KR970072127A - 반도체 제조 장비의 가스 박스 - Google Patents

반도체 제조 장비의 가스 박스 Download PDF

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KR970072127A
KR970072127A KR1019960009718A KR19960009718A KR970072127A KR 970072127 A KR970072127 A KR 970072127A KR 1019960009718 A KR1019960009718 A KR 1019960009718A KR 19960009718 A KR19960009718 A KR 19960009718A KR 970072127 A KR970072127 A KR 970072127A
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KR1019960009718A
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오제순
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김광호
상성전자 주식회사
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  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Abstract

반도체 제조 장비를 사용할 때 작업자의 안전을 향상시키기 위하여 가스의 누설을 감지할 수 있는 가스 박스를 제공한다. 본 발명은 가스 공급 라인에서 공급된 가스가 하나로 합쳐져서 각 반도체 제조 장비의 공정 챔버로 공급되는 가스 박스에 있어서, 내부를 밀폐하여 일정한 압력을 유지하고, 상기 압력의 변화를 감지하는 압력감지기를 포함한다. 따라서, 본 발명에 의하여 가스 박스 내에서 가스 누설이 발생하는 것을 감지할 수 있기 때문에, 종래와 달리 상기 가스 박스 내에서 유독성 가스가 누설되어 안전 사고가 발생하는 것을 예방할 수 있다.

Description

반도체 제조 장비의 가스 박스
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의하여 가스 누설을 감지할 수 있는 가스 박스를 보여주는 도면이다.

Claims (2)

  1. 가스 공급 라인에서 공급된 가스가 하나로 합쳐져서 각 반도체 제조 장비의 공정 챔버로 공급되는 가스 박스에 있어서, 내부를 밀폐하여 일정한 압력을 유지하고, 상기 압력의 변화를 감지하는 압력 감지기를 포함하는 가스 박스.
  2. 제1항에 있어서, 상기 압력은 대기압 보다 낮은 것을 특징으로 하는 가스 박스.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960009718A 1996-04-01 1996-04-01 반도체 제조 장비의 가스 박스 KR970072127A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101420323B1 (ko) * 2013-10-22 2014-07-17 주식회사 코스트넷 반도체 제조설비용 가스박스의 가스누출 차단장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101420323B1 (ko) * 2013-10-22 2014-07-17 주식회사 코스트넷 반도체 제조설비용 가스박스의 가스누출 차단장치

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