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Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사filedCritical김광호
Priority to KR1019950055732ApriorityCriticalpatent/KR970049816A/ko
Publication of KR970049816ApublicationCriticalpatent/KR970049816A/ko
Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer
(AREA)
Abstract
인식마크를 통한 반도체 웨이퍼 자동인식방법이 개시되어 있다. 본 발명은 인식마크를 통한 반도체 웨이퍼 자동인식방법에 있어서, 웨이퍼가 수용되는 카세트의 인식마크를 자동인식수단으로 인식하는 단계와 상기 카세트에 수용된 웨이퍼에 표시된 인식마크를 자동인식수단으로 인식하는 단계 및 상기 두 단계에서 얻은 인식마크를 자동적으로 결합하는 단계를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 따라서, 간단한 웨이퍼 인식마크를 사용하는 경우에도 각 웨이퍼별로 자동인식이 가능하고 각 웨이퍼별로 데이터를 보관하고 이를 이용한 보고가 이루어질 수 있게 하는 효과를 가진다.
Description
인식마크를 통한 반도체 웨이퍼 자동인식방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 웨이퍼 카세트(wafer cassette)에 바코드(bar code)가 형성된 상태를 나타내는 도면이다.
제3도는 본 발명의 실시에 적합한 인식마크가 형성된 웨이퍼의 일 예를 나타내는 도면이다.
Claims (3)
인식마크를 통한 웨이퍼 자동인식방법에 있어서, 웨이퍼가 수용되는 카세트의 인식마크를 자동인식수단으로 인식하는 단계와, 상기 카세트에 수용된 웨이퍼 표시된 인식마크를 자동인식수단으로 인식하는 단계 및 상기 두 단계에서 얻은 인식정보를 자동적으로 결합하는 단계를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인식마크를 통한 반도체 웨이퍼 자동인식방법.
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼에 표시된 인식마크는 2진수 코드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 인식마크를 통한 반도체 웨이퍼 자동인식방법.
제2항에 있어서, 상기 2진수 코드는 5자리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 인식마크를 통한 반도체 웨이퍼 자동인식방법.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950055732A1995-12-231995-12-23인식마크를 통한 반도체 웨이퍼 자동인식방법
KR970049816A
(ko)
Semiconductor memory card, apparatus for recording data onto the semiconductor memory card, and apparatus for reproducing data of the semiconductor memory card