Claims (10)
틀상의 프레임과 타성복원력을 갖는 지지량을 개재하여 상기 프레임에 주위가 지지되고 가속도에 응답해서 변위하는 질량부와 그 질량부의 상기 변위 방향의 면에 배치되는 제1평면 코일과 그 제1평면 코일을 간극을 두어 마주보도록 배치되는 제2평면 코일을 갖추어 상기 제1평면 코일과 제2평면 코일로 트랜스를 구성한 센서부를 갖고 상기 제1평면 코일에 교류 신호를 인가한 상태이며 가속도에 대응하는 상기 제1평면 코일과 제2평면 코일과의 상기 간극의 변화에 따른 전기신호를 제2평면 코일에서 출력시키는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 가속도 센서.A first planar coil disposed on a surface of the mass portion in the displacement direction and a second planar coil disposed on a surface of the mass portion in a direction of displacement of the mass portion, A second planar coil disposed so as to face the first planar coil with a gap therebetween to form a transformer with the first planar coil and the second planar coil, wherein AC signals are applied to the first planar coil, And an electric signal corresponding to a change in the gap between the first plane coil and the second plane coil is outputted from the second plane coil.
제1항에 있어서, 서로 직교하는 중심축상의 네개의 위치에서 지지량을 개재하여 프레임에 지지되는 구성인 가속도 센서.2. The acceleration sensor according to claim 1, wherein the acceleration sensor is configured to be supported on the frame via a supporting amount at four positions on the central axis orthogonal to each other.
제1항에 있어서, 상기 센서부가 반도체 기판에서 구성되는 가속도 센서.The acceleration sensor according to claim 1, wherein the sensor unit is formed on a semiconductor substrate.
제1항에 있어서, 상기 센서부의 제1평면 코일에 교류 신호를 인가하는 발진기와 상기 제2평면 코일에서 출력되는 전기 신호에 근거하여 가속도를 연산하는 전자 회로를 갖추어 구성한 가속도 센서.The acceleration sensor according to claim 1, further comprising: an oscillator for applying an AC signal to the first plane coil of the sensor unit; and an electronic circuit for calculating an acceleration based on the electric signal output from the second plane coil.
제4항에 있어서, 상기 전자회로가 상기 제2평면 코일에서 출력되는 교류 전기 신호를 정류하는 정류회로와 그 정류회로의 정류 출력을 디지탈신호로 변환하는 아나로그 디지탈 변환기와 그 아나로그 디지탈 변환기의 디지탈 출력에 근거하여 가속도를 연산하는 마이크로 컴퓨팅을 갖추어 구성되는 가속도 센서.And an analog-to-digital converter for converting the rectified output of the rectifying circuit into a digital signal, and an analog-to-digital converter for converting the rectified output of the rectifying circuit into a digital signal. An acceleration sensor configured with microcomputing to calculate acceleration based on digital output.
제5항에 있어서, 상기 정류회로가 배전압 정류회로인 가속도 센서.The acceleration sensor according to claim 5, wherein the rectifier circuit is a voltage-doubler rectifier circuit.
제1항에 있어서, 상기 센서부를 서로 직교하는 두면에 배치해서 구성한 가속도 센서.The acceleration sensor according to claim 1, wherein the sensor unit is disposed on two surfaces orthogonal to each other.
제1항에 있어서, 상기 센서부를 서로 직교하는 세면에 배치해서 구성한 가속도 센서.The acceleration sensor according to claim 1, wherein the sensor unit is disposed on three sides orthogonal to each other.
제1항에 있어서, 상기 센서부가 제1평면 코일과 제2평면 코일에 각각 근접하게 설치한 자성체를 포함하여 구성된 가속도 센서.2. The acceleration sensor according to claim 1, wherein the sensor section comprises a magnetic body provided close to the first plane coil and the second plane coil, respectively.
제9항에 있어서, 상기 각 자성체는 판상으로 형성하여 센서부에 적층하는 구인성 가속도 센서.The spherical acceleration sensor according to claim 9, wherein each of the magnetic bodies is formed in a plate shape and laminated on the sensor part.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: It is disclosed by the contents of the first application.