KR970053110A - 웨이퍼 세정장비의 순수 역류방지장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 순수에 의해 웨이퍼를 세정하는 웨이퍼 세정장비의 순수 역류방지장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 공정진행중에 전원이 차단되거나, 에어의 공급이 중단되었을 경우에 배쓰(Bath)내의 순수가 역류되는 것을 방지할 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 배쓰(3)에 연결된 순수공급관(5)상에 제2핸드밸브(7)와 에어밸브(9) 그리고 유량밸브(10)를 차례로 설치하여 배쓰의 내부에 정상적으로 순수가 공급되도록 하거나, 절수상태가 되도록 한 것에 있어서, 제2핸드밸브(7)와 에어밸브(9)의 사이에 절수변이 부착되지 않은 에어밸브(14)를 설치하여서 된 것이다.

Description

웨이퍼 세정장비의 순수 역류방지장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 종래 웨이퍼 세정장비를 나타낸 구성도.

제2도는 본 발명을 나타낸 세정장비의 구성도.

제3도는 본 발명의 요부를 나타낸 구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

3 : 배쓰 5 : 순수공급관

7 : 제2핸드밸브 9, 14 : 에어밸브

10 : 유량계

Claims (1)

1. 배쓰에 연결된 순수공급관상에 제2핸드밸브와 에어밸브 그리고 유량밸브를 차례로 설치하여 배쓰의 내부에 정상적으로 순수가 공급되도록 하거나, 절수상태로 공급되도록 한 것에 있어서, 제2핸드밸브와 에어밸브의 사이에 절수변이 부착되지 않은 에어밸브를 설치함을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장비의 순수 역류방지장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.