KR970077276A - 웨이퍼 건조방법 및 그 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 건조방법 및 그 장치에 관한 것으로, 종래에는 초순수의 배출 및 이소프로필 알콜의 공급속도에 의해 계면이 하부로 이동하고, 이 계면이 하부로 이동됨에 따라 웨이퍼의 건조가 이루어지는 데, 상기 이소프로필 알콜의 공급속도조절이 정확치 못할 경우에 계면이 파괴되어 웨이퍼에 이물질, 물반점 등이 발생하는 문제점이 있었다. 본 발명에 웨이퍼 건조장치는 이소프로필 알콜과 초순수 사이에 존재하는 계면을 고정시키고, 웨이퍼를 상승시키거나, 상기 계면을 하부로 이동시킴과 동시에 웨이퍼를 상부로 이동시켜서 웨이퍼를 건조시킴으로서, 종래와 같이 웨이퍼에 이물질 또는 물반점이 발생하는 것을 방지하는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 건조방법 및 그 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명 웨이퍼 건조장치의 구성을 보인 종단면도.

Claims (5)

1. 이소프로필 알콜과 초순수의 계면을 고정시킨 후, 웨이퍼를 그 계면의 상부로 끌어올려 웨이퍼를 건조하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조방법.
2. 이소프로필 알콜과 초순수의 계면을 하부로 이동시킴과 동시에 웨이퍼를 상기 계면의 상부로 이동시켜서 웨이퍼를 건조하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조방법.
3. 웨이퍼가 수납되는 챔버의 상부 외측에는 이소프로필 알콜을 챔버의 내부로 공급하기 위한 공급부가 설치되어 있고, 그 챔버의 하부 하측에는 초순수를 챔버의 외부로 배출하기 위한 배출부가 설치되어 있는 웨이퍼 건조장치에 있어서, 상기 웨이퍼를 상,하방향으로 이동시키기 위한 이동수단과, 상기 웨이퍼의 이동을 감지하기 위한 상,하부센서를 구비하여서 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 이동수단은 웨이퍼를 지지하기 위한 지지대와, 그 지지대의 하측으로 연결설치되는 가동대와, 그 가동대를 상,하방향으로 이동시키기 위한 모터축이 구비된 모터로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 가동대와 모터의 회전력을 전달하는 모터축은 래크와 피니언 형태인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.