Claims (11)
각각 1개의 자기층과 1개의 비자기층으로 되는 복수개의 자기/비자기 적층체 유니트로 이루어지는 자기 및 비자기층의 교대적인 적층체로 구성되며, 자기층이 자기금속의 다수의 미립자와 제1비자기금속의 매트릭스로 이루어지는 입자상 합금으로 구성되고, 상기 미립자는 단일의 자기영역을 형성하기 위하여 크기가 충분히 작고 자기층의 각 이웃하는 쌍간의 반강자성 커플링을 제공하는데 충분한 밀도로 매트릭스에 분산되며, 비자기층이 제2비자기금속으로 구성되는 거대 자기저항소자.It consists of alternating stacks of magnetic and nonmagnetic layers consisting of a plurality of magnetic / nonmagnetic stack units each comprising one magnetic layer and one nonmagnetic layer, the magnetic layer comprising a plurality of fine particles of magnetic metal and a first nonmagnetic metal Composed of a matrix alloy consisting of a matrix, the particulates being small enough to form a single magnetic region and dispersed in the matrix at a density sufficient to provide antiferromagnetic coupling between each neighboring pair of magnetic layers, Giant magnetoresistive element consisting of a second non-magnetic metal.
제1항에 있어서, 입자상 합금이 입자상 합금중의 자기금속의 농도로 55~80at%의 밀도에서의 자기금속의 미립자를 포함하는 거대 자기저항소자.The large magnetoresistive element according to claim 1, wherein the particulate alloy includes fine particles of magnetic metal at a density of 55 to 80 at% at a concentration of the magnetic metal in the particulate alloy.
제1항에 있어서, 교대적인 적층체가 5~7개의 자기/비자기 적층체 유니트로 구성되는 거대 자기저항소자.2. The giant magnetoresistive element of claim 1, wherein the alternating stack consists of 5 to 7 magnetic / nonmagnetic stack units.
제1항에 있어서, 교대적인 적층체가 400Å 이하의 두께를 갖는 거대 자기저항소자.The giant magnetoresistive element according to claim 1, wherein the alternating laminate has a thickness of 400 GPa or less.
제1항에 있어서, 자기금속이 Ni, Co, Fe 및 그 합금으로 이루어지는 군에서 선택되는 거대 자기저항소자.The large magnetoresistive element according to claim 1, wherein the magnetic metal is selected from the group consisting of Ni, Co, Fe, and alloys thereof.
제1항에 있어서, 매트릭스를 구성하는 제1비자기금속과 비자기층을 구성하는 제2비자기금속이 Cu, Ag, Au, Pt 및 그 합금으로 이루어지는 군에서 선택되는 거대 자기저항소자.The large magnetoresistive element according to claim 1, wherein the first nonmagnetic metal constituting the matrix and the second nonmagnetic metal constituting the nonmagnetic layer are selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Pt, and alloys thereof.
각각 1개의 자기층과 1개의 비자기층으로 되는 복수개의 자기/비자기 적층체 유니트로 이루어지는 자기 및 비자기층의 교대적인 적층체로 구성되며, 자기층이 자기금속의 다수의 미립자와 제1비자기금속의 매트릭스로 이루어지는 입자상 합금으로 구성되고, 상기 미립자는 단일의 자기영역을 형성하기 위하여 크기가 충분히 작고 자기층의 각 이웃하는 쌍간의 반강자성 커플링을 제공하는데 충분한 밀도로 매트릭스에 분산되며, 비자기층이 제2비자기금속으로 구성되는 거대 자기저항소자로 이루어지는 자기센서.It consists of alternating stacks of magnetic and nonmagnetic layers consisting of a plurality of magnetic / nonmagnetic stack units each comprising one magnetic layer and one nonmagnetic layer, the magnetic layer comprising a plurality of fine particles of magnetic metal and a first nonmagnetic metal Composed of a matrix alloy consisting of a matrix, the particulates being small enough to form a single magnetic region and dispersed in the matrix at a density sufficient to provide antiferromagnetic coupling between each neighboring pair of magnetic layers, A magnetic sensor comprising a large magnetoresistive element composed of a second nonmagnetic metal.
제7항에 있어서, 입자상 합금이 입자상 합금중의 자기금속의 농도로 55~80at%의 밀도에서의 자기금속의 미립자를 포함하는 자기센서.The magnetic sensor according to claim 7, wherein the particulate alloy comprises fine particles of magnetic metal at a density of 55 to 80 at% at a concentration of the magnetic metal in the particulate alloy.
자기금속 및 제1비자기금속의 고체용액의 제1층과 제2비자기금속의 제2층을 기판상에 교대적으로 퇴적하여 이렇게 퇴적된 적층체를 형성하고, 자기금속은 자기금속의 다수개의 미립자의 수반하는 밀도에 상응하는 양으로 고체용액에 존재하며, 상기 의 적층체를 연처리하여 제1층에서는 자기금속을 고체용액에서 침전시켜 각각 단일의 자기영역을 형성하도록 침전시켜 각각 단일의 자기영역을 형성하도록 크기가 충분히 작고 제1비자기금속의 매트릭스에 분산되는, 자기금속의 다수의 미립자를 형성하고, 이 다수의 미립자와 매트릭스는 입자상 합금으로 구성되며, 이것에 의하여 입자상 합금의 자기층과 제2비자기금속의 비자기층의 교대적인 적층체를 형성하는 거대 자기저항소자의 제조방법.The first layer of the solid solution of the magnetic metal and the first non-magnetic metal and the second layer of the second non-magnetic metal are alternately deposited on the substrate to form a laminate thus deposited, and the magnetic metal is a plurality of fine particles of the magnetic metal. It is present in the solid solution in an amount corresponding to the density of. In the first layer, the laminate is soft-treated to precipitate the magnetic metal in the solid solution to form a single magnetic region, respectively. Forming a plurality of fine particles of the magnetic metal, small enough in size and dispersed in a matrix of the first non-magnetic metal, the plurality of fine particles and the matrix consisting of a particulate alloy, thereby forming a magnetic layer and a first 2 A method for manufacturing a giant magnetoresistive element which forms an alternate stack of nonmagnetic layers of nonmagnetic metal.
제9항에 있어서, 제1비자기금속의 매트릭스에 자기금속의 다수의 미립자의 밀도가 고체용액중의 자기금속의 양으로 55~80at%인 거대 자기저항소자의 제조방법.10. The method of manufacturing a large magnetoresistive element according to claim 9, wherein the density of the plurality of fine particles of the magnetic metal in the matrix of the first non-magnetic metal is 55 to 80 at% by the amount of the magnetic metal in the solid solution.
제9항에 있어서, 교대적인 퇴적단계가 스퍼터링, 이온빔 스퍼터링, 및 분자 빔 에피택시중 어느 것으로 실행되는 거대 자기저항소자의 제조방법10. The method of manufacturing a large magnetoresistive element according to claim 9, wherein the alternate deposition step is performed by any one of sputtering, ion beam sputtering, and molecular beam epitaxy.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.