KR980005770A - 금속층간 산화막의 화학적 기계적 연마정지 감지방법 - Google Patents
금속층간 산화막의 화학적 기계적 연마정지 감지방법 Download PDFInfo
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Abstract
1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
웨이퍼 박막의 평탄화작업을 하는 화학적 기계적 연마정지장치.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
동일계통으로 이루어진 박막의 층간에서 원하는 두께만큼 일정한 지점까지 연마를 정지히여야 할 위치까지 시간으로 환산하여 대략적인 공정을 실시할 수밖에 없어 동일계통을 이루는 박막의 평탄화공정에는 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있었다.
3. 발명의 해결방법의 요지
동일계통의 박막의 평탄화시 연마율이 낮은 SOG박막을 연마정지하여야 할 지점에 도포하여 모터전류신호 변화를 쉽게 감지하므로써 동일계통을 절연막에서 원하는 두께지점의 연마정지를 신뢰성있게 수행할 수 있도록 하는 화학적 기계적 연마정지 감지방법을 제공함에 그 목적이 있다.
4. 발명의 중요한 용도
웨이퍼의 박막 평탄화공정을 수행하는 반도체 전 장비에 적용된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명이 적용되는 화학적 기계적 연마정지 감지장치의 구성을 나타낸 개략적인 사시도.
Claims (3)
- 웨이퍼에 도포된 각종 층간 박막의 평탄화를 이루도록 연마공정을 수행하는 화학적 기계적 연마정지 감지방법에 있어서, 웨이퍼의 층간 박막의 연마정지할 지점에 서정크기만큼 작은 연마율을 가지는 절연막을 도포하는 단계; 상기 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에 고정한 후 모터에서 소정회전수로 회전시키는 단계; 상기 웨이퍼캐리어에 고정된 웨이퍼를 연마원판에 밀착시켜 연마하는 단계; 상기 모터의 회전수에 따라 발생하는 모터전류신로를 제어부에서 인가받아 연마전지신호값으로 출력하는 단계; 상기 제어부에서 출력된 연마정지신호값을 디스플레이하는 단계; 상기 디스플레이된 값이 목표값의 범위보다 이상변위가 발생되면 연마종말점까지 연마되었음을 감지하고 공정을 정지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 금속층간 산화막의화학적 기계적 연마정지 감지방법.
- 제1항에 있어서, 상기 절연막은 에스 오 지(SOG:Spin On Glass) 절연막인 것을 특징으로 하는 금속층간 산화막의 화학적 기계적 연마정지 감지방법.
- 제1항에 또는 제2항에 있어서, 웨이퍼를 연마원판에 밀착시켜 연마하는 단계는 상기 연마원판상에 연마제를 분단 130ml~170ml정도 뿌려주면서 연마를 수행하는 과정을 포함하는 것을 특징으로하는 금속층간 산화막의 화학적 기계적 연마정지 감지방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960026530A KR980005770A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 금속층간 산화막의 화학적 기계적 연마정지 감지방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960026530A KR980005770A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 금속층간 산화막의 화학적 기계적 연마정지 감지방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR980005770A true KR980005770A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66241097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960026530A KR980005770A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 금속층간 산화막의 화학적 기계적 연마정지 감지방법 |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR980005770A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100444721B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2004-08-16 | 동부전자 주식회사 | 금속배선 전 절연막의 평탄화 방법 |
| CN112201748A (zh) * | 2020-09-27 | 2021-01-08 | 昕原半导体(上海)有限公司 | 阻变存储器的钨薄膜制备方法 |
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1996
- 1996-06-29 KR KR1019960026530A patent/KR980005770A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100444721B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2004-08-16 | 동부전자 주식회사 | 금속배선 전 절연막의 평탄화 방법 |
| CN112201748A (zh) * | 2020-09-27 | 2021-01-08 | 昕原半导体(上海)有限公司 | 阻变存储器的钨薄膜制备方法 |
| CN112201748B (zh) * | 2020-09-27 | 2024-04-16 | 昕原半导体(上海)有限公司 | 阻变存储器的钨薄膜制备方法 |
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