Claims (8)
기판과, 이 기판쪽으로부터 p형 또는 n형 반도체 물질로 된 제1전극층, 적어도 하나의 P형 또는 N형으로 되고 소정의 반사율을 가지는 제1반사기층, 레이저 광을 생성하는 활성영역, 상기 제1반사기층과 다른 형으로 이루어지고 소정의 반사율을 가지는 제2반사기층, 상기 제1전극층과 다른 형으로 된 제2전극층이 적층되어 이루어지고 수직 방향으로 광을 출사하도록 된 표면광 레이저 광원과, 이 광원에서 출사되는 광량을 제어하도록 출사광의 일부를 수광하는 모니터용 광검출기로 이루어진 모니터용 광검출기를 채용한 표면광 레이저에 있어서, 상기 광원은 그 스택(stack) 구조에 수직한 방향으로 광을 출사하도록 상기 제2전극층에 공동이 형성되고, 이 공동에서 출사되는 광중 일부의 광을 경로를 바꾸어 상기 광검출기를 향하도록 상기 공동에 대하여 소정 각도의 반사면을 가지는 광경로변환수단이 상기 공동과 상기 제2전극층 상에 구비된 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기를 채용한 표면광 레이저.A substrate, a first electrode layer made of a p-type or n-type semiconductor material from the substrate side, a first reflector layer of at least one P-type or N-type, and having a predetermined reflectance, an active region for generating laser light, and the first A second reflector layer having a different reflectivity from the first reflector layer and having a predetermined reflectance; a surface light laser light source formed by stacking a second electrode layer of a different type from the first electrode layer and emitting light in a vertical direction; A surface light laser employing a monitor photodetector comprising a monitor photodetector that receives a portion of the outgoing light so as to control the amount of light emitted from the light source, wherein the light source emits light in a direction perpendicular to the stack structure. A cavity is formed in the second electrode layer to emit the light, and a portion of the light emitted from the cavity is redirected so that the cavity is directed toward the photodetector. And a light path converting means having a reflective surface at a predetermined angle on the cavity and the second electrode layer.
제1항에 있어서, 상기 광경로변환수단은 광이 그 내부로 통과하도록 된 몸체와, 입사되는 광의 경로를 소정 각도로 바꾸어주는 제1반사면으로 이루어지고, 상기 광검출기는 상기 제1반사면에서 반사되어 상기 몸체를 통과하여 입사되는 광을 수광하도록 상기 광원과 독립된 위치에 놓이는 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기를 채용한 표면광 레이저.According to claim 1, wherein the optical path converting means comprises a body through which light passes therein, and a first reflecting surface for changing the path of the incident light at a predetermined angle, the photodetector is the first reflecting surface A surface light laser employing a monitor photodetector, characterized in that the position is independent of the light source to receive the light reflected by the light passing through the body.
제2항에 있어서, 상기 제1반사면은 상기 제2전극층 상면에 대하여 45°각도 기울어지게 배치된 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기를 채용한 표면광 레이저.The surface light laser of claim 2, wherein the first reflecting surface is disposed at an angle of 45 degrees with respect to the upper surface of the second electrode layer.
제1항에 있어서, 상기 광경로변환수단은 광이 그 내부로 통과하도록 된 몸체와, 입사되는 광의 경로를 소정 각도로 바꾸어주는 제1반사면과, 이 제1반사면에서 반사된 광이 상기 반도체기판 쪽으로 향하도록 소정 각도로 방향을 바꾸어주는 제2반사면으로 이루어지고, 상기 광검출기는 상기 제1 및 제2반사면에서 반사되어 상기 몸체을 통과한 광을 수광하도록 상기 광원과 동일 반도체기판 상에 위치되는 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기를 채용한 표면광 레이저.The optical path converting means according to claim 1, wherein the optical path converting means includes a body through which light passes, a first reflecting surface for changing a path of incident light at a predetermined angle, and the light reflected from the first reflecting surface. And a second reflecting surface that changes direction at a predetermined angle to face toward the semiconductor substrate, wherein the photodetector is arranged on the same semiconductor substrate as the light source to receive light that is reflected from the first and second reflecting surfaces and passes through the body. Surface light laser employing a monitor photodetector, characterized in that located in.
제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2반사면은 상기 제2전극층의 상면에 대하여 45°각도 기울어지게 배치된 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기를 채용한 표면광 레이저.5. The surface light laser of claim 4, wherein the first and second reflecting surfaces are inclined at an angle of 45 degrees with respect to the upper surface of the second electrode layer.
제1항에 있어서, 상기 광경로변환수단은 그 재질이 SiO2산화물질인 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기를 채용한 표면광 레이저.2. The surface light laser according to claim 1, wherein the optical path converting means is made of SiO 2 oxide.
제1항에 있어서, 상기 모니터용 광검출기는 두 전극층에 역방향 바이어스 전압이 인가되어 그 표면에 입사하는 광을 흡수할 수 있도록 된 표면광 레이저인 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기를 채용한 표면광 레이저.2. The surface light employing the monitor photodetector according to claim 1, wherein the monitor photodetector is a surface light laser which is capable of absorbing light incident on the surface by applying a reverse bias voltage to the two electrode layers. laser.
제1항에 있어서, 상기 모니터용 광검출기는 입사되는 광을 흡수하도록 그 두전극층에 전압을 인가하지 않은 표면광 레이저인 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기를 채용한 표면광 레이저.2. The surface light laser of claim 1, wherein the monitor photodetector is a surface light laser that does not apply a voltage to its two electrode layers to absorb incident light.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.