KR970057648A - Test pattern structure for optical path control - Google Patents

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KR970057648A
KR970057648A KR1019950052107A KR19950052107A KR970057648A KR 970057648 A KR970057648 A KR 970057648A KR 1019950052107 A KR1019950052107 A KR 1019950052107A KR 19950052107 A KR19950052107 A KR 19950052107A KR 970057648 A KR970057648 A KR 970057648A
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KR
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test
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optical path
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KR1019950052107A
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Korean (ko)
Inventor
김형중
Original Assignee
배순훈
대우전자 주식회사
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Abstract

본 발명의 하부 전극을 화소 단위로 형성시키기 위한 이소 컷팅부의 전기적 단선 여부를 확인하기 위한 테스트 패턴 구조에 관한 것으로, 상기 테스트 패턴 구조는 시험 패드에 의하여 전기적으로 연결된 2개의 하부 전극 단자와, 상기 시험 패드의 중앙부를 가로 질러서 상기 2개의 하부 전극 단자를 연결시키는 절연층과, 상기 시험 패드와 복수개의 분기 단자에 의해서 전기적으로 연결된 2개의 보조 패드와, 그리고 상기 시험 패드상에 형성된 복수개의 절단부로 구성되며 이에 의해서 상기 액츄에티티드 미러 어레이에 형성된 이소 컷팅부의 전기적 단락 여부를 용이하게 확인할 수 있다.The test pattern structure for confirming whether the iso-cutting part for the electrical disconnection for forming the lower electrode of the present invention in a pixel unit, the test pattern structure is two lower electrode terminals electrically connected by a test pad, and the test An insulating layer connecting the two lower electrode terminals across the center of the pad, two auxiliary pads electrically connected by the test pad and the plurality of branch terminals, and a plurality of cutout portions formed on the test pad. Accordingly, it is possible to easily check whether an electrical short is formed in the iso cut portion formed in the actuated mirror array.

Description

광로 조절 장치용 테스트 패턴 구조Test pattern structure for optical path control

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음Since this is an open matter, no full text was included.

제3도는 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 패턴을 개략적으로 도시한 평면도3 is a plan view schematically showing a test pattern according to an embodiment of the present invention

제4도는 본 발명의 다른 실시예에 따라서 패턴이 형성된 실리콘 기판을 도시한 평면도4 is a plan view showing a silicon substrate on which a pattern is formed according to another embodiment of the present invention.

Claims (4)

시험 패드(32)에 의하여 전기적으로 연결된 2개의 하부 전극 단자(31)와, 상기 시험 패트(32)의 중앙에 위치하고 길이 방향을 따라서 연장되어 있으며 상기 2개의 하부 전극단자(31) 사이에 전개되어 있는 절연층(33)과, 복수개의 분기 단자(34a)에 의해서 상기 시험 패드(31)에 전기적으로 연결되어 있는 2개의 보조 패드(34)와, 그리고 상기 시험 패드(32)를 복수개의 구획으로 분리시키기 위하여 형성된 복수개의 절단부(35)로 구성된 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 테스트 패턴 구조Two lower electrode terminals 31 electrically connected by the test pads 32, positioned in the center of the test pads 32 and extending along the length direction, and are disposed between the two lower electrode terminals 31. An insulating layer 33, two auxiliary pads 34 electrically connected to the test pad 31 by a plurality of branch terminals 34a, and the test pad 32 in a plurality of compartments. Test pattern structure for an optical path control device, characterized in that composed of a plurality of cut portions 35 formed to separate 제1항에 있어서, 상기 절단부(35)의 패턴 치수 크기는 0.5㎛, 1㎛, 1.5㎛, 및 2㎛ 정도의 치수 크기를 각각 갖는 4개의 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 테스트 패턴 구조According to claim 1, wherein the pattern size of the cut portion 35 is a test for the optical path control device, characterized in that four patterns each having a dimension size of about 0.5 ㎛, 1 ㎛, 1.5 ㎛, and 2㎛ Pattern structure 제1항에 있어서, 상기 2개의 보조 패드(34)는 상기 시험 패드(32)를 중심으로 상호 마주하는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 테스트 패턴 구조The test pattern structure for an optical path adjusting device according to claim 1, wherein the two auxiliary pads (34) are formed at positions facing each other about the test pad (32). 제3항에 있어서, 상기 2개의 보조 패드(34)로부터 상기 시험 패드(32)를 향하여 각각 분기된 복수개의 분기 단자(34a)는 상기 시험 패드(32)상에 절단부(35)를 중심으로 교변적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 테스트 패턴 구조4. The plurality of branch terminals 34a branched from the two auxiliary pads 34 toward the test pads 32 are interlaced with the cut portions 35 on the test pads 32. Test pattern structure for optical path control device, characterized in that formed as ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: It is to be disclosed based on the initial application.
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