KR970008084B1

KR970008084B1 - 중심 주파수 측정기간 단축을 위한 프로그래밍 방법

Info

Publication number: KR970008084B1
Application number: KR1019890018915A
Authority: KR
Inventors: 김창환
Original assignee: 엘지반도체 주식회사; 문정환
Priority date: 1989-12-19
Filing date: 1989-12-19
Publication date: 1997-05-20
Also published as: KR910012727A

Abstract

요약 없음.

Description

중심 주파수 측정기간 단축을 위한 프로그래밍 방법.

제1도는 종래의 측정방법을 설명하기 위한 증폭기 구성도.

제2도는 종래의 측정방법을 설명하기 위한 그래프.

제3도는 종래의 플로우 챠트.

제4도는 본 발명의 회로 구성도.

제5도는 본 발명의 플로우 챠트.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 프리앰프20 : 리미터 앰프

30 : 밴드패스필터40 : 검파 및 비교기

]50 : 버퍼60 : 슈미트 트리거

본 발명은 반도체 소자의 전기적 특성 검사시 중심주파수 측정시간단축을 위한 프로그래밍 방법에 관한 것으로 특히 입력을 변화시키면서 출력이 가장 클때의 입력신호 조건을 찾기에 적당하도록 한 중심주파수 측정기간 단축을 위한 프로그래밍 방법에 관한 것이다.

일반적으로 밴드패스필터 특성을 가지고 있는 제1도와 같은 증폭기의 입출력 관계를 설명하면 다음과 같다.

먼저 증폭기의 입력(INPUT)싱호에 대한 출력(OUTPUT)반응의 비를 DB(Decibal)로 환산해서 나타낸 것을 A_V라고 하면,

가 얻어진다.

여기서 증폭기는 밴드패스필터의 특성을 갖고 있어 입력신호의 특정 주파수에서 가장 높은 출력을 나타내므로 최대출력을 나타낼 수 있는 입력신호의 특성 주파수(이를 "F_C"라 한다)를 효과적으로 찾는 방법이 요구된다.

종래에는 이러한 F_C를 찾기 위하여 제3도에 도시된 플로우 챠트와 같이 입력주파수를 36KHZ에서 44KHZ까지 0.1KHZ 간격으로 증가시키면서 출력을 측정하여 그중 출력이 최대가 되는 입력주파수를 중심 주파수로 결정하였다.

이를 더욱 상세히 제 2 도와 같은 그래프를 참조하여 설명하면, 입력주파수(일정 크기의 진폭을 가진 사인 파이다)를 F, start에서부터 F, stop까지 0.1KHZ씩 증가시키면서 이때마다 출력값을 측정하여 A_V값으로 환산하였다.

따라서, A_X-A_X-1<0(여기서, A_X는 현재 측정된 A_V값, A_X-1은 바로 1단계전의 A_V값)일때 측정 및 계산하고 입력루프를 빠져나오게 하였으며 이때 A_X-1은 최대 출력값이며 F_X-1, (A_X-1일때 입력주파수 값)는 F_C값이 되었다.

그러나, 상기와 같은 F_C측정방법에 있어서는 8KHZ 전구간을 0.1KHZ씩 거쳐가야 하므로 즉, F_C=F, start이거나 F_C=F, stop일 경우 최대입력 루프수가 80번이나 되므로 측정시간이 오래 걸리는 결점이 있을 뿐만 아니라 입력신호의 주파수 증가레벨이 0.1KHZ로 작기 때문에 출력값 측정시 에러가 발생될 우려가 있었다.

본 발명은 이와 같은 제반결점을 감안하여 안출한 것으로 이를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명은 중심주파수 측정을 위한 회로부와 플로우차트로 구성됨을 그 목적으로 한다.

그리고 회로부의 구성은 50μV(P-P) 정현파가 인가되는 단자(1)에 프리-앰프(10)를 접속하고 이의 출력단에 리미터(LIMITER)앰프(20)와 밴드패스필터(30)를 통하여 AC 출력전압 측정용 단자(3)가 접속된 검파 및 비교기(40)를 접속한 후 이의 출력단에 버퍼(50)를 통하여 슈미트 트리거(60)를 접속한다.

도면중 미설명 부호 C₁, C₂는 콘덴서, R₁-R₃는 저항, 2, 4-8은 단자이다.

단, 직류전압 인가단자(8)와 밴드패스필터(30) 접속단자(50)에는 5V의 직류전원이 인가되며 단자(2) (4)는 접지되어 있다.

이와 같이 구성된 회로를 이용하여 중심주파수인 F_C를 측정하는 방법은 두단계로 나누어 다음과 같은 방법 으로 측정 한다.

첫번째 단계로 입력단자(1)를 통하여 50μV(P-P) 정현파의 주파수를 36KHZ에서 44KHZ까지 0.6KHZ 간격으로 증가시키면서 프리앰프(10)와 리미터 앰프(20) 그리고 밴드패스필터(30)를 통할때의 펄스(아날로그)가 가장 최대인점의 주파수를 단자(3)를 통하여 찾고, 두번째 단계로 첫번째 단계에서 결정된 입력 주파수 ±0.5KHz의 입력주파수 구간에서 다시 0.1KHz 간격으로 입력주파수를 증가시키면서 출력을 측정하여 그중 출력이 최대가 되는 때의 입력주파수를 F_C로 결정한다.

이때, 밴드패스필터(30)를 통해온 펄스는 비교기(40)에서 비교되고 최소출력(로우레벨)온 버퍼(50)를 통하여 슈미트 트리거(60) 입력으로 전달된 후 슈미트 트리거의 입력은 출력단자(7)를 통하여 그대로 출력되어 다음 측정을 준비할 수 있게 한다.

이하에서 본 발명을 첨부된 제 5 도의 플로우차트를 따라 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

즉, F_C측정시 두단계로 나누어서 첫단계는 입력주파수를 36KHZ에서 44KHZ까지 0.6KHZ 간격으로 출력을 측정하여 그중 출력이 최대가 되는 입력주파수를 결정한 후 둘째단계에서는 첫단계에서 결정된 입력주파수 ±0.5KHZ의 입력주파수 구간에서 다시 0.1KHZ 간격으로 입력주파수를 증가시키면서 출력을 측정하여 그중 출력이 최대가 되는 때의 입력주파수를 F_C로 결정한다.

이때 첫단계에서의 입력신호 증가간격을 0.6KHZ로 한 이유는 다음 식에 의하여 계산된다.

만일, 첫단계에서의 입력주파수 구간은 36KHZ에서 44KHZ로 증가간격을 N이라 하면,

첫단계에서의 출력 측정 횟수

둘째단계에서의 출력 측정 횟수

전체 출력 측정 횟수

이 되는데 여기서 전체출력횟수를 최소화하기 위해서는 K값을 미분한 값이 0이 되어야 하기 때문에 t5 즉, 증가간격인 N값은 0.63KHZ가 되기 때문이다.

따라서, 입력신호의 주파수 증가방법을 입력주파수 구간을 36KHZ에서 44KHZ로 설정한 상태에서 증가간격을 0.63KHZ로 하여 상기와 같이 실시하면 첫번째 단계에서 최대입력루프수가 14번이 되고, 두번째 단계에서의 최대입력루프수가 11번이 되어 중심주파수를 측정하기 위한 전체 최대입력루프수는 25번이 된다.

그러므로 중심주파수를 측정하기 위한 시간을 단축시킬 수 있음은 물론 에러를 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

프리앰프(10), 리미터 앰프(20), 밴드패스필터(30), 검파 및 비교기(40) 그리고 버퍼(50)와 슈미트 트리거(60)로 회로를 구성하여 중심주파수(F_C) 측정시 첫번째 단계로 입력단자(1)를 통하여 50μN(P-P) 정현파의 주파수를 36KHZ에서 44KHZ까지 0.6KHZ 간격으로 증가시키면서 그중 최대출력값을 찾고 두번째 단계로 첫단계에서 찾은 입력주파수 ±0.5KHz의 입력주파수 구간에서 0.1KHz씩 증가시키면서 이 주파수가 밴드패스필터(30)를 통할 때의 출력단자(3)의 전압이 최대로 될때의 주파수를 찾게 함을 특징으로 하는 중심 주파수 측정시간 단축을 위한 프로그래밍 방법.