KR970048672A - 원자간력 현미경과 프랙탈 이론을 적용한 평균 결정입자크기 결정방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 원자간력 현미경과 프렉탈 이온을 이용한 평균 결정입자의 크기를 결정하는 방법에 관한 것으로, 측정하고자 하는 시료를 원자간력 현미경 또는 이와 유사한 주사형 원자 현미경을 사용하여 측정하고 하기식(1)에 의하여 거리에 따른

G(R)=＜[z(x,y)-z(x,y)]²＞ ·····(1)

G(R) 값을 계산한 후 거리 R과 G(R)값을 그래프화 한 다음 그 기울기가 수평이 되는 점까지의 거리를 평균 결정입자의 크기로 정하는 것이다.

Description

원자간력 현미경과 프랙탈 이론을 적용한 평균 결정입자크기 결정방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제 1 도는 실리콘 기판위에 팔라듐을 약 2nm 증착한 시료의 표면을 원자간력 현미경을 사용하여 측정한 사진

제 3 도는 실리콘 기판위에 구리를 화학증착법을 이용하여 증착한 시료의 표면을 원자간력 현미경을 사용하여 측정한 사진

Claims (1)

1. 평균 결정입자의 크기를 결정하는 방법에 있어서,

   측정하고자 하는 시료를 원자간력 현미경 또는 이와 유사한 주사형 원자 현미경을 사용하여 측정하고 하기식(1)에 의하여 거리에 따른

   G(R)=＜[z(x,y)-z(x,y)]²＞ ·····(1)

   G(R) 값을 계산한 후 거리 R과 G(R) 값을 그래프화 한 다음 그 기울기가 수평이 되는 점까지의 거리를 평균 결정입자의 크기로 정하는 것을 특징으로 하는 원자간격 현미경과 프렉탈이론을 적용한 평균 결정입자 크기 결정방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.