KR980005304U - 고주파를 이용하는 반도체 제조장비의 잡음원 차폐및 챔버 가열장치 - Google Patents
고주파를 이용하는 반도체 제조장비의 잡음원 차폐및 챔버 가열장치Info
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019960019292U KR980005304U (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 고주파를 이용하는 반도체 제조장비의 잡음원 차폐및 챔버 가열장치 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR2019960019292U KR980005304U (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 고주파를 이용하는 반도체 제조장비의 잡음원 차폐및 챔버 가열장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR980005304U true KR980005304U (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=60876492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR2019960019292U KR980005304U (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 고주파를 이용하는 반도체 제조장비의 잡음원 차폐및 챔버 가열장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR980005304U (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100588774B1 (ko) * | 2001-11-26 | 2006-06-14 | 주성엔지니어링(주) | 웨이퍼 서셉터 |
KR100830237B1 (ko) * | 2007-02-28 | 2008-05-16 | 주식회사 테라세미콘 | 대면적 기판 처리 시스템의 서셉터 구조물 |
-
1996
- 1996-06-29 KR KR2019960019292U patent/KR980005304U/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100588774B1 (ko) * | 2001-11-26 | 2006-06-14 | 주성엔지니어링(주) | 웨이퍼 서셉터 |
KR100830237B1 (ko) * | 2007-02-28 | 2008-05-16 | 주식회사 테라세미콘 | 대면적 기판 처리 시스템의 서셉터 구조물 |
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