KR970031781A - 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로(Charged particle beam multiple-pole deflection control circuitry) - Google Patents
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Abstract
다중-판 충전 입자 빔 편향 장치를 제어하는 회로는 각각의 판에 접속된 개별의 축적 산술 논리 유닛(ALU)를 통해 동작하는 디지탈 신호 프로세서(DSP)를 포함한다. 스캔되어야 할 각각의 라인에 있어서, 라인의 스캐닝을 시작할 때 DSP는 초기값(만약 있다면)을 나타내는 디지탈 수와 스템 사이즈를 나타내는 디지탈 수로 구성된 분리 신호를 각각의 축적 ALU에 보낸다. 이 축적합은 초기 사이클이 경과한 후의 사이클의 수에 의해 멀티플라이된 스텝 사이즈에 초기값(만약 있다면)을 더한 값에 좌우된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도 1은 본 발명의 특정 실시예에 따라 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로에 대한 예시적 블록도 및 8 폴 검출 판 장치의 단면도.
Claims (9)
- (a) 디지탈 신호 프로세서가 프로세서 신호를 전달할 수 있는 적어도 하나의 출력 포트를 갖는 디지탈 신호 프로세서(11); (b) 다수의 누적 산술 논리 유닛(예로 ALU-1)으로서, 각각의 누적 산술 논리 유닛은 디지탈신호 프로세서의 개별의 출력 포트와 이 출력 포트에 접속된 입력 포트를 가지며 이에 의해 각각의 누적 산술논리 유닛의 입력 포트는 프로세서 신호를 수신할 수 있는, 상기 다수의 누적 산술 논리 유닛; 및 (c) 충전된 입자 빔을 편향시키는데 적합한 어레이(200)에 위치하는 다수의 판(예로, P1)으로서, 각각의 판은 상기 누적 산술논리 유닛의 각각의 유닛의 출력 포트에서 생성된 스캔 출력에 대응하는 전압을 수신하도록 접속된, 상기 다수의 판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로.
- 제1항에 있어서, 스캔 출력 신호를 새롭게 하는 것을 제어하는 스캐닝 클럭 사이클 신호를 발생하는 클럭 타이밍 회로를 더 포함하며, 이에 의해 각각의 결과적인 스캐닝 클럭 사이클동안 누적 산술 논리 유닛 각각은 그 출력 포트에서 생성된 그 스캔 출력을 새롭게 하는 것을 특징으로 하는 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로.
- 제2항에 있어서, 각각의 판과 각각의 누적 산술 논리 유닛의 각 출력 포트 사이에서 설치된 개개의 디지탈 대 아날로그 변환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로.
- 제2항에 있어서, 프로세서 신호 각각은 초기값과 증가값을 가지며, 증가값은 각각의 스캔 클럭 사이클동안 누적 산술 논리 유닛의 스캔 출력에 부가되는 것을 특징으로 하는 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로.
- 제4항에 있어서, 각각의 판과 각각의 누적 산술 논리 유닛의 각 출력 포트 사이에 설치된 개개의 디지탈 대 아날로그 변환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로.
- 제5항에 있어서, 각각의 판과 각각의 디지탈 대 아날로그 변환기 사이에 설치된 개개의 전류 대 전압변환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로.
- 제1항에 있어서, 각각의 판과 각각의 누적 산술 논리 유닛의 각 출력 포트 사이에 설치된 개개의 디지탈 대 아날로그 변환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로.
- 제7항에 있어서, 각각의 판과 각각의 디지탈 대 아날로그 변환기 사이에 설치된 개개의 전류 대 전압변환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로.
- 다수의 편향 판을 사용하여 충전된 입자 빔을 스캐닝하는 방법에 있어서, (a) 디지탈 신호 프로세서가 발생한 개별의 신호를 다수의 누적 산술 유닛 각각으로 전달하는 단계와, 이에 의해 누적 산술 논리 유닛은 출력 신호를 생성하며; 또한 (b) 누적 산술 논리 유닛이 발생한 출력 신호의 아날로그 대표를 충전된 임자 빔 편향판으로 전달하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 충전된 입자 빔 스캐닝 방법.※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US561,906 | 1995-11-22 | ||
| US08/561,906 US5600146A (en) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | Charged particle beam multiple-pole deflection control circuitry |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970031781A true KR970031781A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=24243992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960056070A KR970031781A (ko) | 1995-11-22 | 1996-11-21 | 충전된 입자 빔 멀티플-폴 편향 제어 회로(Charged particle beam multiple-pole deflection control circuitry) |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5600146A (ko) |
| EP (1) | EP0778606B1 (ko) |
| JP (1) | JPH09204896A (ko) |
| KR (1) | KR970031781A (ko) |
| DE (1) | DE69608219T2 (ko) |
| TW (1) | TW310403B (ko) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19907858C1 (de) * | 1999-02-24 | 2000-10-05 | Leica Microsys Lithography Ltd | Vorrichtung zur elektrostatischen Ablenkung eines Korpuskularstrahles |
| JP4049988B2 (ja) * | 2000-11-24 | 2008-02-20 | 株式会社東芝 | 論理回路 |
| TWI479570B (zh) * | 2007-12-26 | 2015-04-01 | Nawotec Gmbh | 從樣本移除材料之方法及系統 |
| US9666407B2 (en) * | 2015-02-25 | 2017-05-30 | Industry-University Cooperation Foundation Sunmoon University | Electrostatic quadrupole deflector for microcolumn |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4053740A (en) * | 1975-12-22 | 1977-10-11 | Lawrence David Rosenthal | Video game system |
| DE3478261D1 (en) * | 1984-02-18 | 1989-06-22 | Leybold Ag | Device for the examination of crystal surfaces according to the leed-technique |
| JPH04328236A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-17 | Fujitsu Ltd | 電子ビーム露光装置 |
-
1995
- 1995-11-22 US US08/561,906 patent/US5600146A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-10-22 TW TW085112941A patent/TW310403B/zh active
- 1996-11-12 DE DE69608219T patent/DE69608219T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-11-12 EP EP96308149A patent/EP0778606B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-11-21 KR KR1019960056070A patent/KR970031781A/ko not_active Application Discontinuation
- 1996-11-22 JP JP8311516A patent/JPH09204896A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0778606A3 (en) | 1998-04-01 |
| DE69608219D1 (de) | 2000-06-15 |
| US5600146A (en) | 1997-02-04 |
| TW310403B (ko) | 1997-07-11 |
| DE69608219T2 (de) | 2000-09-28 |
| JPH09204896A (ja) | 1997-08-05 |
| EP0778606A2 (en) | 1997-06-11 |
| EP0778606B1 (en) | 2000-05-10 |
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