Claims (2)
반도체 소자 공정에 사용되는 개스를 저장하고 있는 실린더(10)와; 상기 실린더(10)에 설치되어 외부로부터 상기 실린더(10)의 교체시기를 알리는 경고발생신호를 입력받아 알람을 발생하는 알람발생장치(20)와; 반도체 소자 제조 공정에서 필요한 개스기준량, 필요압력값, 경고발생설정치, 그리고 작업중지설정치 등의 데이터가 저장된 호스트 컴퓨터(50)와; 상기 호스트 컴퓨터(50)와 연결되어 작업자가 상기 호스트 컴퓨터(50)에 개스기준량, 필요압력값, 경고발생설정치, 그리고 작업중지설정치 등의 데이터를 세팅하도록 하는 하나 이상의 클라이언트용 컴퓨터(40)와; 상기 실린더(10)로부터 실린더 내부압력값과 실린더무게값 중 어스 하나의 데이터를 입력받고, 상기 호스트 컴퓨터(50)로부터 개스기준량, 필요압력값, 경고발생설정치, 작업중지설정치를 입력받아 상기 실린더(10)의 교체여부를 판단하고, 그리고 이 교체여부 판단결과치를 상기 클라이언트용 컴퓨터(40)로 전송하는 마스터콘트롤러(30)를 포함하여 상기 실린더(10)의 교체여부를 자동으로 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 개스용기 관리 시스템.A cylinder 10 storing gas used in the semiconductor device process; An alarm generating device (20) installed in the cylinder (10) for receiving an alarm generation signal informing the replacement time of the cylinder (10) from the outside and generating an alarm; A host computer 50 in which data such as a gas reference amount, a required pressure value, a warning occurrence set value, and a job stop set value necessary for a semiconductor device manufacturing process are stored; One or more client computers (40) connected to the host computer (50) to allow an operator to set data such as a gas reference amount, a required pressure value, an alert generation value, and a job stop setting value on the host computer (50); The cylinder 10 receives data of one of the cylinder internal pressure value and the cylinder weight value, and receives the gas reference amount, the required pressure value, the warning generation value and the operation stop setting value from the host computer 50. 10) to determine whether to replace, and including the master controller 30 for transmitting the result of the determination whether or not to replace the client computer 40 characterized in that it automatically controls the replacement of the cylinder (10). A gas container management system for semiconductor manufacturing.
제1항에 있어서, 상기 마스터콘트롤러(30)는, 상기 실린더(10)로부터 실린더 내부압력값과 실린더무게값중 어느 하나의 데이터를 입력받고, 상기 호스트 컴퓨터(50)로부터 경고발생설정치 및 작업중지설정치를 입력받아서, 상기 내부압력값과 실린더 무게값 중 어느 하나의 데이터가 상기 경고발생설정치보다 작고, 상기 작업중지설정치 보다 큰지를 판단하는 단계(s30)와; 상기 내부압력값과 실린더 무게값 중 어느 하나의 데이터가 상기 경고발생설정치보다 작고, 상기 작업중지설정치 보다 클 때 상기 알람발생장치(20)가 알람을 발생하도록 하는 경고발생신호를 전송하는 단계(s40)와; 상기 알람발생장치(20)의 알람 발생후, 상기 클라이언트용 컴퓨터(40)로 실린더 교환준비 메시지를 전송하는 단계(s50)와; 상기 실린더(10)로부터 실린더 내부압력값과 실런더무게값중 어느 하나의 데이터를 입력받고 상기 호스트 컴퓨터(50)로부터 공정에 필요한 압력값과 작업중지설정치를 입력받아서, 상기 내부압력값과 실린더 무게값 중 어느 하나의 데이터가 상기 공정에 필요한 필요압력값과 작업중지설정치의 합 보다 작거나 같고, 상기 작업중지설정치 보다 큰지를 판단하는 단계(s60)와; 상기 내부압력값과 실린더 무게값 중 어느 하나의 데이터가 상기 공정에 필요한 필요압력값과 작업중지설정치의 합보다 작거나 같고, 상기 작업중지설정치 보다클 때 상기 호스트 컴퓨터(50) 및 상기 하나 이상의 클라이언트용 컴퓨터(40)로 작업불가메시지를 전송하는 단계(s70)를 순차적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 개스용기 관리 시스템.According to claim 1, The master controller (30) receives the data of any one of the cylinder internal pressure value and the cylinder weight value from the cylinder 10, from the host computer 50, the alarm generation set value and the operation stop Determining whether any one of the internal pressure value and the cylinder weight value is smaller than the warning occurrence setting value and larger than the operation stop setting value by receiving a setting value (s30); Transmitting an alarm generation signal for causing the alarm generation device 20 to generate an alarm when any one of the internal pressure value and the cylinder weight value is smaller than the warning generation setting value and larger than the operation stop setting value (s40). )Wow; (S50) transmitting a cylinder replacement preparation message to the client computer (40) after an alarm of the alarm generating device (20); The internal pressure value and the cylinder weight are input by receiving data of one of a cylinder internal pressure value and a cylinder weight value from the cylinder 10 and a pressure value and a work stop setting value required for the process from the host computer 50. Determining whether any one of the values is smaller than or equal to the sum of the required pressure value required for the process and the operation stop setting value and larger than the operation stop setting value (s60); The host computer 50 and the at least one client when the data of any one of the internal pressure value and the cylinder weight value is less than or equal to the sum of the required pressure value required for the process and the operation stop setting value and is larger than the operation stop setting value. A gas container management system for manufacturing a semiconductor, characterized in that to perform a step (s70) to send a task impossible message to the computer 40.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.