių dantų (7) neharmoninius asimetrinius lenkimo virpesius. Standžių frikcinių elementų (10) judesio trajektorijos šiuo atveju yra kreivalinijinės ir frikciniai elementai juda skirtingais greičiais pirmyn bei atgal ko pasėkoje sukuriama skirtingo dydžio trinties jėga tarp frikcinių elementų (10) ir rotoriaus (2) bei gaunamas inercinis pavarų veikimo principas, kuris užtikrina sukamąjį rotorių (2) judesį.

Claims (6)

  1. IŠRADIMO APIBRĖŽTIS
    1. Pjezoelektrinė pavara, apimanti tamprų žiedą (6), ant kurio neišardomai sumontuoti trapeciniai dantys (7), pjezoelektrinius elementus, žadinamus elektriniais signalais (9) ir prie trapecinių dantų prispaustus du rotorius (2) besiskirianti tuo kad, pjezoelektriniai elementai (9) yra plokštelės formos ir neišardomai pritvirtinti ant tampraus žiedo (6) viršutinio bei apatinio plokščio paviršiaus tarp trapecinių dantų taip, kad šalia esančių pjezoelektrinių elementų (9) poliarizacijos kryptys būtų priešingos ir nukreiptos išilgai elementų storio.
  2. 2. Pavara pagal 1 punktą besiskirianti tuo, kad tampraus žiedo (6) vidutinis skersmuo parenkamas taip, kad žiedo ilgis būtų dalus iš sveiko išilginių virpesių bangos ilgio skaičiaus, o atstumas tarp trapecinių dantų (7) vertikalių simetrijos ašių būtų lygus vienam arba keliems išilginių virpesių, žadinamų tampriame žiede (6), bangos ilgiams.
  3. 3. Pavara pagal 1 punktą, besiskirianti tuo, kad trapecinių dantų (7) padėtis ant tampraus žiedo (6) yra parenkama taip, kad ji sutaptų su žiedo išilginių virpesių pūpsniais.
  4. 4. Pavara pagal 1 punktą, besiskirianti tuo, kad rotoriaus sukamasis judesys kuriamas, kai paveikiant pirmą pjezoelektrinių elementų grupę (18) harmoniniu elektriniu signalu, kurio dažnis sutampa su tampraus žiedo (6) išilginių virpesių rezonansiniu dažniu, o antra pjezoelektrinių elementų grupe (19) lieka pasyvi.
  5. 5. Pavara pagal 1 punktą, besiskirianti tuo, kad rotoriaus sukamasis judesys kuriamas, kai pjezoelektrinių elementų grupės (18, 19) vienu metu paveikiamos dviem harmoniniais elektriniais signalais, kurių fazių skirtumas yra π/2, o žadinimo signalų dažnis suderintas su tampraus žiedo išilginių virpesių rezonansiniu dažniu.
  6. 6. Pavara pagal 1 punktą, besiskirianti tuo, kad rotoriaus sukamasis judesys kuriamas, kai pjezoelektrinių elementų grupės (18, 19) bendrai apjungiamos ir paveikiamos pjūklo ar stačiakampio formos elektriniu signalu, o žadinimo signalų dažnis suderintas su tampraus žiedo išilginių virpesių rezonansiniu dažniu.
LT2024012A 2024-04-11 2024-04-11 Didelės galios pjezoelektrinė sukamoji pavara LT7111B (lt)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT2024012A LT7111B (lt) 2024-04-11 2024-04-11 Didelės galios pjezoelektrinė sukamoji pavara

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT2024012A LT7111B (lt) 2024-04-11 2024-04-11 Didelės galios pjezoelektrinė sukamoji pavara

Publications (2)

Publication Number Publication Date
LT2024012A LT2024012A (lt) 2024-11-11
LT7111B true LT7111B (lt) 2024-12-10

Family

ID=93375933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
LT2024012A LT7111B (lt) 2024-04-11 2024-04-11 Didelės galios pjezoelektrinė sukamoji pavara

Country Status (1)

Country Link
LT (1) LT7111B (lt)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5955820A (en) 1997-03-21 1999-09-21 The Penn State Research Foundation Ultrasonic motor
US6628045B2 (en) 2000-12-15 2003-09-30 Korea Institute Of Science And Technology Ring-type piezoelectric ultrasonic motor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5955820A (en) 1997-03-21 1999-09-21 The Penn State Research Foundation Ultrasonic motor
US6628045B2 (en) 2000-12-15 2003-09-30 Korea Institute Of Science And Technology Ring-type piezoelectric ultrasonic motor

Also Published As

Publication number Publication date
LT2024012A (lt) 2024-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4455329B2 (ja) 電気機械モータの高精度制御
US4728843A (en) Ultrasonic vibrator and drive control method thereof
US5821667A (en) Ultrasonic motor
JP4860862B2 (ja) 縦波およびたわみ波によって励振される圧電駆動装置
US4933590A (en) Ultrasonic motor
JPH0117354B2 (lt)
JP2506170B2 (ja) X−yステ―ジ
US5001382A (en) Stepping motor and a method of driving the same
US11114954B2 (en) Ultrasonic motor having generators formed of cooperating and spaced apart first and second sub-generators
LT7111B (lt) Didelės galios pjezoelektrinė sukamoji pavara
CN112217417B (zh) 一种三足平面三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法
WO1992020141A1 (fr) Moteur a ultrasons
CN112217415A (zh) 一种框架式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法
CN110661445B (zh) 一种并联式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法
EP4531264A1 (en) High power piezoelectric motor and drive
JPH06284754A (ja) 振動モータ
JPS62141980A (ja) 超音波振動子とその駆動制御方法
JPH08242592A (ja) 超音波アクチュエータ
JPH1175380A (ja) 超音波モータおよびそれを用いた圧電バイブレータ
LT7113B (lt) Pjezoelektrinis keitiklis didelės galios slenkamojo judesio pavaroms
JPH0773428B2 (ja) 圧電駆動装置
JPH0552137B2 (lt)
JP2632897B2 (ja) 振動波駆動装置
LT7104B (lt) Inercinė keturių laisvės laipsnių pjezoelektrinė pavara
Xu et al. Simulation and Experimental Research on Mode Switching of Traveling Wave Rotary Ultrasonic Motor

Legal Events

Date Code Title Description
BB1A Patent application published

Effective date: 20241111

FG9A Patent granted

Effective date: 20241210