KR960039611A - 솔리드 전극부와 분할 전극부를 갖는 idt 전극을 포함하는 탄성 표면파 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 TTE레벨을 저하시키지 않고 삽입 손실과 제품 불량율을 향상시키기 위한 탄성 표면파 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 압전 기판 상에 위치하는 IDT 전극을 포함하여 구성된다. 이 IDT 전극7은, 솔리드 전극부 7a와, 탄성 표면파의 전파 방향에 있어서 솔리드 전극부7a의 말단에 연속하여 형성되어 있음과 아울러 λ/8(λ=탄성파 파장)의 전극 핑거 폭을 갖는 분할 전극부 7b를 포함하고 있다.

Description

솔리드 전극부와 분할 전극부를 갖는 IDT 전극을 포함하는 탄성 표면파 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1의 바람직한 실시예에 의한 탄성 표면파 장치의 구조를 나타낸 평면도이다, 제2도는 본 발명의 제2의 바람직한 실시예에 의한 탄성 표면과 장치의 구조를 나타낸 평면도이다, 제3도는 본 발명의 제3의 바람직한 실시예에 의한 탄성 표면파 장치의 구조를 나타낸 평면도이다.

Claims (17)

  1. 압전 기판(pezoelectric substrate)과; 상기 압전 기판상에 배치되며 솔리드(solid) 전극부와, 분할(spilt)전극부를 포함하는 인터디지탈 변환기 전극(interdigital transducer electrode);을 포함하는 탄성 표면파 장치(surface acoustic wave device)에 있어서, 상기 분할 전극부는 상기 압전 기판 상에서 발생되는 탄성 표면파의 전파 방향(propagation direction)에 있어서 상기 솔리드 전극부의 말단에 연속하여 형성된 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  2. 제1항에 있어서, λ은 탄성 표면파의 파장이라 할 때, 상기 분할 전극부와 상기 솔리드 전국부간의 전극간격이 약 λ/8이고, 상기 전극 간격에 가장 근접하는 상기 솔리드 전극부의 말단에 있어서의 전극 핑거(electrode finger)가 약 5λ/16의 전극 핑거 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  3. 제1항에 있어서, λ는 탄성 표면파의 파장이라 할 때, 상기 솔리드 전극부의 전극 핑거 폭이 약 3λ/8인 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  4. 압전 기판과; 탄성 표면파의 여전(excitation)을 위한 제1의 탄성 표면파 변환기(surface acoustic wave transducer), 및 탄성 표면파의 전파 방향에 있어서 상기 압전 기판 상에 병렬로 배치된 탄성 표면파의 수신(receiving)을 위한 제2의 탄성 표면파 변환기;를 포함하는 탄성 표면과 장치에 있어서, 상기 제1 및 제2의 탄성 표면파 변환기 중의 일측을 구성하는 인터디지탈 변환기 전극은 솔리드 전극으로 구성되어 있으며, 상기 제1 및 제2의 탄성 표면파 변환기 중의 타측을 구성하는 인터디지탈 변환기 전극은, 솔리드 전극부와, 상기 솔리드 전극부의 말단에 연속하여 형성된 분할 전극부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파장치.
  5. 제1항에 있어서, λ은 탄성 표면파의 파장이라 할 때, 상기 분할 전극부는 λ/8의 전극 핑거 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 솔리드 전극부의 전극 핑거의 교차폭은, 상기 분할 전극부의 전극 핑거의 교차폭과 실질적으로 동등한 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  7. 제1항에 있어서, λ은 탄성 표면파의 파장이라 할 때, 상기 솔리드 전극부와 상기 분할 전극부간의 경계에 있어서의 전극 핑거 간격은 약 3λ/16인 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 솔리드 전극부 및 상기 분할 전극부는 상이한 전극 핑거 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 솔리드 전극부가 차지하는 상기 압전 기판 상의 면적은, 상기 분할 전극부가 차지하는 상기 압전 기판 상의 면적과 실질적으로 동등한 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  10. 제4항에 있어서, 상기 분할 전극부는 상기 솔리드 전극부보다 상기 제1 및 제2의 탄성 표면파 변환기중의 일측에 더 가까이 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  11. 제4항에 있어서, λ은 탄성 표면파의 파장이라 할 때, 상기 분할 전극부와 상기 솔리드 전극부간의 전극간격은 약 λ/8이고, 상기 전극 간격에 가장 가까운 솔리드 전극부의 말단에 있어서의 전극 핑거는 약 5λ/16의 전극 핑거 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  12. 제4항에 있어서, λ은 탄성 표면파의 파장이라 할 때, 상기 솔리드 전극부의 전극 핑거 폭은 약 3λ/8인 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  13. 제4항에 있어서, λ은 탄성 표면파의 파장이라 할 때, 상기 분할 전극부는 약 λ/8의 전극 핑거 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  14. 제4항에 있어서, 상기 솔리드 전극부의 전극 핑거의 교차폭은 상기 분할 전극부의 전극 핑거의 교차폭과 실질적으로 동등한 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  15. 제4항에 있어서, λ은 탄성 표면파의 파장이라 할 때, 상기 솔리드 전극부와 상기 분할 전극부간의 경계에 있어서의 전극 핑거 간격은 약 3λ/16인 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  16. 제4항에 있어서, 상기 솔리드 전극부와 상기 분할 전극부는 상이한 전극 핑거 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
  17. 제4항에 있어서, 상기 솔리드 전극부가 차지하는 상기 압전 기판상의 면적은 상기 분할 전극부가 차지하는 상기 압전 기판상의 면적과 실질적으로 동등한 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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