KR970072127A - 반도체 제조 장비의 가스 박스 - Google Patents
반도체 제조 장비의 가스 박스 Download PDFInfo
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Abstract
반도체 제조 장비를 사용할 때 작업자의 안전을 향상시키기 위하여 가스의 누설을 감지할 수 있는 가스 박스를 제공한다. 본 발명은 가스 공급 라인에서 공급된 가스가 하나로 합쳐져서 각 반도체 제조 장비의 공정 챔버로 공급되는 가스 박스에 있어서, 내부를 밀폐하여 일정한 압력을 유지하고, 상기 압력의 변화를 감지하는 압력감지기를 포함한다. 따라서, 본 발명에 의하여 가스 박스 내에서 가스 누설이 발생하는 것을 감지할 수 있기 때문에, 종래와 달리 상기 가스 박스 내에서 유독성 가스가 누설되어 안전 사고가 발생하는 것을 예방할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의하여 가스 누설을 감지할 수 있는 가스 박스를 보여주는 도면이다.
Claims (2)
- 가스 공급 라인에서 공급된 가스가 하나로 합쳐져서 각 반도체 제조 장비의 공정 챔버로 공급되는 가스 박스에 있어서, 내부를 밀폐하여 일정한 압력을 유지하고, 상기 압력의 변화를 감지하는 압력 감지기를 포함하는 가스 박스.
- 제1항에 있어서, 상기 압력은 대기압 보다 낮은 것을 특징으로 하는 가스 박스.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960009718A KR970072127A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 반도체 제조 장비의 가스 박스 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960009718A KR970072127A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 반도체 제조 장비의 가스 박스 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970072127A true KR970072127A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66222969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960009718A KR970072127A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 반도체 제조 장비의 가스 박스 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR970072127A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101420323B1 (ko) * | 2013-10-22 | 2014-07-17 | 주식회사 코스트넷 | 반도체 제조설비용 가스박스의 가스누출 차단장치 |
-
1996
- 1996-04-01 KR KR1019960009718A patent/KR970072127A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101420323B1 (ko) * | 2013-10-22 | 2014-07-17 | 주식회사 코스트넷 | 반도체 제조설비용 가스박스의 가스누출 차단장치 |
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