KR980005304U - 고주파를 이용하는 반도체 제조장비의 잡음원 차폐및 챔버 가열장치 - Google Patents

고주파를 이용하는 반도체 제조장비의 잡음원 차폐및 챔버 가열장치

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100588774B1 (ko) * 2001-11-26 2006-06-14 주성엔지니어링(주) 웨이퍼 서셉터
KR100830237B1 (ko) * 2007-02-28 2008-05-16 주식회사 테라세미콘 대면적 기판 처리 시스템의 서셉터 구조물

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