KR970048938A - 실시간 마스크 자동정렬장치 및 그 제어 방법 - Google Patents

Abstract

이 발명은 실시간 마스크 자동정렬장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 웨이퍼기판수단과; 상기 웨이퍼기판수단에 마스킹될 패턴을 갖고 있는 마스크수단과; 상기 웨이퍼기판수단과 마스크수단의 위치를 인식하여 시간신호로 나타나는 파형을 출력하고, 상기 출력된 시간신호를 전압신호로 바꾸고, 상기 전압신호에 해당되는 디지탈 값으로 변환시켜서, 기존의 입력된 값과의 차이를 계산해서 출력하는 실시간처리 촬상장치수단과; 상기 웨이퍼기판수단이 놓여져 있고, 상기 실시간처리 촬상장치수단의 출력에 따라서 웨이퍼기판수단의 위치를 조정해 주는 스테이지수단으로 이루어지는데, 촬상장치를 이용하여 인식된 웨이퍼기판과 마스크사이의 상대적 위치에 대한 출력 파형을 디지탈 값으로 정량화시켜 기존의 입력된 값과의 차이를 계산하여 웨이퍼기판과 마스크를 실시간으로 정렬시키므로서, 정렬시키는 시간이 단축되고, 실수가 발생될 확률이 줄어들고, 상기 공정의 재현성이 향상되는 효과를 갖는다.

Description

실시간 마스크 자동정렬장치 및 그 제어 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제3도는 웨이퍼기판에 있는 정렬용 표시와 마스크에 있는 정렬용 표시,

제4도는 촬상장치가 웨이퍼기판과 마스크의 상대적 위치를 인식하여 출력하는 시간신호 파형,

제5도는 이 발명의 실시예에 따른 실시간 마스크 자동정렬장치의 구성도,

제6도는 이 발명의 실시예에 따른 실시간 마스크 자동정렬장치의 실시간처리 촬상장치의 구성도.

Claims (3)

1. 웨이퍼기판수단과; 상기 웨이퍼기판수단에 마스킹될 패턴을 갖고 있는 마스크수단과; 상기 웨이퍼기판수단과 마스크수단의 위치를 인식하여 시간신호로 나타나는 파형을 출력하고, 상기 출력된 시간신호를 전압신호로 바꾸고, 상기 전압신호에 해당되는 디지탈 값으로 변화시켜서, 기존의 입력된 값과의 차이를 계산해서 출력하는 실시간처리 촬상장치수단과; 상기 웨이퍼기판수단이 놓여져 있고, 상기 실시간처리 촬상장치수단의 출력에 따라서 웨이퍼기판수단의 위치를 조정해 주는 스테이지수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실시간 마스크 자동정렬장치.
2. 제1항에 있어서, 상기한 실시간처리 촬상장치부의 구성은, 웨이퍼기판과 마스크의 위치를 인식하여 시간신호로 나타나는 파형을 출력하는 CCD장치부와, 상기 CCD장치로 부터 출력된 시간신호파형을 전압신호로 바꾸는 시간/전압 변환장치부와, 상기 시간/전압 변환장치부로부터 출력된 전압신호에 해당되는 디지탈 값으로 변환시키는 아날로그/디지탈 변환장치부와, 기존의 입력된 값과의 차이를 계산해서 출력하는 비트맵처리부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 실시간 마스크 자동정렬장치.
3. 웨이퍼기판을 스테이지부의 위에 올려 놓는 단계와; CCD장치부가 웨이퍼기판과 마스크의 상대적 위치를 인식하여 시간신호 파형을 출력하는 단계와; 시간/전압 변환장치부가 시간신호를 전압신호로 변환시켜서 출력하는 단계와; 아날로그/디지탈 변환장치부가 전압신호에 해당되는 디지탈 값을 출력하는 단계와; 비트맵처리부가 디지탈 값과 입력된 값의 차이를 계산하여 출력하는 단계와; 스테이지부가 웨이퍼기판과 마스크의 위치차이에 따라서 웨이퍼를 이동시켜서 정렬시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실시간 마스크 자동정렬장치의 제어방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.