KR980005739A - 웨이퍼 건조 장치 - Google Patents
웨이퍼 건조 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR980005739A KR980005739A KR1019960023948A KR19960023948A KR980005739A KR 980005739 A KR980005739 A KR 980005739A KR 1019960023948 A KR1019960023948 A KR 1019960023948A KR 19960023948 A KR19960023948 A KR 19960023948A KR 980005739 A KR980005739 A KR 980005739A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- chamber
- cleaning liquid
- wafer drying
- drying apparatus
- wafer
- Prior art date
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
본 발명은 웨이퍼 건조장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 건조장치는 건조 챔버의 내측 벽에 설치되어 상기 챔버 내에 세정액을 공급하는 복수의 세정액 공급 노즐을 포함한다. 상기 세정액 공급 노즐은 그 단부(端部)에서 챔버 내로 공급되는 세정액을 상기 챔버의 양측 방향 및 하측 방향으로 유도하도록 상기 단부의 하반부에만 형성된 복수의 분사구를 포함한다. 본 발명에 의하면, 웨이퍼 건조 장치 내에서 오염 또는 파티클이 발생하지 않도록 자체적으로 세정하는 것이 가능하므로, 웨이퍼 건조장치 내에서 오염 또는 파티클이 발생되는 것을 억제할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 건조장치의 구성을 개략적으로 도시한 것이다.
Claims (2)
- 습식 세정을 거친 웨이퍼를 챔버 내에서 건조시키는 웨이퍼 건조장치에 있어서, 상기 챔버의 내측 벽에 설치되어 상기 챔버 내에 세정액을 공급하는 복수의 세정액 공급 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
- 제1항에 있어서, 상기 세정액 공급 노즐은 그 단부(端部)에서 챔버 내로 공급되는 세정액을 상기 챔버의 양측 방향 및 하측 방향으로 유도하도록 상기 단부의 하반부에만 형성된 복수의 분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023948A KR980005739A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 웨이퍼 건조 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023948A KR980005739A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 웨이퍼 건조 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005739A true KR980005739A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960023948A KR980005739A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 웨이퍼 건조 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005739A (ko) |
-
1996
- 1996-06-26 KR KR1019960023948A patent/KR980005739A/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO1999034939A8 (en) | Wafer container washing apparatus | |
| KR970063586A (ko) | 반도체 웨이퍼 세정장치 | |
| FI960844A0 (fi) | Puhdistuslaite | |
| JP4776584B2 (ja) | 手乾燥装置 | |
| US4549562A (en) | Paint roller cleaning apparatus | |
| ATE184804T1 (de) | Staubfilter | |
| KR980005739A (ko) | 웨이퍼 건조 장치 | |
| FR2797405B1 (fr) | Bac de rincage a liquide ultra propre | |
| ATE130786T1 (de) | Ultraschallwascheinrichtung. | |
| KR970052652A (ko) | 반도체 웨이퍼 세정장치 | |
| KR910004879A (ko) | 직물에 분무되는 처리액체의 분산을 제한하기 위한 장치 | |
| ATE210583T1 (de) | Sprühvorrichtung | |
| KR940011071A (ko) | 세정장치 | |
| KR940005326A (ko) | 세정장치 | |
| DE60040770D1 (de) | Saugreinigungsgerät | |
| DE50008950D1 (de) | Expansionskühldüse | |
| ES2084898T3 (es) | Mejora en una maquina de limpieza-lavado de alfombras. | |
| SE8306772L (sv) | Portabel tvettningsanordning | |
| KR950028730A (ko) | 식기 세척기의 세척수 회전 분사장치 | |
| ES2184414T3 (es) | Cabeza de limpieza de un dispositivo de limpieza para superficies de ventanas y de fachadas. | |
| DE59705166D1 (de) | Reinigungsvorrichtung für einen Zylinder einer Druckmaschine | |
| US1850570A (en) | Nozzle | |
| KR950030976A (ko) | 식기 세정기 | |
| KR940016537A (ko) | 반도체 웨이퍼 세정방법 | |
| KR930003276A (ko) | 반도체 장치의 세정방법 및 그 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |