KR970077440A - 보트 엘리베이터 수평 조절 장치 - Google Patents

보트 엘리베이터 수평 조절 장치 Download PDF

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KR970077440A
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    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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Abstract

본 발명은 보트 엘리베이터 수평을 조절하는 수평 조절 수단을 조절 플레이트 상부에 형성한 보트 엘리베이터 수평 조절 장치에 관한 것이다.
본 발명은 보트가 적재 된 캡 플레이트와, 상기 탭 플레이트에 고정된 조정 플레이트와, 상기 조정 플레이트에 대항하는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트에 고정된 몸체와, 상기 조정 플레이트와 고정 플레이트에 연결된 수평 조달 수단을 포함하는 보트 엘리베이터 수평 조절 장치에 있어서, 상기 수평 조절 수단이 조정 플레이트 상부에 형성된 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 보트의 상부에서 보트의 하부를 관찰하면서 조정 플레이트 상부에 형성된 수평 조절 수단을 조절함에 따라 보트의 수평 상태를 정확히 맞출 수 있는 이점이 있다.
또한, 수평 조정 수단이 조정 플레이트 상부에 형성되어 있어서 협소한 작업 공간하에서도 수평 조정 작업을 원활히 실시할 수 있는 이점이 있다.

Description

보트 엘리베이터 수평 조절 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 보트 엘리베이터 수평 조절 장치를 나타낸 사시도.

Claims (7)

  1. 보트가 적재 된 캡 플레이트와, 상기 캡 플레이트에 고정된 조정 플레이트와, 상기 플레이트에 대향하는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트에 고정된 몸체와, 상기 조정 플레이트와 사이 고정 플레이트여 연결된 수평 조절 수단을 포함하는 보트 엘리베이터 수평 조절 장치에 있어서, 상기 수평 조절 수단이 상기 조정 플레이트 상부에 형성된 것을 특징으로 하는 보트 엘리베니터 수평 조절 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수평 조절 수단은 보트의 수평을 조절하는 조정 스크류와, 상기 조정 플레이트와 고정 플레이트를 상호 고정하는 고정 스크류로 이루어진 것을 특징으로 하는 보트 엘리베이터 수평 조절 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 조정 스크류와 상기 고정 스크류가 동일한 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 보트 엘리베이터 수평 조절 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 조정 스크류와 상기 고정 스크류가 동일한 종류의 스크류인 것을 특징으로 하는 보트 엘리베이터 수평 조절 장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 조정 스크류와 상기 고정 스크류가 다른 종류의 스크류인 것을 특징으로 하는 보트 엘리베이터 수평 조절 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 스크류가 렌치용 스크류인 것을 특징으로 하는 보트 엘리베이터 수평 조절 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 수평 조절 수단이 적어도 두 개 이상인 것을 특징으로 하는 보트 엘리베이터 수평 조절 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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