KR970006415Y1 - A tray transfer system - Google Patents
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Abstract
요약없슴No summary
Description
제 1 도는 패키지된 반도체 장치를 다수 수납한 트레이의 평면도.1 is a plan view of a tray containing a plurality of packaged semiconductor devices.
제 2 도는 종래의 트레이 이송 시스템을 보인 도면으로서 (a)도는 평면도, (b)도는 좌측면도, (c)도는 정면도이고,2 is a view showing a conventional tray transfer system, (a) is a plan view, (b) is a left side view, (c) is a front view,
제 3 도는 본 고안에 따른 트레이 이송 시스템을 보인 도면으로서 (a)도는 평면도, (b)도는 좌측면도, (c)도는 정면도이며,3 is a view showing a tray transport system according to the present invention (a) is a plan view, (b) is a left side view, (c) is a front view,
제 4 도는 본 고안에 따른 트레이 이송 수단에 대한 개요도4 is a schematic view of the tray conveying means according to the present invention
제 5 도는(a) 내지 제 5도(n)은 본 고안의 장치의 동작 과정을 상세히 나타낸 도면이다.5 (a) to 5 (n) are views showing in detail the operation of the apparatus of the present invention.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
21 : 트레이22 : 트레이 분리용 스톱퍼21: Tray 22: Stopper for tray removal
23 : 스톱퍼 구동용 실린더24 : 트레이 상하 및 이동용 척23: stopper drive cylinder 24: tray up and down and movement chuck
25 : 듀얼 모드 실린더26 : 1축 로보트25: dual mode cylinder 26: 1-axis robot
27 : 트레이 고정용 푸셔(pusher)27: tray fixing pusher
28 : 푸셔 구동용 실린더29 : 지지 및 안내판28 pusher driving cylinder 29 support and guide plate
33 : 스플라인 가이드34 : 트레이 위치 결정 키33: Spline Guide 34: Tray Positioning Key
35 : 베이스36 : 가이드35: base 36: guide
31 : 걸림돌기31: jamming
본 고안은 반도체 장치를 수납한 트레이 이송 시스템에 관한 것으로, 로딩부에서는 스톱퍼에 의해 적치된 트레이들중 하나의 트레이를 트레이 이송수단에 로딩시키고 작업영역에서는 트레이 이송 수단을 1축로보트로 스텝이동하면서 작업하고 언로딩부에서는 작업된 트레이를 적치시키도록 하는 반도체 장치를 수납한 트레이 이송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a tray conveying system containing a semiconductor device, in which the loading section loads one tray of the trays loaded by the stopper to the tray conveying means, and moves the tray conveying means to the single axis robot in the working area. The working and unloading section relates to a tray conveying system containing a semiconductor device for loading the worked tray.
반도체 웨이퍼공정에서 소정의 반도체장치가 완성되면 웨이퍼로부터 분리된 칩은 패키지공정에 의해 패키지된다. 이러한 패키지된 반도체 장치(이하 칩이라 함)는 패키지에 각종의 고유 칩일련번호 또는 상표등을 레이저 마킹하여 표시하고 패키지는 각종의 품질검사를 받게 된다.When a predetermined semiconductor device is completed in the semiconductor wafer process, the chips separated from the wafer are packaged by the packaging process. Such a packaged semiconductor device (hereinafter referred to as a chip) displays a laser marking of various unique chip serial numbers or trademarks on the package, and the package is subjected to various quality inspections.
이러한 작업을 보다 효율적으로 하기 위해서, 트레이에 대한 평면도를 제1도에 보인바와 같이 이러한 트레이(1)에 매트릭스 어레이 형태로 다수의 칩(13)을 배치하여 두고 트레이를 옮기면서 적정위치에서 x,y로보트나 스칼라 로보트등을 사용하여 트레이내의 칩을 하나씩 접어 소정의 작업을 행한 후 다시 트레이에 위치시켜 이동하는 방식으로 작업을 행하고 있다.In order to make this operation more efficient, as shown in FIG. 1, a plan view of the tray is provided with a plurality of chips 13 arranged in a matrix array form on the tray 1, and the trays are moved at the appropriate positions while moving the trays. A robot, a scalar robot, and the like are used to fold chips in a tray one by one to perform a predetermined work, and then work by moving the chips back to the tray.
제2도에 도시한 자동화된 트레이 이송 시스템에 대하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.The automated tray transfer system shown in FIG. 2 will be described in more detail as follows.
제2도(a)는 시스템의 평면도, 제2도(b)는 시스템의 좌측면도, 제2도(c)는 시스템의 정면도를 나타낸다. 그리고 도면에서 1은 트레이, 2는 트레이 분리용 스톱퍼, 3은 스톱퍼 구동용 실린더, 4는 트레이 상승 및 하강용 척, 5는 듀얼 모드 실린더, 6은 컨베이어 벨트, 7은 트레이 좌우 고정용 실린더, 8은 트레이 전후 고정용 실린더, 9는 트레이 밑면 고정용 척, 10은 트레이 고정용 실린더, 11은 컨베이어 구동용 모터, 12는 트레이 언로딩용 척을 지칭한다. 그리고 상기 시스템은 작업별로 로딩부(A)와 작업부(B) 그리고 언로딩부(C)로 구성되고 있다.FIG. 2A shows a plan view of the system, FIG. 2B shows a left side view of the system, and FIG. 2C shows a front view of the system. In the drawings, 1 is a tray, 2 is a stopper for separating the tray, 3 is a stopper driving cylinder, 4 is a tray raising and lowering chuck, 5 is a dual mode cylinder, 6 is a conveyor belt, 7 is a tray fixing left and right cylinder, 8 9 is a cylinder for fixing the trays before and after the tray, 9 is a bottom fixing chuck, 10 is a cylinder for fixing the tray, 11 is a motor for driving the conveyor, and 12 is a chuck for unloading the tray. The system is composed of a loading unit (A), a working unit (B) and an unloading unit (C) for each job.
제2도에 도시된 바와 같이 로딩부(A)는 듀얼모드 실린더(5)에 의해서 상하운동을 하는 트레이상승 및 하강용 척(4)이 상승하여 적층된 트레이 밑면에 닿으면 제2도(b)에 나타낸 좌측면도에서 보듯이 트레이 하나를 분리하기 위해 스톱퍼(2)가 좌우운동되므로 외부로 벌어지면 트레이상승 및 하강용 척(4)이 한단 하강하고 이때 스톱퍼(2)는 다시 원위치로 복귀하여 그 위에 적지된 트레이를 떠받치고 있게 된다. 이 상태에서 트레이상승 및 하강용 척(4)이 계속 하가하여 켄베이어 벨트 위치까지 하나의 트레이를 위치시킨다. 그러면, 제2도의 좌측면도와 같은 상태가 되어 컨베이어 벨트(6)가 움직여 트레이를 작업부(B)로 옮겨놓는다.As shown in FIG. 2, the loading part A is moved up and down by the dual mode cylinder 5 when the tray raising and lowering chuck 4 rises and touches the bottom of the stacked trays. As shown in the left side view of), the stopper 2 moves left and right to separate one tray, so when it is opened to the outside, the tray raising and lowering chuck 4 descends once, and the stopper 2 returns to its original position. It holds up the tray loaded on it. In this state, the tray raising and lowering chuck 4 is continuously lowered to position one tray to the Kenvey belt position. Then, it becomes in the same state as the left side view of FIG. 2, and the conveyor belt 6 moves, and transfers a tray to the work part B. FIG.
작업부(B)에서는 옮겨진 트레이를 고정시키기 위해서 제2도(a)에 보인바와 같이 트레이 좌우 고정용 실린더(7), 트레이 전후 고정용 실린더, 트레이 고정용 실린더(10)에 의한 스톱퍼들의 작동에 의해서 트레이 밑면 고정용 척(9)상에 트레이가 고정된다. 그러면 이 상태에서 x,y로보트나 스탈라 로보트등은 트레리내에 배치된 칩들을 집어내도록 방향을 옮겨가면서 칩을 옮겨 소정의 작업을 행한다. 작업이 끝난 빈 트레이 또는 회수된 칩이 담긴 트레이를 상기 작업부(B)의 트레이 고정용 실린더의 작동에 따른 스톱퍼들의 해제에 의해서 컨베이어를 통해 언로딩부(C)로 옮겨진다. 언로딩부(C)로 옮겨진 트레이는 로딩부와 유사하게 트레이 언로딩용 척(12)이 듀얼모드 실린더(5)에 의해서 상승하여 스톱퍼가 올려진 트레이를 떠받히게 된다. 이러한 일련의 동작은 트레이마다 연속하여 행하여 진다. 그러나 이러한 트레이 이송 시스템에 있어서는 다음과 문제가 지적된다. 로딩부 및 작업부, 언로딩부가 각각 독립되어 있으므로, 시스템의 길이가 최소한 트레이 길이의 3배 이상되어 시스템이 차지하는 공간이 크다는 문제가 있다. 그리고, 작업부의 고정으로 인해 패키지 된 칩을 집어내는 작업을 실행하는 유니트에 x,y로보트나 스칼라 로보트등이 필요하므로 필요이상의 공간이 소요된다. 또한 작업부위에에서 트레이를 고정시키기 위해 3개에서 5개 까지의 실리더동작이 요구되며, 로딩부 및 언로딩부의 동작이 동일함에도 별도의 구동 장치가 사용되고 있어 불합리한 이송 시스템인 것이다.In the working part B, as shown in FIG. 2 (a), in order to fix the transferred tray, the stopper is operated by the tray left and right fixing cylinder 7, the tray front and rear fixing cylinder, and the tray fixing cylinder 10. The tray is fixed on the bottom fixing chuck 9 by the tray. In this state, the x, y robot, the Stala robot, and the like move the chip while picking up the chips arranged in the trellis and perform a predetermined operation. The finished empty tray or the tray containing the collected chips is transferred to the unloading part C through the conveyor by releasing the stoppers according to the operation of the tray fixing cylinder of the working part B. The tray moved to the unloading part C is similar to the loading part, and the tray unloading chuck 12 is lifted by the dual mode cylinder 5 to support the tray on which the stopper is mounted. This series of operations is performed continuously for each tray. However, the following problem is pointed out in such a tray conveying system. Since the loading part, the working part, and the unloading part are independent of each other, there is a problem that the system occupies at least three times the length of the tray so that the system occupies a large space. In addition, x, y robot, scalar robot, etc. are required in the unit that executes the work of picking up the packaged chip due to the fixing of the working part, thus requiring more space than necessary. In addition, three to five cylinder motions are required to fix the tray at the working part, and even though the operation of the loading part and the unloading part is the same, a separate driving device is used, which is an unreasonable transfer system.
이에 본 고안의 목적은 이러한 문제를 해결하는 것으로, 본 고안은 트레이 로딩후 트레이의 점진적인 정밀한 시텝이송으로 작업을 행하도록 하므로서 시스템을 보다 단순화시키고, 또한 공간을 축소시킬 수 있도록 한 반도체 장치를 수납한 트레이 이송 시스템을 제공하는 것이다.The purpose of the present invention is to solve such a problem, and the present invention allows the operation of the tray to be carried out by progressive and precise step feeding of the tray after loading the tray, thereby simplifying the system and storing the semiconductor device to reduce the space. It is to provide a tray transport system.
본 고안의 목적에 따른 반도체 장치를 수납한 트레이 이송 시스템은 패키지된 반도체 장치를 다수 수납한 트레이를 로딩하여 작업영역에 이송하고 작업된 트레이를 언로딩하는 트레이 이송 시스템에 있어서, 트레이 로딩 및 언로딩 영역에 적치된 트레이를 지지하는 트레이 분리용 스톱퍼와, 로딩영역의 스톱퍼를 작동시켜 로딩된 트레이를 작업영역으로 스텝이동 시키고 언로딩영역으로 트레이를 이송시키는 트레이 이송수단과, 상기 트레이 이송수단을 스텝이동시키고 칩을 집거나 안착시키는 로보트로 구성된 것을 특징으로 한다.The tray transport system that accommodates a semiconductor device according to the object of the present invention is a tray transport system for loading a tray containing a plurality of packaged semiconductor devices to transfer to the work area and unloading the tray, the tray loading and unloading A tray separating stopper for supporting the tray loaded in the area, a tray conveying means for stepping the loaded tray into the working area by operating the stopper of the loading area, and transferring the tray to the unloading area, and stepping the tray conveying means It is characterized by consisting of a robot that moves and picks up or sits the chip.
다음에 본 고안에 대한 첨부한 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.Next, with reference to the accompanying drawings of the present invention will be described in more detail.
제3도(a)는 시스템의 평면도, 제3도(b)는 시스템의 좌측면도, 제3도(c)는 시스템의 정면도를 나타낸다. 그리고 도면에서 21은 트레이, 22는 트레이 분리용 스톱퍼, 23은 스톱퍼 구동용 실린더, 24는 트레이 상하 및 이동용 척, 25는 듀얼 모드 실린더, 26은 1축 로보트, 27은 트레이 고정용 푸셔(pusher), 28은 푸셔 구동용 실린더, 29는 지지 및 안내판을 지칭한다. 그리고 상기 시스템은 로딩부(I)와 작업부(II) 그리고 언로딩부(III)로 구성되고 있다.FIG. 3A shows a plan view of the system, FIG. 3B shows a left side view of the system, and FIG. 3C shows a front view of the system. In the drawing, 21 is a tray, 22 is a stopper for separating a tray, 23 is a stopper driving cylinder, 24 is a tray chuck for moving up and down, 25 is a dual mode cylinder, 26 is a 1-axis robot, and 27 is a pusher for fixing a tray. , 28 denotes a pusher driving cylinder, 29 denotes a support and a guide plate. The system consists of a loading part I, a working part II and an unloading part III.
본 고안에서는 1축 로보트위에 트레이 이송수단이 탑재되어 그 위에서 좌우로 이동하여 로딩 및 언로딩 그리고 스텝이송등의 작용을 행한다. 1축 로보트위의 트레이 이송수단은 듀얼 모드 실린더와 트레이 이동용 척 그리고 트레이 고정수단을 포함하고 이들 조립체가 하나로 로보트에 의해 좌우로 이동된다.In the present invention, the tray conveying means is mounted on the single-axis robot and moved from side to side to perform loading and unloading and step feeding. The tray conveying means on the single axis robot includes a dual mode cylinder, a tray moving chuck and a tray fixing means, and these assemblies are moved left and right by the robot as one.
제4도는 상기 트레이 이송수단을 보다 상세히 나타낸 것으로, 25는 듀얼 모드 실린더, 24는 트레이 이동용척, 트레이 고정수단으로서 27은 트레이 고정용 푸셔, 28은 푸셔 구동용 실린더, 33은 스플라인 가이드, 34는 트레이 위치 결정 키, 35는 베이스, 36은 가이드를 지칭하며, 31은 걸림돌기로서 안쪽으로 약 10도 정도 경사되어 있다.Figure 4 shows the tray conveying means in more detail, 25 is a dual mode cylinder, 24 is a tray movement chuck, tray fixing means 27 is a tray fixing pusher, 28 is a pusher driving cylinder, 33 is a spline guide, 34 is The tray positioning key, 35 denotes a base, 36 denotes a guide, and 31 denotes an engaging protrusion which is inclined about 10 degrees inward.
제3도에 도시된 바와 같이 로딩부( I )에서는 본 고안에 따른 트레이 이송수단의 듀얼모드 실린더(25)에 의해서 상하운동을 하는 트레이 상하 및 이동용 척(24)이 상승하여 적층된 트레이 밑면에 닿으면 제3도(b)에 나타낸 좌측면도에서 보듯이 트레이 하나를 분리하기 위해 로딩부영역에 설치된 그러나 트레이 이송수단과 분리된 트레이 분리용 스톱퍼(22)가 좌우운동되므로 외부로 벌어지면 트레이 상하 및 이동용 척(24)이 한단 하강하고 이때 스톱퍼(22)는 다시 원위치로 복귀하여 트레이 한단 위에 적치된 트레이를 떠받치고 있게된다. 이 상태에서 트레이 상하 및 이동용 척(24)이 계속 하강하여 트레이 이동위치까지 하나의 트레이를 위치시킨다. 그러면, 트레이를 트레이 이송수단이 갖고 있는 트레이 고정수단으로 트레이를 고정시키고 1축로보트가 작동을 개시하여 작업위치로 옮겨진후 트레이의 스텝 이송에 의하여 옮겨지면서 소정의 작업을 행한 후 언로딩부까지 이동하면 로딩시와 유사하게 상승시켜 언로딩부에 설치된 스톱퍼에 의해 지지되도록 한다.As shown in FIG. 3, in the loading part I, the tray up and down and the movement chuck 24 for vertical movement are lifted up by the dual mode cylinder 25 of the tray transfer means according to the present invention. When touched, as shown in the left side view shown in FIG. 3 (b), the tray separating stopper 22 installed in the loading area to separate one tray but separated from the tray conveying means moves left and right. And the moving chuck 24 is lowered one step at this time the stopper 22 is returned to its original position again to support the tray stacked on one end of the tray. In this state, the tray up and down and the moving chuck 24 continuously descend to position one tray to the tray moving position. Then, the tray is fixed to the tray holding means of the tray conveying means, and the single axis robot starts operation and is moved to the working position, and then moves to the unloading part after performing a predetermined work by moving the tray step. The lower surface is similarly raised during loading to be supported by a stopper installed in the unloading unit.
다음에 상기의 개괄적인 동작과정을 순서에 맞추어 제5도(a) 내지 제5도(n)을 참조하여 설명한다. 각 도면에서 좌측에 도시된 것은 시스템에 대한 좌측면도를 의미하여, 우측에 도시된 것은 정면도를 나타낸 것임에 유의한다.Next, the general operation process described above will be described with reference to FIGS. 5A to 5N in order. Note that what is shown on the left in each figure means a left side view of the system, while what is shown on the right is a front view.
제5도(a)와 같이 초기상태에서는 트레이 로딩부(I)의 위치로 트레이 이송수단(30)이 위치이동한다. 이때 로딩부에는 이미 다수의 적치된 트레이들이 스톱퍼(22)에 의해 도면과 같이 적치되어 있고, 이 밑에 상기 트레이 이송수단이 위치해 있는 것이다.In the initial state as shown in FIG. 5 (a), the tray transfer means 30 moves to the position of the tray loading unit I. At this time, a plurality of stacked trays are already stacked on the loading unit as shown in the drawing by the stopper 22, and the tray transfer means is located below.
다음에 제5도(b)와 같이 듀얼모드 실린더(25)에 의하여 상방으로 트레이 상하 및 이동용 척(24)이 최고 높이 까지 상승하여 스톱퍼(22)에 걸쳐 있는 트레이를 들어 올린다. 그러면 제5도(c)와 같이, 스톱퍼 구동용 실린더(23)가 작동하여 스톱퍼(22)가 열린다.Next, as shown in FIG. 5 (b), the tray up and down and the movable chuck 24 are lifted upward by the dual mode cylinder 25 to the maximum height to lift the tray that extends over the stopper 22. Then, as shown in FIG. 5C, the stopper driving cylinder 23 is operated to open the stopper 22.
다음에 제5도(d)와 같이, 트레이 상하 및 이동용 척(24)이 중간 위치까지 하강한다. 여기서 중간위치는 스톱퍼(22)에 걸쳐 있는 트레이를 분리 할 수 있게 하는 위치이다. 이어서 제5도(e)와 같이, 스톱퍼(22)를 닫아 트레이를 1개 분리시키도록 하고, 제5도(f)와 같이, 트레이 상하 및 이동용 척(24)이 최저 위치까지 하강하여 트레이를 이동위치까지 위치시킨다.Next, as shown in FIG. 5 (d), the tray up and down and the moving chuck 24 are lowered to the intermediate position. Here, the intermediate position is a position that allows the tray over the stopper 22 to be separated. Subsequently, as shown in FIG. 5 (e), the stopper 22 is closed to separate one tray, and as shown in FIG. 5 (f), the tray up and down and the moving chuck 24 are lowered to the lowest position, thereby removing the tray. Position it to the moving position.
다음에 제5도(g)와 같이, 트레이 고정수단에 의해 분리된 트레이를 고정시키도록 한다. 트레이 고정수단은 트레이 상하 및 이동용 척(24)의 일측 단부에 설치된 트레이 고정용 푸셔(27)가 푸셔 구동용 실린더(28)의 작동에 의해서 트레이를 화살표 방향으로 밀게되고 따라서, 트레이가 밀려 트레이 상하 및 이동용 척(24)의 다른 일측단부에 수직방향으로 돌출되고 형성한 걸림돌기(31)까지 밀려 트레이가 위치 고정되도록 한다.Next, as shown in FIG. 5 (g), the tray separated by the tray fixing means is fixed. In the tray fixing means, the tray fixing pusher 27 installed at one end of the tray up and down and the moving chuck 24 pushes the tray in the direction of the arrow by the operation of the pusher driving cylinder 28, and thus the tray is pushed up and down the tray. And the other end of the moving chuck 24 is pushed up to the engaging projection 31 formed in a vertical direction protruding in the vertical direction so that the tray is fixed.
이와 같이 트레이를 트레이 상하 및 이동용 척(24)에 고정시킨 후에 제5도(h)와 같이, 작업영역(II)의 위치까지 도면에서 보아 트레이의 우측부위를 위치시키록 1축로보트(26)를 작동시켜 척(24)을 이동시킨다. 도면에서 아래 방향으로 표시된 화살표는 작업영역이 고정된 위치에 있음을 표시하고 로보트(26)는 정한 위치에서 반복하여 트레이내의 칩들을 집거나 다시 넣거나 하며, 이때 트레이는 스탭단위로 우측방향으로 이동하여 다른 칩들이 계속하여 작업될 수 있게 한다. 이러한 것이 제5도(i)에 도시되어 있다.After the tray is fixed to the upper and lower trays and the moving chuck 24 in this manner, as shown in FIG. 5 (h), the single axis robot 26 is positioned so that the right side of the tray can be positioned as seen in the drawing up to the position of the work area II. To move the chuck 24. Arrows downward in the drawing indicate that the working area is in a fixed position, and the robot 26 repeatedly picks up or reinserts chips in the tray at the fixed position, and the tray is moved to the right in steps. Allow other chips to continue working. This is shown in FIG. 5 (i).
다음에 제5도(j)와 같이, 작업이 모두 끝난 트레이를 언로딩위치(III)까지 이동시킨다. 이 도면부터는 좌측면도 대신에 우측면도가 도면의 우측에 도시되어 있다. 그러면 언로딩위치까지 트레이가 이동되면, 제5도(k)와 같이 트레이 상하 및 이동용 척(24)을 상승시킨다. 이때 트레이 분리용 스톱퍼(22')가 언로딩부에도 설치되어 있는데 이 스톱퍼(22')는 트레이를 밀어 올림에 의해 스프링이 작동하여 이 힘으로 스톱퍼(22')가 열리고 트레이가 완전히 상승하면 스프링이 복원력에 의하여 원위치로 스톱퍼(22')가 위치하므로 상승된 트레이를 떠받치고 있게 된다. 그러면, 제5도(1)와 같이 트레이 고정용 푸셔(27)가 열리고 트레이를 분리시키고 제5(m)와 같이 트레이 상하 및 이동용 척(24)이 하강한다. 그리고 제5도(n)와 같이 트레이 상하 및 이동용 척(24)이 초기 위치까지 이동하여 다음 트레이 로딩준비를 하게 된다.Next, as shown in FIG. 5 (j), the tray after the work is completed is moved to the unloading position III. From this figure, the right side view is shown on the right side of the figure instead of the left side view. Then, when the tray is moved to the unloading position, as shown in FIG. 5 (k), the tray up and down and the moving chuck 24 are raised. At this time, a stopper 22 'for separating the tray is also installed in the unloading part. The stopper 22' is operated by pushing up the tray, and the spring is operated by this force. By the restoring force, the stopper 22 'is positioned in the original position, thereby supporting the raised tray. Then, the tray fixing pusher 27 is opened as shown in FIG. 5 (1), the tray is separated, and the tray up and down and the moving chuck 24 are lowered as shown in FIG. 5 (m). And as shown in Figure 5 (n) the tray up and down and the movement chuck 24 is moved to the initial position to prepare for the next tray loading.
본 고안에 따르면 로딩 및 언로딩, 트레이 고정을 트레이 이송수단의 동작으로 구현할 수 있으므로 시스템의 크기가 감소한다. 컨베이어 방식에 비해 리드 스크류를 사용한 1축 로보트을 적용시키므로서 신뢰성 높은 정밀이송을 구현할 수 있다. 정밀한 스텝 이송을 구현하므로서 x-y로보트나 스칼랄 로보트을 사용하던 작업영역에 1축 로보트를 사용하여 시스템을 단순화시키고 공간을 줄일 수 있다. 트레이의 로딩 및 고정, 언로딩시의 간섭이 없으므로 이송길이를 트레이 길이의 3배 이내로 구성할 수 있다. 동작부위의 단순화 및 구동부위의 감소로 고장을 줄일 수 있으며, 보수 점검이 용이하다. 1축 로보트의 성능에 따라 고속 이송이 가능하다.According to the present invention, the loading, unloading, and tray fixing can be implemented by the operation of the tray conveying means, thereby reducing the size of the system. Compared to the conveyor method, by applying a single-axis robot using a lead screw, it is possible to realize a reliable and accurate feed. The single-axis robot can be used in the work area where x-y robots or scalal robots are used to realize precise step feed, simplifying the system and saving space. Since there is no interference during loading, fixing and unloading of the tray, the transport length can be configured within three times the length of the tray. Simplification of operation part and reduction of driving part can reduce trouble and easy maintenance. High speed feed is possible according to the performance of single axis robot.
본 고안의 설명에서 1축로보트의 사용예가 제시되었으나, 선형 서보 모터에 본 고안에 따른 트레이 이송수단을 설치하여 구성하여도 좋다.In the description of the present invention, an example of the use of a single-axis robot has been presented, but the tray conveying means according to the present invention may be installed in a linear servo motor.
Claims (7)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940002557U KR970006415Y1 (en) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | A tray transfer system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940002557U KR970006415Y1 (en) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | A tray transfer system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950025912U KR950025912U (en) | 1995-09-18 |
| KR970006415Y1 true KR970006415Y1 (en) | 1997-06-24 |
Family
ID=19377130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940002557U KR970006415Y1 (en) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | A tray transfer system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970006415Y1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100899944B1 (en) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | 미래산업 주식회사 | Apparatus of transferring a test tray and Test Handler using the same |
-
1994
- 1994-02-14 KR KR2019940002557U patent/KR970006415Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950025912U (en) | 1995-09-18 |
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