KR970072060A - Lp cvd 확산로의 압력 센서 열화 방지 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 압력센서와 LP CVD 확산로를 연결한 압력 감지관에 불활성 가스를 공급하는 불활성 가스관과 자동 개폐 밸브를 설치하여 상기 불활성 가스가 LP CVD에서 압력 센서로 유입되는 열을 차단하여 열이 압력센서로 전달되는 것을 막아주는 LP CVD 확산로의 압력센서 열화방지 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의하면 인너 튜브와 연결되어 있는 압력 감지관과 압력 감지관의 중간부에 연결되어 압력 감지관에 불활성 가스를 공급하여 주는 불활성 가스 공급관과 불활성 가스 공급관을 차단해 주는 자동 개폐 밸브가 불활성 가스 공급관에 장착되어 있다.
본 발명에 따르면 인너 튜브에서 압력 센서로 전달되는 잔열을 불활성 공급관을 통해 공급된 불활성 가스가 차단되어 인너 튜브의 잔열이 압력 센서로 이동하는 것을 차단하여 압력 센서의 열화를 방지함으로써 압력 센서의 오동작으로 LP CVD 공정 조건이 변경되어 발생한 공정 불량을 최소로 할 수 있는 효과가 있다.

Description

LP CVD 확산로의 압력 센서 열화 방지 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의한 LP CVD 확산로의 압력 센서 열화 방지 장치이다.

Claims (5)

  1. LP CVD 챔버의 플랜지와, 압력의 측정을 위한 압력 센서와, 상기 플랜지와 상기 압력 센서를 연결하는 압력 센서 감지관으로 구성된 LP CVD 확산로에 있어서, 상기 압력 센서 감지관에는 불활성 가스를 공급하는 불활성 가스 공급관이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 LP CVD 확산로의 압력 센서 열화 방지 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 불활성 가스 공급관 상에 개폐 밸브가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 LP CVD 확산로의 압력 센서 열화 방지 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 개폐 밸브는 에어 구동 밸브인 것을 특징으로 하는 LP CVD 확산로의 압력 센서 열화 방지 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 불활성 가스는 LP CVD 확산 공정 중 공정 대기 상태나 상압 상태에서만 공급되는 것을 특징으로 하는 LP CVD 확산로의 압력 센서 열화 방지 장치.
  5. 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 불활성 가스는 질소인 것을 특징으로 하는 LP CVD 확산로의 압력 센서 열화 방지 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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