KR960011925B1

KR960011925B1 - Dry washing method of metal built in component of color tube

Info

Publication number: KR960011925B1
Application number: KR1019930029442A
Authority: KR
Inventors: 장재호
Original assignee: 대우전자 주식회사; 배순훈
Priority date: 1993-12-24
Filing date: 1993-12-24
Publication date: 1996-09-04
Also published as: KR950020942A

Abstract

The dry washing method for metal component built in color CRT having a mask(12), PF connector(14) and inner shield(16) removes the alien substance stacked to the surface by impacting the plus ion generated from the plasma arc in the vacuum chamber(10) charged with inert gases.

Description

Dry cleaning method for metal interior parts of color brown tube

제 1 도는 본 발명에 따른 칼라브라운관의 금속내장부품 건식세정방법을 실시하기 위한 세정장치의 구성을 나타낸 도면,1 is a view showing the configuration of a cleaning apparatus for performing a dry cleaning method for metal built-in parts of a color brown tube according to the present invention;

제 2 도는 본 발명에 따른 칼라브라운관의 금속내장부품 건식세정방법의 공정을 나타낸 도면이다.2 is a view showing a process of the dry cleaning method for metal embedded parts of a color brown tube according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10 : 진공챔버 12 : 마스크10 vacuum chamber 12 mask

14 : 프레임 16 : 이너실드(inner shield)14 frame 16: inner shield

18A : 가스주입구 18B : 가스배기구18A: Gas injection port 18B: Gas exhaust port

20 : 세정 카트(cart) 22 : 확산펌프20: cleaning cart 22: diffusion pump

24 : 로터리펌프 26A∼26C : 밸브24: rotary pump 26A to 26C: valve

30 : 전원부30: power supply

본 발명은 칼라브라운관의 금속내장부품 세정방법에 관한 것으로, 특히 불활성 기체를 주입하여 플라즈마방전을 야기시킴으로써 발생되는 양이온을 음극으로 하전되어 있는 금속내장부품의 표면에 충돌시켜서 그 표면에 있는 이물질을 제거하도록 된 칼라브라운관의 금속내장부품 건식세정방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for cleaning metal embedded parts of a color brown tube, and particularly to remove foreign substances on the surface by impinging a cation generated by injecting an inert gas into a surface of a metal embedded part charged with a cathode. The present invention relates to a dry cleaning method for metal-embedded parts of a colored brown tube.

일반적으로 새도우 마스크는 패널의 내면곡률과 맞도록 형성되고 전자총에서 방출되는 빔이 정확하게 각 형광체에 닿게 하여 색을 발광시키는 역할을 하는 칼라브라운관의 핵심부품으로서 통상 약 10만개 정도의슬릿으로 이루어져 있다. 그리고 새도우 마스크는 공정중의 노광공정이나 이송도중에 대기에 노출되기 때문에 다량의 미세한 면지 등과 같은 이물질들이 흡착되어 있다. 따라서 이를 제거하기 위하여 통상 패널과 퍼널의 용착공정전에 마스크세정을 해주고 있다. 이러한 마스크세정은 통상 초음파진동→순수세정→공기세정→건조의 순으로 행하고 있다.In general, the shadow mask is formed to match the curvature of the panel and is a core component of the color CRT, which emits color by allowing the beam emitted from the electron gun to exactly touch each phosphor, and is generally composed of about 100,000 slits. In addition, since the shadow mask is exposed to the atmosphere during the exposure process or the transfer process, a large amount of foreign matter such as fine cotton paper is adsorbed. Therefore, in order to remove this, mask cleaning is usually performed before the panel and funnel welding process. Such mask cleaning is usually performed in the order of ultrasonic vibration → pure cleaning → air cleaning → drying.

그러나 상기와 같은 종래의 세정방법에 있어서는 흡착력이 강한 이들질을 제거하지 못하고, 습식방법을 사용하기 때문에 산화막이 이미 마스크에 코팅되어 있다고 하더라도 수분의 접촉으로 산화되기 쉽다는 단점을 갖고 있다. 또한 마스크 세정후에 이너실드(inner shield) 조립을 행하기 때문에 이너실드의 세정은 별도로 행해야 하는 불편함이 있다.However, the conventional cleaning method as described above has a disadvantage in that it is not easy to remove these substances having strong adsorptive power, and because the wet method is used, even if the oxide film is already coated on the mask, it is easily oxidized by contact with moisture. In addition, since the inner shield is assembled after the mask cleaning, the inner shield needs to be cleaned separately.

이에 본 발명은 상기한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 불활성 기체를 주입하여 플라즈마방전을 야기시킴으로써 발생되는 양이온을 음극으로 하전되어 있는 금속내장부품의 표면에 충돌시켜서 그 표면에 있는 이물질을 제거할 수 있도록 된 칼라브라운관의 금속내장부품 건식세정방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described circumstances, and in order to remove foreign substances on the surface by colliding the cations generated by injecting an inert gas into the surface of the metal embedded parts charged with the cathode. It is an object of the present invention to provide a dry cleaning method for metal built-in parts of a conventional color brown tube.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 칼라브라운관의 금속내장부품 건식세정방법에 따르면, 마스크와 PF(Panel-Funnel)컨넥터 및 이너실드를 포함하는 칼라브라운관의 금속내장부품의 세정방법에 있어서, 마스크 어셈블리를 진공챔버내에 설치한 다음에 상기 진공챔버내에 불활성 가스를 주입하고 플라즈마방전을 야기함으로써 발생되는 양이온을 금속내장부품 표면에 층돌시킴으로써 그 표면에 흡착된 이물질을 제거하는 것을 특징으로 한다. 여기서 상기 마스크 어셈블리는 상기 PF컨넥터와 이너실드를 상기 마스크에 조립하여 이루어진 것이다.According to the dry cleaning method of the metal built-in parts of the color brown tube according to the present invention to achieve the above object, in the cleaning method of the metal built-in parts of the color brown tube including a mask and a panel-panel (PF) connector and an inner shield, After installing the mask assembly in the vacuum chamber, the inert gas is injected into the vacuum chamber and the cations generated by causing the plasma discharge are stratified on the surface of the metal embedded parts to remove foreign substances adsorbed on the surface. The mask assembly is formed by assembling the PF connector and the inner shield to the mask.

상기와 같이 구성된 본 발명에 있어서는 흡착력이 강한 이물질을 제거하기 위해서 마스크 세정시에 세척효과가 콘 플라즈마방전원리를 이용해서, 초기 진공상태에서 불활성 가스를 주입하고 방전을 일으킴으로써 마스크 부근에서 플라즈마를 생성시킨다. 그리고 마스크에 음극을 걸어 주면 플라즈마로부터 생성된 양이온들이 전기장에 의해 가속되어 마스크에 충돌하게 되는네, 이 양이온의 충돌에 의하여 마스크에 흡착된 이물질이 떨어져 나가게 된다. 이러한 방식을 이용하게 되면 음극으로 하전된 도체표면에는 양이온들이 충돌하게 되므로 마스크에 복잡한 형상의 이너실드 부착후라도 마스크와 이너실드를 동시에 세정하는 것이 가능하게 된다.In the present invention configured as described above, plasma is generated in the vicinity of the mask by injecting an inert gas in an initial vacuum state and generating a discharge by using a cone plasma discharge power in the cleaning effect in the mask cleaning to remove foreign substances having strong adsorption force. Let's do it. When the cathode is applied to the mask, the cations generated from the plasma are accelerated by the electric field and collide with the mask, and foreign substances adsorbed to the mask are separated by the collision of the cations. Using this method, since the cations collide with the negatively charged conductor surface, it is possible to simultaneously clean the mask and the inner shield even after attaching the complex inner shield to the mask.

이하, 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제 1 도는 본 발명에 따른 칼라브라운관의 금속내장부품 건식세정방법을 실시하기 위한 세정장치의 구성을 나타낸 도면으로, 진공챔버(10)내에는 마스크(12)와 프레임(14) 및 이너실드(16)가 결합되어 수납되어 있고, 상기 진공챔버(10)의 측벽에는 Ar과 같은 불활성 가스가 주입되는 가스주입구(18A)와 내부를 진공상태로 유지시키기 위해 가스를 배기시키는 가스배기구(18B)가 설치되어 있다. 그리고 세정 카트(cart; 20)는 확산펌프(22)와 로터리펌프(24)를 갖추고 있는데, 상기 확산펌프(22)는 밸브(26A)와 밸브(26C)를 매개로 상기 진공챔버(10)의 가스배기구(18B)와 연통되어 있고, 상기 로터리펌프(24)는 밸브(26B)와 밸브(26C)를 매개로 상기 진공챔버(10)의 가스배기구(18B)와 연통되어 있다. 또한 전원부(30)는 상기 마스크(12)에 음극을 하전시키기 위한 것이다.1 is a view showing the configuration of a cleaning apparatus for performing a dry cleaning method for metal embedded parts of a color brown tube according to the present invention. In the vacuum chamber 10, a mask 12, a frame 14, and an inner shield 16 are shown. ) Is coupled and housed, and a side surface of the vacuum chamber 10 is provided with a gas inlet 18A into which an inert gas such as Ar is injected and a gas exhaust port 18B for exhausting the gas to keep the interior in a vacuum state. It is. In addition, the cleaning cart 20 includes a diffusion pump 22 and a rotary pump 24. The diffusion pump 22 has a valve 26A and a valve 26C. It communicates with the gas exhaust port 18B, and the rotary pump 24 communicates with the gas exhaust port 18B of the vacuum chamber 10 via the valve 26B and the valve 26C. In addition, the power supply unit 30 is for charging the cathode to the mask 12.

상기와 같이 구성된 세정장치는 제 2 도에 나타낸 24 헤드 M/C를 회전하게 된다. 즉, 위치 1은 마스크로딩, 위치 2∼6은 1차 진공, 위치 7∼14는 2차 진공, 위치 15 및 16은 Ar 가스와 같은 불활성 가스주입, 위치 17∼19는 가스메기, 위치 24는 마스크 언로딩이다.The cleaning apparatus configured as described above rotates the 24 head M / C shown in FIG. That is, position 1 is mask loading, positions 2-6 are primary vacuum, positions 7-14 are secondary vacuum, positions 15 and 16 are inert gas injections such as Ar gas, positions 17-19 are gas cats, and positions 24 are Mask unloading.

본 발명에 따른 칼라브라운관의 금속내장부품 건식세정방법은 다음과 같다. 즉, 먼저 마스크(12)에 PF컨넥터(14)와 이너실드(16)를 용접하여 조립하고, 그후 로터리펌프(24)로 진공챔버(10)을 예컨대 진공도가 10^-3정도의 진공상태(1차 진공)로 만든 다음에, 확산펌프(22)로 상기 진공챔버(1O)을 예컨대 진공도가10^-6정도의 진공상태(2차 진공)로 만든다. 이어서 상기 진공챔버(10)내에 가스주입구(18A)를 통해서 Ar가스와 같은 불활성 가스를 주입하여 진공도를 예컨대 1O^-3정도로 유지시킨 다음에 마스크 어셈블리에 전원부(30)에 의해 음극을 걸어주면 Ar 가스와 같은 불활성 가스는 강력한 전계에 의해 양이온과 전자로 분리되게 된다. 이때 상기 마스크(12)는 음극으로 하전되어 있으므로 Ar과 같은 불활성 가스의 양이온들은 강력한 전계에 의해 강력한 가속도로 마스크 어셈블리의 표면과 충돌하게 된다. 이 충돌에 의해 상기 마스크(12) 표면에 흡착된 이물질들이 제거되게 된다. 여기서 상기 마스크 어셈블리에 인가되는 전압이 너무 높으면 마스크 표면의 산화막이 떨어질 우려가 있으므로 상기 인가전압은 예컨대 50∼300V 사이에서 선택하는 것이 바람직하다.Dry cleaning method for metal embedded parts of a color-brown tube according to the present invention is as follows. That is, first, the PF connector 14 and the inner shield 16 are assembled by welding to the mask 12, and then the vacuum chamber 10, for example, a vacuum degree of about 10 ^-3 is vacuumed with the rotary pump 24 (1). Secondary vacuum), and then the diffusion chamber 22 makes the vacuum chamber 10 into a vacuum state (secondary vacuum) of, for example, a vacuum degree of about 10 ^-6 . Subsequently, an inert gas such as Ar gas is injected into the vacuum chamber 10 through the gas inlet 18A to maintain a vacuum degree of about 10 ⁻³ , and then a cathode is applied to the mask assembly by the power supply unit 30. Inert gases such as are separated into cations and electrons by a strong electric field. At this time, since the mask 12 is charged as a cathode, cations of an inert gas such as Ar collide with the surface of the mask assembly with a strong acceleration by a strong electric field. This collision causes foreign substances adsorbed on the surface of the mask 12 to be removed. If the voltage applied to the mask assembly is too high, the oxide film on the surface of the mask may fall, so the applied voltage is preferably selected from 50 to 300V, for example.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 습식세정방법을 사용하지 않으므로 수분에 의한 마스크 및 금속내장부품의 산화를 방지할 수 있으면서도 플라즈마에 의한 이온충돌을 이용해서 습식세정방법에 비해 미세한 이물질들을 효과적으로 제거할 수 있게 된다. 또한 이너실드의 조립후에 세정이 가능하기 때문에 이너실드의 조립시에 들어가는 이물질이나 이너실드 자체에 존재하는 이물질도 제거할 수 있으므로 브라운관의 가장 큰 불량원인인 이물질을 효과적으로 제거할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, since the wet cleaning method is not used, it is possible to prevent oxidation of the mask and metal embedded parts due to moisture, and to effectively remove fine foreign matters compared to the wet cleaning method by using ion bombardment by plasma. It becomes possible. In addition, since the inner shield can be cleaned after assembling, it is possible to remove foreign substances that enter during the assembly of the inner shield or the inner shield itself, thereby effectively removing foreign substances, which is the biggest cause of failure of the CRT.

Claims

In a method for cleaning metal interior parts of a color-brown tube including a mask (12), a PF connector (14), and an inner shield (16), a mask assembly is installed in the vacuum chamber (10) and then the vacuum chamber (10). A dry cleaning method for metal embedded parts of a color brown tube, characterized in that a cation generated by injecting an inert gas into the inside and causing a plasma discharge impinges on the surface of the metal embedded parts to remove foreign substances adsorbed on the surface.

The dry cleaning method according to claim 1, wherein the mask assembly is formed by assembling the PF connector (14) and the inner shield (16) to the mask (12).