KR970043356A - 화학 기상증착장비의 분배헤드 - Google Patents

화학 기상증착장비의 분배헤드 Download PDF

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KR970043356A
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base plate
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chemical vapor
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KR1019950054690A
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신권호
윤방원
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

양 베이스 플레이트의 냉각 유로로 이용되는 관통 구멍을 연결하는 연결관을 내식성이 강한 물질을 이용하여 상기 분배 헤드의 외측에 형성한 상압화학 기상증착 장비의 분배 헤드에 관한 것이다. 이는 분배헤드를 냉각하기 위한 냉각 유로를 분배 헤드(Distribution Head)의 외부로 인출되고, 각 베이스플레이트 하측에 형성되어 냉각 유로로 이용되는 각 관통 구멍 상호간을 연결하는 연결관을 구비하여 형성한다. 이는 냉매에 의하여 각 플레이트가 부식되는 현상이 제거하여 분배 헤드의 내측으로 냉매가 유출되는 현상을 원천적으로 봉쇄함으로써, 분배헤드의 동작 수명을 연장할 수 있으며, 중착 공정에서 형성되는 증착막에 이상이 발생되는 원인을 제거할 수 있다.

Description

화학 기상증착장비의 분배헤드
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (3)

  1. 하측에 길이 방향으로 관통 구멍이 각각 형성되고 서로 대향하여 위치하는 제1베이스 플레이트와 제2베이스 플레이트, 상기 제1베이스 플레이트와 제2베이스 플레이트 사이에 교번하여 삽입되는 복수 개의 제1베이스 플레이트와 제2베이스 플레이트, 상기 제1베이스 플레이트아 제2베이스 플레이트 사이에 교번하여 개재되는 제1 개스킷과 제2 개스킷을 포함하여 구성되고, 상기 제1베이스 플레이트와 제2베이스 플레이트의 각 하측에 형성된 관통 구멍을 냉각 유로로 이용하는 상압 화학 기상 증착(ACVD, Atmosphere Chemical Deposition) 장비의 분배 헤드(Distribution Head)에 있어서, 상기 분배 헤드(Distribution Head)의 외부로 인출되고, 냉매의 냉각 유로로 이용되는 상기 제1베이스 플레이트에 형성된 관통 구멍과 상기 제2베이스 플레이트에 형성된 관통구멍 상호 간을 연결하는 연결관을 구비하는 것을 특징으로 하는 상압 화학 기상 증착 (ACVD, Atmosphere Chemical Deposition) 장비의 분배 헤드(Distribution Head).
  2. 제1항에 있어서, 상기 연결관은 내식성이 강한 물질을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 상압 화학 기상 증착 (ACVD, Atmosphere Chemical Deposition) 장비의 분배 헤드(Distribution Head).
  3. 제1항에 있어서, 상기 연결관은 스테인레스 스틸(SUS, Stainless Steel)을 이용하여 형성된 것을 특징으로 하는 상압 화학 기상 증착((ACVD,AtmosphereChemical Deposition) 장비의 분배 헤드(Distribution Head).
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