KR970077105A

KR970077105A - 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법

Info

Publication number: KR970077105A
Application number: KR1019960017806A
Authority: KR
Inventors: 전용배
Original assignee: 배순훈; 대우전자 주식회사
Priority date: 1996-05-23
Filing date: 1996-05-23
Publication date: 1997-12-12

Abstract

본 발명은 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 기판상에 형성된 복수개의 능동소자를 보호하기 위한 보호층과 보호층을 식각 용액으로부터 보호하기 위한 식각 스톱층을 형성시킴으로서 액티브 매트릭스를 형성시키는 단계와, 액티브 매트릭스상에 소정 형상의 회생층을 형성시키는 단계와, 희생층 및 희생층의 패턴을 통하여 노출된 구동 기판상에 멤브레인을 형성시키는 단계와, 멤브레인상에 이소 컷팅부를 구비한 하부 전극을 형성시키는 단계와, 하부 전극상에 변형부 및 상부 전극을 순차적을 형성시켜서 미러어레이를 형성시키는 단계와, 미러 어레이를 구성하는 복수개의 층들을 상부로부터 순차적으로 식각시켜서 소정 형상의 액츄에이터를 형성시키는 단계와, 액츄에이터를 캔틸레버 구조로 형성시키기 위하여 희생층을 제거하는 단계로 이루어지며, 액티브 매트릭스상에 형성된 희생층의 일부는 이소 컷팅부의 하부에 해당하는 멤브레인의 일부 하단에 소정의 선폭 크기로 잔존하고 있으며 브리지 부분에 아일런드(island) 형태로 존재하여 이에 의해서 액츄에이터를 소정 형상으로 패터닝시키기 위한 식각 공정시 멤브레인이 오버 에칭되는 경우에 희생층의 일부가 식각 스톱층이 손상받는 것을 방지시켜서 능동 소자를 보호하기 위한 보호층의 화학적 손상을 제거하여 능동 소자가 누설 전류를 발생시키는 것을 방지시킴으로서 광로 조절 장치의 작동 효율을 향상시킨다.

Description

광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제5도는 본 발명에 따른 액츄에이터의 이소 컷팅부를 확대 도시한 평면도.

Claims

구동부(A)와 지지부(B)로 이루어진 캔틸레버 구조로 형성되고 브리지(C)에 의해서 인접하는 지지부(B)가 연결되어 있는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법에 있어서, 실리콘 기판(510a)상에 형성된 복수개의 능동 소자를 보호하기 위한 보호층(510b)과 상기 보호층(510b)을 식각 용액으로부터 보호하기 위한 식각 스톱층(510c)을 형성시킴으로서 액티브 매트릭스(510)을 형성시키는 단계와, 상기 액티브 매트릭스(510)상에 소정 형상의 희생층(560)을 형성시키는 단계와, 상기 희생충(560) 및 희생충(560)의 패턴을 통하여 노출된 액티브 매트릭스(510)상에 멤브레인(520)을 형성시키는 단계와, 상기 멤브레인(520)상에 이소 컷팅부(I. C.)를 구비한 하부 전극(530)을 형성시키는 단계와, 상기 하부 전극(530)상에 변형부(540) 및 상부 전극(550)을 순차적으로 형성시켜서 미러 어레이(M)를 형성시키는 단계와, 상기 미러 어레이(M)를 구성하는 복수개의 층들을 상부로부터 순차적으로 식각시켜서 소정 형상의 액츄에이터(500)를 형성시키는 단계와, 상기 액츄에이터(500)를 캔틸레버 구조로 형성시키기 위하여 상기 희생층(560)을 제거하는 단계로 이루어지고, 상기 액티브 매트릭스(510)상에 소정 형상으로 형성된 상기 희생층(560)의 일부는 상기 하부 전극(530)상에 형성된 이소 컷팅부(I. C.)의 하부에 위치하는 상기 멤브레인(520)의 하단에 소정의 선폭 크기(D22)로 잔존하는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 희생층(560)의 일부 선폭 크기(D22)는 상기 이소 컷팅부(I. C.)의 선폭 크기(D2)보다 크게 유지되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 액츄에이터(500)의 브리지(C)상에 형성되는 상기 상부 전극(550)의 선폭 크기(D24)는 상기 이소 컷팅부(I. C.)의 선폭 크기(D2)보다 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
제3항에 있어서, 상기 액츄에이터(500)의 브리지(C)상에 형성되는 상기 변형부(540)의 선폭 크기(D25)는 상기 상부 전극(550)의 선폭 크기(D24)보다 크게 유지되는 반면에 상기 이소 컷팅부(I. C.)의 선폭 크기(D2)보다 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
제4항에 있어서, 상기 액츄에이터(500)의 브리지(C)상에 형성되는 상기 하부 전극(530)의 선폭 크기(D26)는 상기 변형부(540)의 선폭 크기(D25)보다 크게 유지되는 반면에 상기 이소 컷팅부(I. C.)의 선폭 크기(D2)보다 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
제5항에 있어서, 상기 액츄에이터(500)의 브리지(C)상에 형성되는 상기 멤브레인(520)의 선폭 크기(D4)는 상기 이소 컷팅부(I. C.)의 선폭 크기(D2)보다 크게 유지되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 액츄에이터(500)를 캔틸레버 구조로 형성시키기 위하여 상기 희생층(560)을 제거할 때 상기 브리지(C)상의 멤브레인(520) 하단에 잔존하는 희생층(560)의 일부도 제거되어서 공동부(H)를 형성시키는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 공동부(H)의 선폭 크기(D22)는 상기 멤브레인(520)의 선폭 크기(D4)보다 작게 유지되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 미러 어레이(M)을 구성하는 복수개의 층들은 이방성 식각 특성이 양호한 식각 공정에 의하여 소정 형상으로 식각되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
제9항에 있어서, 상기 미러 어레이(M)를 구성하는 복수개의 층들은 반응성 이온 식각 공정에 의하여 소정 형상으로 식각되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.