KR960024483A - 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 V-홈을 이용하는 광섬유-광소자 결합장치와 페룰을 제조함에 있어서, V-홈이 형성된 두개의 기판을 고온 열처리하여 직접 접착시켜 두 V-홈에 의해 형성되는 구멍을 통하여 광섬유를 삽입, 고정하는 장치로서 광섬유와 접착제의 직접적인 사용에 오는 단점을 해소하는데 그 목적이 있는 것으로, 기판과 뚜껑 사이에 에폭시 등의 접착제를 사용하지 않고 두개의 V-홈을 서로 직접 접착하여 형성되는 구멍을 통하여 광섬유를 삽입하여 고정시킴으로써 접착제를 사용하여 광섬유를 고정시킬 경우에 발생하는 접착 후 정렬의 흐트러짐과 신뢰성의 정하 등을 방지할 수 있고, 광섬유를 V-홈에 먼저 고정시킨 경우에 최종 패키지의제작시까지 광섬유를 부착한 상태로 조립 공정을 수행할 때 따르는 공정상의 어려움을 극복할 수 있다.

Description

광섬유-광소자 결합장치의 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1D도, 제1G도는 실리콘 기판에 광섬유 정렬 및 고정용 V-홈을 형성하고 두 실리콘 기판을 접합하는 공정을 나타낸 도면, 제2A도는 두 실리콘 기판의 접합에 의해 완성된 V-홈 페룰과, 레이저 다이오드의 결합이 완료된 상태를 나타낸 도면.

Claims (5)

1. 하판(9)과 상판(10)에 각각 V-홈(12)을 형성하여 광섬유(20)와 광소자(21)를 결합하는 장치의 제조방법에 있어서, 상기 두 기판(9, 10) 각각의 앞 뒷면에 보호막(1)을 증착하는 단계와; 상기 각 기판(9, 10)의 한쪽 보호막(1) 위에 포토레지스트(3)를 도포하고 사진 전사 공정을 수행하는 것에 의해 V-홈의 형성을 위한 포토레지스트 식각창을 정의하고, 포토레지스트 패턴을 마스크로서 사용하여 상기 보호막(1)을 식각하여 V-홈의 형성을 위한 창(4)을 형성하되, 상기 광섬유(20)가 삽입될 창의 입구(5)를 그것의 출구(6)에 비해 넓게 형성하는 단계와; 상기 각 기판의 상기 포토레지스트(3)를 제거한 후, 상기 하판(9) 및 상판(10)을 이방성 식각하여 상기 각 판(9, 10)에 V-홈(7)을 각각 형성하는 단계와; 상기 각 기판(9, 10)의 표면에 형성된 보호막(1)을 각각 제거하고, 상기 하판(9)의 V-홈(13)에 정렬용 막대(11)를 삽입하여 상기 상판(10)의 V-홈(12)과 상기 하판(9)의 V-홈(13)을 상호 정렬시킨 다음, 상기 상판(10)과 상기 하판(9)을 상호 밀착시키는 단계와; 상기 고정된 상, 하판(9, 10)으로부터 상기 정렬용 막대(11)를 제거한 뒤 고온 가열장치 내에서 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 고온 열처리 단계는 전기장 인가와 함께 수행되는 것을 특징으로 하는 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 정렬 막대는 광섬유인 것을 특징으로 하는 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.
4. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 하판(9) 및 상기 상판(10)은 실리콘 웨이퍼로 각각 이루어지는 것을 특징으로 하는 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.
5. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 하판(9) 및 상기 상판(10)은 실리콘 웨이퍼와 유리, 실리콘 웨이퍼와 세라믹 중 하나로 각각 구성되는 것을 특징으로 하는 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.