KR970018009A - 액체가스 사용량 계측 시스템 - Google Patents

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KR970018009A
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이영복
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김광호
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Abstract

액체가스를 사용하는 반도체 제조공정에 적용할 수 있는 액체가스 사용량 계측 시스템이 개시되어 있다.
본 발명의 액체가스 사용량 계측 시스템은, 액체가스 실린더(10)로부터 공정챔버(20)에 연결되며, 중간에 온/오프밸브(12)와 가스유량제어기(16)가 차례로 설치되어 있는 액체가스 공급라인과; 상기 온오플밸브(12)의 온/오프 신호시간과 상기 가스유량제어기(16)의 유속을 이용하여 사용량을 계측하는 적산계(22)와; 상기 계측된 액체가스 사용량을 표시하는 스크린(24);을 구비하여 이루어진다.
따라서, 액체가스의 교체시기를 사전감지하여 공정불량을 방지할 수 있으며, 액체가스를 효율적으로 관리할 수 있는 효과가 있다.

Description

액체가스 사용량 계측 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치에서의 액체가스 사용량 계측 시스템을 나타내는 개략도이다.

Claims (4)

  1. 액체가스 실린더(10)로부터 공정챔버(20)에 연결되어 있으며, 중간에 온/오프밸브(12)와 가스유량제어기(16)가 차례로 설치되어 있는 액체가스 공급라인; 상기 온오프밸브(12)로부터의 온/오프 신호시간과 상기 가스유량제어기(16)로부터의 유량속도를 이용하여 액체가스의 사용량을 계측하는 적산계(22); 및 상기 적산계(22)로부터 계측된 액체가스 사용량을 표시하는 스크린(24);을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액체가스 사용량 계측 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 스크린(24)은 상기 액체가스 실린더(10)에 최초로 저장된 액체가스량에 대하여 상기 적산계(22)로부터 계측된 사용량의 대비를 더 표시할 수 있는 것을 특징으로 하는 상기 액체가스 사용량 계측 시스템.
  3. 액체가스 실린더(10)로부터 공정챔버(20)에 연결되어 있으며, 중간에 온/오프밸브(12)와 가스유량제어기(16)가 차례로 설치되어 있는 액체가스 공급라인; 상기 액체가스 공급라인의 특정 부분으로부터 공정시작신호와 공정종료 신호를 각각 검지하여 공정회수를 계측하는 카운터(34); 공정 레시피(recipe)가 입력되어 있으며, 상기 카운터(34)와 연결되어 상기 카운터(34)에서 계측된 공정회수에 따라 액체가스의 사용량을 계측하는 적산계(36); 및 상기 적산계(36)로부터 계측된 액체가스 사용량을 표시하는 스크린(38);을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 상기 액체가스 사용량 계측 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 공정시작신호와 공정종료신호를 검지하는 부분은 상기 온오프밸브(12)의 온/오프신호에 의한 것임을 특징으로 하는 상기 액체가스 사용량 계측 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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