KR980003944A - 유량 제어 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유량 제어 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 유량 제어 장치는 유로부, 센서부 및 유량 제어부에 각각 설치된 가열용 코일과, 상기 센서부 및 유로부에 각각 1개씩 설치되고, 상기 센서부 및 유로부에서의 온도를 감지하는 온도 감지 센서를 포함한다. 본 발명에 의하면, MFC 자체 내의 온도를 제어함으로써 안정화된 MFC의 구동이 가능하게 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 유량 제어 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
Claims (3)
- 회로부의 동작에 따라 반응 챔버 내로 공급되는 가스의 유량을 제어하기 위하여 가스 공급 라인상에 설치되고, 상기 가스가 흐르는 유로부(流路部)와, 상기 유로부를 거쳐 가스 공급 라인을 흐르는 유량을 감지하는 센서부와, 상기 가스 공급 라인을 통하여 흐르는 유량을 제어하는 유량 제어부를 포함하는 유량 제어 장치에 있어서, 상기 유로부, 센서부 및 유량 제어부에 각각 설치된 가열용 코일과, 상기 센서부 및 유로부에 각각 1개씩 설치되고, 상기 센서부 및 유로부에서의 온도를 감지하는 온도 감지 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 유로부, 센서부 및 유량 제어부와 회로부 사이에는 열전달을 차단하기 위한 열전달 차단막이 설치된 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 열전달 차단막은 석면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023949A KR980003944A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 유량 제어 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023949A KR980003944A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 유량 제어 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980003944A true KR980003944A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960023949A KR980003944A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 유량 제어 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980003944A (ko) |
-
1996
- 1996-06-26 KR KR1019960023949A patent/KR980003944A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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