KR970069889A - 전해이온수 제조장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전해이온수 제조효율을 높이기 위해 용존산소 제거수단으로 중고사탈기조를 추가한 전해이온수 제조장치에 관한 것으로써, 전기분해시 발생한 용존산소를 극히 미량으로 줄여줌으로써, 초순수를 전기분해하는 전해수단과, 상기 전해수단에서 제조된 전해 이온수를 이용하여 기판을 세정하는 세정수단과, 상기 세정수단에서 전해 이온수에 발생한 불순물을 제거하기 위한 정수기와, 불요이온을 제거하기 위한 이온교환기를 포함하여 구성된 전해이온수 제조장치에 있어서, 상기 이온교환기와 상기 전해수단 사이에 초순수의 용존산소를 제거하는 용존산소제거수단이 추가되어 구성된 것을 특징으로한다.
본 발명에 의한 전해이온수 제조장치는 전해수조로 공급되는 초순수를 용존산소 제거수단으로 통과시켜 용존산소를 극히 미량으로 줄임으로써 전해 이온수 제조 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다. 또한 전해 이온수 제조 능력 향상을 위해 사용되는 초산암모늄염을 사용하지 않기 때문에 상기 초산암모늄염에 의한 기판에 형성된 소자의 부식을 없앨 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 전해이온수 제조장치를 나타내는 도면, 제3도는 본 발명에 의한 중공사탈기조를 나타내는 도면.
Claims (2)
- 초순수를 전기분해하는 전해수단과, 상기 전해수단에서 제조된 전해 이온수를 이용하여 기판을 세정하는 세정수단과, 상기 세정수단에서 전해 이온수에 발생한 불순물을 제거하기 위한 정수기와, 불요이온을 제거하기 위한 이온교환기를 포함하여 구성된 전해이온수 제조장치에 있어서, 상기 이온교환기와 상기 전해수단 사이에 초순수의 용존산소를 제거하는 용존산소제거수단이 추가되어 구성된 것을 특징으로 하는 전해이온수 제조장치.
- 제1항에 있어서, 상기 용존산소 제거수단은 중공사탈기조인 것을 특징으로 하는 전해이온수 제조장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960010998A KR970069889A (ko) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 전해이온수 제조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960010998A KR970069889A (ko) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 전해이온수 제조장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970069889A true KR970069889A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66222963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960010998A KR970069889A (ko) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 전해이온수 제조장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970069889A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100880510B1 (ko) * | 2006-09-26 | 2009-01-28 | 주식회사 포스코 | 표면세정장치 |
-
1996
- 1996-04-12 KR KR1019960010998A patent/KR970069889A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100880510B1 (ko) * | 2006-09-26 | 2009-01-28 | 주식회사 포스코 | 표면세정장치 |
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