Claims (25)
구멍이 뚫린 피막과, 상기 피막을 진동시키기 위한 액츄에이터 및, 상기 피막의 표면에 액체를 공급하기 위한 수단을 구비하고, 상기 피막의 구멍은, 액체방울이 나오는 면에서 떨어진 상기 피박면의 단면적이 상기 피박의 반대면의 단면적보다도 큰 역테이퍼형상을 갖는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.A perforated film, an actuator for vibrating the film, and means for supplying a liquid to the surface of the film, wherein the hole of the film has a cross-sectional area of the film surface away from the surface from which the droplets are released. Droplet spray apparatus characterized in that it has a reverse tapered shape larger than the cross-sectional area of the opposite side of the.
제1항에 있어서, 액체방울이 나오는 면에서 떨어진 면과 반대인 상기 피막면과 접촉하는 액체에 감소한 압력을 가하는 압력마이서스수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The droplet spray apparatus according to claim 1, further comprising a pressure mouse means for applying a reduced pressure to the liquid in contact with the film surface opposite to the surface away from the surface where the droplet emerges.
제2항에 있어서, 상기 감소한 압력은, 제로에서 공기를 유체에 접촉된 상기 피막의 구멍을 통해 공기를 빼내는 압력까지의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.3. A droplet spray apparatus according to claim 2, wherein the reduced pressure is in a range up to a pressure at which air is drawn out through the hole of the coating in contact with the fluid at zero.
제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 액체방울이 나오는 면에서 떨어진 상기 피막면의 구멍은 접촉하고 있지 않은 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The liquid droplet spraying device according to any one of claims 1 to 4, wherein the hole of the coating surface separated from the surface from which the droplet comes out is not in contact.
제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 액츄에이터는 압전기 엑츄에이터인 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The droplet spray apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the actuator is a piezoelectric actuator.
제5항에 있어서, 상기 압전기 액츄에이터는 벤딩모드에서 동작하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.6. A droplet spray apparatus according to claim 5, wherein said piezoelectric actuator is adapted to operate in a bending mode.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피막의 표면에 액체를 공급하기 위한 수단은, 모세관 이송기구인 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The liquid droplet spraying device according to any one of claims 1 to 6, wherein the means for supplying a liquid to the surface of the film is a capillary feed mechanism.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피막의 표면에 액체를 공급하기 위한 수단은, 기포발생기 이송기구인 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The liquid droplet spraying device according to any one of claims 1 to 6, wherein the means for supplying a liquid to the surface of the film is a bubble generator transport mechanism.
제1항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 상기 구멍 모두가 역테이퍼형상을 갖는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The droplet spray apparatus according to any one of claims 1 to 8, wherein all of the holes have a reverse taper shape.
제9항에 있어서, 상기 피막은 통상의 테이퍼형상의 구멍을 더 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.10. The droplet spray apparatus according to claim 9, wherein the film further includes a normal tapered hole.
제10항에 있어서, 상기 통상의 테이퍼형상의 구멍은, 역테이퍼형상의 구멍의 외주에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The liquid droplet spraying device according to claim 10, wherein the ordinary tapered hole is disposed on an outer circumference of the reverse tapered hole.
제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 피막의 표면에 액체를 공급하기 위한 수단은, 상기 액체를 액체방울이 나오는 면에서 떨어진 상기 피막면에 공급하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.12. The droplet spray apparatus according to claim 10 or 11, wherein the means for supplying a liquid to the surface of the film is adapted to supply the liquid to the film surface away from the surface from which the droplet emerges.
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피막의 표면에 액체를 공급하기 위한 수단은, 상기 액체를 액체방울이 나오는 면에서 떨어진 면과 반대의 상기 피막면에 공급하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The means for supplying a liquid to the surface of the film is according to any one of claims 1 to 11, characterized in that the liquid is supplied to the film surface opposite to the surface away from the surface from which the droplet emerges. Droplet spray equipment.
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액츄에이터는 하기의 관계식을 만족하도록 상기 피막을 진동시키도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The liquid droplet spraying apparatus according to any one of claims 1 to 13, wherein the actuator is provided to vibrate the coating so as to satisfy the following relational expression.
여기서, ψ=상기 피막의 전면과 후면 사이의 소정의 점에서의 상기 테이퍼형상의 구멍의 직경, n=임의의 정수, c=상기 액체의 모세관파의 파장, σ=유체의 표면장력(주파수 f에서),ρ=유체밀도.Where ψ = diameter of the tapered hole at a predetermined point between the front and rear surfaces of the coating, n = any integer, c = wavelength of the capillary wave of the liquid, σ = surface tension of the fluid (frequency f At), ρ = fluid density.
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액츄에이터는 상기 피막을 20kHz∼7MHz의 주파수범위에서 진동시키도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체방울 스프레이장치.The liquid droplet spraying device according to any one of claims 1 to 14, wherein the actuator is provided to vibrate the coating in a frequency range of 20 kHz to 7 MHz.
더 작은 단면적을 갖는 구멍에서의 피막의 측면으로부터 더 큰 단면적을 갖는 구멍에서의 피막의 측면을 향하여 상기 피막을 진동시킴으로써 액체가 상기 테이퍼형상의 구멍을 통과하도록 하는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.And vibrating the coating from the side of the coating in the hole having the smaller cross-sectional area toward the side of the coating in the hole having the larger cross-sectional area to allow liquid to pass through the tapered holes.
제16항에 있어서, 상기 구멍을 통과하는 상기 액체의 통로를 방해하는 액체에 압력바이어스를 가하는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.17. The liquid spray method according to claim 16, wherein a pressure bias is applied to the liquid which obstructs the passage of the liquid passing through the hole.
제17항에 있어서, 상기 압력바이어스는, 제로에서 공기를 유체에 접촉된 상기 피막의 구멍을 통해 빼내는 압력까지의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.18. The liquid spray method according to claim 17, wherein the pressure bias is in a range from zero to a pressure for extracting air through the hole of the film in contact with the fluid.
제16항에 있어서, 액츄에이터는 압전기 액츄에이터이고, 벤딩모드에서 동작하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.17. The liquid spray method according to claim 16, wherein the actuator is a piezoelectric actuator and is adapted to operate in a bending mode.
제16항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액체를 모세관 이송기구를 통해서 상기 피막의 표면에 공급하는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.20. The liquid spray method according to any one of claims 16 to 19, wherein the liquid is supplied to the surface of the film through a capillary feed mechanism.
제16항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액체를 기포발생기 이송기구를 통해서 상기 피막의 표면에 공급하는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.20. The liquid spraying method according to any one of claims 16 to 19, wherein the liquid is supplied to the surface of the coating through a bubble generator transfer mechanism.
제16항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액체를 액체방울이 나오는 면에서 떨어진 상기 피막면에 공급하는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.22. The liquid spraying method according to any one of claims 16 to 21, wherein the liquid is supplied to the coating surface away from the surface from which the droplet comes out.
제16항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액체를 액체방울이 나오는 면에서 떨어진 면과 반대의 상기 피막면에 공급하는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.22. The liquid spray method according to any one of claims 16 to 21, wherein the liquid is supplied to the coating surface opposite to the surface separated from the surface from which the droplet comes out.
제16항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액츄에이터는 하기의 관계식을 만족하도록 상기 피막을 진동시키는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.The liquid spray method according to any one of claims 16 to 23, wherein the actuator vibrates the coating so as to satisfy the following relational expression.
여기서, ψ=상기 피막의 전면과 후면 사이의 소정의 점에서의 상기 테이퍼형상의 구멍의 직경, n=임의의 정수, c=상기 액체의 모세관파의 파장, σ=유체의 표면장력(주파수 f에서),ρ=유체밀도.Where ψ = diameter of the tapered hole at a predetermined point between the front and rear surfaces of the coating, n = any integer, c = wavelength of the capillary wave of the liquid, σ = surface tension of the fluid (frequency f At), ρ = fluid density.
제16항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피막을 20kHz∼7MHz의 범위의 주파수로 진동시키는 것을 특징으로 하는 액체 스프레이방법.The liquid spray method according to any one of claims 16 to 24, wherein the film is vibrated at a frequency in the range of 20 kHz to 7 MHz.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.