Claims (4)
반도체 제조장비의 매거진 가이드(10)에 있어서, 상기 매거진 가이드(10)는 소정의 거리를 유지하면서 서로 마주보도록 위치되고, 안쪽으로 보조블럭(18a), (18b)을 갖는 2개의 주블럭(11a),(11b)과, 상기 주블럭(11a),(11b)의양측부에 각각 형성되는 지지브라켓(12a), (12b), (12c), (12d)을 받쳐주면서 이것들(12a), (12b), (12c), (12d)을 포함하는 주블럭(11a),(11b)을 전후 슬라이드 유동가능하게 해주는 가이드 블록(13)과, 상기 주블럭(11a),(11b)의 각 일측 지지브라켓(12a), (12b)사이에 가로 걸쳐지면서 각각 하나씩의 지지브라켓(12a), (12b)과 일체연결되어 이것(12a), (12b)과함께 운동가능하게 되고, 일정 상하간격을 유지하면서 서로 중첩위치되는 동시에 상대운동 방향을 갖는 한쌍의 랙기어(14a), (14b)와, 상기 랙기어(14a), (14b)사이에 치합진동 가능한 피니언 기어(15), 이 피니언 기어(15)를 정역회전 시켜주는 모터 구동수단(16) 및 벨트 전동수단(17)으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 매거진 가이드.In the magazine guide 10 of the semiconductor manufacturing equipment, the magazine guides 10 are positioned to face each other while maintaining a predetermined distance, and two main blocks 11a having the auxiliary blocks 18a and 18b inward. ), (11b) and support brackets (12a), (12b), (12c), and (12d) formed on both sides of the main blocks (11a) and (11b), respectively, while supporting them (12a) and (12b). ), (12c), and guide block (13) for allowing the main block (11a), (11b) including (12d) to slide back and forth, and one side support bracket of each of the main block (11a), (11b) Crossed between (12a) and (12b), each of which is integrally connected with one support bracket (12a) and (12b) so as to be movable together with these (12a) and (12b), while maintaining a constant up and down interval. A pair of rack gears 14a and 14b which overlap each other and have a relative direction of movement, and a pinion gear 15 which can be engaged and vibrated between the rack gears 14a and 14b, which is a pinion gear 15 Magazine guide of the semiconductor manufacturing equipment, characterized in that consisting of a motor drive means (16) and belt transmission means (17) for forward and reverse rotation.
제1항에 있어서, 상기 보조블럭(18a), (18b)의 양측벽 내측면은 바깥쪽을 향해 확장되는 형상을 갖는 좌우대칭형의 구배면(19)으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 매거진 가이드The semiconductor manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the inner side surfaces of both side walls of the auxiliary blocks 18a and 18b are formed of a left and right symmetrical gradient surface 19 having a shape extending outwardly. Magazine guide
제1항에 있어서, 상기 지지브라켓(12a), (12b)의 수직부재(12a'), (12b')에는 2개의 랙기어 관통구멍(20)이 위아래에 형성되고, 그중에서 어느 하나는 랙기어(14a), (14b)의 직경보다 다소 큰 직경을 갖는 것을 특징으로 하는반도체 제조 장비의 매거진가이드2. The rack member through holes 20 are formed in the vertical members 12a 'and 12b' of the support brackets 12a and 12b, respectively, and any one of them is a rack. Magazine guide of semiconductor manufacturing equipment, characterized in that it has a diameter slightly larger than the diameter of the gear (14a), (14b)
제1항에 있어서, 상기 벨트 전동수단(17)은 타이밍 벨트풀리(22a), (22b)를 갖는 타이밍 벨트인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 매거진 가이드.2. The magazine guide of claim 1, wherein the belt transmission means is a timing belt having timing belt pulleys (22a) and (22b).
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.