KR960009981B1 - Apparatus for supplying resin tablets for use in encapsulating semiconductor device - Google Patents

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아오이 죠이치
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다케다이 마사다카
도시바 마이크로 일렉트로닉스 가부시키가이샤
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Abstract

요약없음No summary

Description

반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿 공급장치Resin tablet supply device for resin sealing of semiconductor devices

제1도 제2도는 본 발명의 1실시예의 정면도 및 평면도.1 is a front view and a plan view of an embodiment of the present invention.

제1(A)는 수직방향위치결정센서의 일부 절단설명도.1 (A) is an exploded view of part of the vertical positioning sensor.

제3도(A) 내지 제3도(E)는 상기 실시예의 동작을 설명하기 위한 부분정면도.3A to 3E are partial front views for explaining the operation of the embodiment.

제4도 및 제5도는 종래의 정면도 및 평면도이다.4 and 5 are conventional front and plan views.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

21A,21B : 태블릿 스톡커22 : 태블릿21A, 21B: Tablet Stocker22: Tablet

23 : 태블릿받침부24 : 태블릿 척크23: tablet support 24: tablet chuck

32A,32B : 태블릿인출기32A, 32B: Tablet Dispenser

[산업상의 이용 분야][Industrial use]

본 발명은 반도체장치의 제조과정에 있어서 반도체장치의 수지밀봉에 사용되는 수지태블릿을 공급하기 위한 수지태블릿공급장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin tablet supply device for supplying a resin tablet used for resin sealing of a semiconductor device in a manufacturing process of a semiconductor device.

[종래의 기술 및 그 문제점][Traditional Technology and Problems]

제4도 및 제5도는 종래 반도체장치의 수지밀봉에 사용되는 수지태블릿을 공급하는 장치를 나타낸 것이다. 이 공급장치는 특히 제4도에 나타낸 것과 같이 아암(arm;1)을 위로 동작시킴으로써 태블릿(2)을 하나씩 태블릿 척크(tablet chuck;3)에 공급하고, 태블릿 스톡커(tablet stocker;4a)내의 태블릿(2)이 모두 공급되었을 때는 스톡커 테이블(5)을 회전시켜 다른 태블릿 스톡커(4b)의 위치를 제4도의 태블릿 스톡커(4a)의 위치로 이동시키는 동작을 반복하도록 된 것이다.4 and 5 show an apparatus for supplying a resin tablet used for resin sealing of a conventional semiconductor device. This feeder in particular feeds the tablets 2 to the tablet chuck 3 one by one by operating the arm 1 as shown in FIG. 4 and in the tablet stocker 4a. When the tablets 2 are all supplied, the stocker table 5 is rotated to repeat the operation of moving the position of the other tablet stocker 4b to the position of the tablet stocker 4a of FIG.

상기 아암(1)의 상하구동은 아암상하구동용 모터(8)의 회전에 의해 행해진다. 즉 이 모터(8)의 회전은 회전전달기구(9)를 매개로 나사지렛대인 아암상하구동용 회전축(10)에 전달되는데, 이 회전축(10)에는 암나사몸체(11)가 서로 회전가능하게 설치되어 있고 회전축(10)의 정방향 혹은 역방향 회전에 따라서 암나사몸체(11)가 상하로 움직이게 된다. 이때, 이 암나사몸체(11)에는 상기 아암(1)이 고정되어 있으므로 아암(1)은 암나사몸체(11)와 일체적으로 상하이동하게 된다.Up and down driving of the arm 1 is performed by rotation of the arm up and down driving motor 8. In other words, the rotation of the motor 8 is transmitted to the rotating shaft 10 for the arm up and down driving, which is a screw lever, via the rotation transmission mechanism 9, and the female screw bodies 11 are rotatably installed on the rotating shaft 10. The female thread body 11 moves up and down in accordance with the forward or reverse rotation of the rotation shaft 10. At this time, since the arm 1 is fixed to the female threaded body 11, the arm 1 moves up and down integrally with the female threaded body 11.

또한 상기 스톡커 테이블(5)의 회전은 스톡커 테이블구동용 모터(13)의 회전에 의해 행해진다. 즉 이 모터(13)의 회전은 회전전달기구(14)에 의해서 스톡커 테이블구동기구(15)에 전달되는데, 이 구동기구(15)에 전달되어진 회전은 축(16)의 회전으로 바뀌게 되고, 이에 따라 이 축(16)과 붙어 있는 스톡커 테니블(5)도 회전하게 된다.The stocker table 5 is rotated by the stocker table driving motor 13. That is, the rotation of the motor 13 is transmitted to the stocker table driving mechanism 15 by the rotation transmission mechanism 14, and the rotation transmitted to the driving mechanism 15 is changed to the rotation of the shaft 16, As a result, the stocker table 5 attached to the shaft 16 also rotates.

상기와 같은 동작에 의해 태블릿 척크(3)에 태블릿(2)이 공급되는 태블릿 척크(3)는 태블릿(2)을 그 몸체 사이에 끼운 다음 프리히트(pre-heat)공정 혹은 직접 몰드(mold)공정으로 상기 태블릿(2)을 공급하게 된다.The tablet chuck 3, in which the tablet 2 is supplied to the tablet chuck 3 by the above operation, is sandwiched between the body of the tablet 2 and then a pre-heat process or a direct mold. The tablet 2 is supplied to the process.

그런데 상기한 종래의 수지태블릿 공급장치에는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional resin tablet supply device has the following problems.

즉, (a)태블릿(2)의 크기를 변경하는 경우, 태블릿(2)의 크기에 맞춰 상기한 태블릿 척크(3) 및 스톡커 테이블(5)을 조정 혹은 교환할 필요가 있게 됨에 따라 이 작업중에 태블릿(2)의 공급을 중단해야만 하므로 장치의 가동율이 떨어지게 된다.That is, (a) in the case of changing the size of the tablet 2, the tablet chuck 3 and the stocker table 5 described above need to be adjusted or replaced in accordance with the size of the tablet 2 during the operation. Since the supply of the tablet 2 must be stopped, the operation rate of the device is reduced.

(b)태블릿(2)의 연속공급을 위해서 1개 혹은 여러개의 태블릿 스톡커(4a,4b)를 설치할 영역이 필요하고, 또한 태블릿 스톡커(4a,4b)를 교환하기 위해 스톡커테이블(5)을 평면내에서 회전구동시키는 기구와 영역이 필요하게 되면, 이에 따라 장치가 대형화되고 기구가 복잡하게 됨은 물론 장치비용도 증가하게 된다.(b) An area in which one or more tablet stockers 4a and 4b are to be installed for the continuous supply of the tablet 2, and a stocker table 5 for replacing the tablet stockers 4a and 4b. If a mechanism and an area for rotating) are required in a plane, the apparatus becomes large, the apparatus becomes complicated, and the apparatus cost increases.

(c)상기 태블릿 척크(3)로 태블릿(2)의 공급위치가 한정되기 때문에 장치영역의 이용효율이 저하되게 된다.(c) Since the supply position of the tablet 2 is limited to the tablet chuck 3, the utilization efficiency of the apparatus area is reduced.

[발명의 목적][Purpose of invention]

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로, 여러개의 태블릿 스톡커를 구비하고 있으면서도 장치의 크기가 소형이고, 그 구성도 간단함은 물론 태블릿 크기의 변경에도 간단하게 대응할 수 있도록 된 반도체 장치의 수지밀봉용 수지태블릿공급장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been invented to solve the above-mentioned problems, and the semiconductor device is provided with a plurality of tablet stockers, and the size of the device is small, and the configuration thereof is simple, and the semiconductor device can easily cope with the change of the tablet size. Its purpose is to provide a resin tablet supply device for sealing resin.

[발명의 구성][Configuration of Invention]

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿공급장치는, 반도체장치의 수지밀봉에 사용되는 원통형에 가까운 여러개의 수지태블릿을 가로방향으로 겹쳐 쌓인 형태로 해서 받아들이고, 하단에는 태블릿인출구를 갖추고 있으며, 위치가 고정된 상태로 설치된 여러개의 태블릿 스톡커와; 이 각 태블릿 스톡커 대응되게 설치되어 상기 각 태블릿 스톡커안의 상기 태블릿을 한개씩 낙하시켜 빼내는 태블릿인출기구; 이 태블릿인출기구에 의해 한개씩 빼낸 상기 태블릿을 크기에 상관없이 탑재하여 가이드를 따라 태블릿 척크로 운반하고, 그 탑재 및 운반동작을 상기 태블릿 스톡커안의 모든 태블릿에 대해 반고한후, 다른 태블릿 스톡커에 대해서도 상기 동작을 차례로 반복하는 태블릿받침부를 갖춘 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the resin tablet supplying device for resin sealing of a semiconductor device according to the present invention receives a plurality of resin tablets close to a cylindrical shape used in the resin sealing of a semiconductor device in a stacked form in a horizontal direction, A plurality of tablet stockers having a tablet outlet and installed in a fixed position; A tablet withdrawal mechanism installed corresponding to each tablet stocker and dropping the tablet in each tablet stocker one by one; The tablets are taken out by the tablet take-out mechanism one by one regardless of size and are carried along the guides to the tablet chuck, and the loading and conveying operations are notified to all tablets in the tablet stocker, and then to other tablet stockers. Also characterized by having a tablet support for repeating the operation in turn.

(작용)(Action)

상기와 같이 구성된 본 발명에 의하면, 태블릿 스톡커는 위치가 고정된 상태로 설치되어 있고, 이들 태블릿 스톡커는 반도체장치의 수지밀봉에 사용되는 여러개의 원통형에 가까운 수지태블릿이 가로방향에서 상하고 겹쳐 쌓인 상태로 들어 있다. 이들 태블릿 스톡커의 아랫부분에 위치한 태블릿인출구에서 태블릿이 태블릿인출기구에 의해 1개씩 아래로 인출되고, 이렇게 인추된 태블릿은 그 크기에 관계없이 태블릿받침부위에 탑재되어 태블릿 척크로 반송된다. 이상의 동작은 태블릿 스톡커내의 모든 태블릿에 대해 반복되고 그후에 다른 태블릿 스톡커에 대해서도 차례로 반복된다.According to the present invention configured as described above, the tablet stocker is installed in a fixed position, these tablet stockers are a plurality of cylindrical resin tablets used in the resin sealing of the semiconductor device close up and overlapping in the horizontal direction It is stacked. The tablets are taken out one by one by the tablet taking out mechanism at the tablet outlet located at the bottom of these tablet stockers, and the tablets thus extracted are mounted on the tablet support part and returned to the tablet chuck regardless of their size. The above operation is repeated for all tablets in the tablet stocker and then in turn for other tablet stockers.

(실시예)(Example)

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 1실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

제1 및 제2도는 본 발명의 1실시예의 정면도 및 측면도이다. 이 실시예에는 태브릿 스톡커(21A,21B)의 위치를 고정시켜 놓고, 이 스톡커(21A,21B)의 어느 것으로부터 자유롭게 이동가능하도록 설치된 태블릿받침부(23)로 원통형에 가까운 수지 태블릿(22)을 한개씩 낙하시키고, 이 태블릿(22)을 받은 태블릿받침부(23)는 상기 태블릿(22)을 1개씩 태블릿 척크(24)까지 운반하여 이 태블릿 척크(24)로 넘겨주는 동작을 반복하도록 되어 있다.1 and 2 are front and side views of one embodiment of the present invention. In this embodiment, the tablet tablet 23 is fixed to the position of the tablet stockers 21A and 21B, and the tablet tablet 23 is installed to be freely movable from any of the stockers 21A and 21B. 22) drop one by one, the tablet receiving unit 23 receives the tablet 22 to carry the tablet 22 to the tablet chuck 24 one by one to repeat the operation to hand over to the tablet chuck 24. It is.

다음에 상기 실시예를 보다 구체적으로 설명한다. 즉 고정상태의 기판(27)위에 스톡커 플레이트(28 : stocker plate)가 다리(29,29,…)에 의해 받쳐진 상태로 장치되어 있다. 이 플레이트(28)에는 제1도에 나타낸 것과 같이 좌우로 뻗어있는 일직선상에 태블릿인출구(30A,30B)가 뚫려 있고 이 태블릿인출구(30A,30B)에 각통형(角筒形)의 태블릿 스톡커(21A,21B)의 하단이 삽입되어 고정되어 있는데, 이들 태블릿 스톡커(21A,21B)의 하단부분을 보강부재(31A,31B)로 보강하여 쓰러지지 않도록 하고 있다. 또한 상기의 스톡커 플레이트(28)에는 스톡커(21A,21B)의 하단에서 태블릿(22)을 1개씩 인출하기 위한 태블릿인출기구(32A,32B)가 설치되어 있고, 이 태블릿인출기구(32A,32B)에는 태블릿 스토퍼(tablet stopper ; 33A,33B)및 스토퍼기구용 실린더(34A,34B)가 구비되어 있다. 단, 제1도네는 스터퍼구동용 실린더(34A)의 도시가 생략되어 있다. 상기한 태블릿인출기구(32A,32B)는 서로 동일한 구성을 하고 있으므로 그중 태블릿인출기구(32B)에 대해서만 설명하기로 한다. 태블릿인출기구(32B)의 태블릿 스토퍼(33B)는 거의 L형의 스토퍼본체(35)를 구비하고 있는데, 이 스토퍼본체(35)의 한쪽 단부가 핀(36)에 의해 회전가능하게 부착되어 있다.Next, the above embodiment will be described in more detail. That is, a stocker plate 28 is mounted on the substrate 27 in a fixed state, supported by the legs 29, 29,... The tablet 28 has tablet outlets 30A and 30B formed in a straight line extending from side to side as shown in FIG. 1, and the tablet stocker of the square shape is formed in the tablet outlets 30A and 30B. Lower ends of 21A and 21B are inserted and fixed, but lower ends of these tablet stockers 21A and 21B are reinforced with reinforcing members 31A and 31B to prevent them from falling. Further, the stocker plate 28 is provided with tablet taking-out mechanisms 32A, 32B for taking out the tablets 22 one by one from the lower ends of the stockers 21A, 21B, and the tablet taking-out mechanisms 32A, 32B is provided with tablet stoppers 33A and 33B and cylinders 34A and 34B for the stopper mechanism. However, the illustration of the stuffer drive cylinder 34A is omitted in the first one. Since the tablet taking-out mechanisms 32A and 32B have the same configuration, only the tablet taking-out mechanism 32B will be described. The tablet stopper 33B of the tablet taking-out mechanism 32B includes an almost L-shaped stopper body 35, and one end of the stopper body 35 is rotatably attached by the pin 36. As shown in FIG.

또한 실린더(34B)의 실린더본체(39)가 플레이트(28)의 아랫면에 매달린 상태로 고정되어 있고, 로드(40;lod)의 선단에 거의 U자형 아암(40a)이 스토퍼본체(35)와 서로 회전가능하도록 핀(41)에 위해 연결되어 있으므로 로드(40)의 신축에 의해 스토퍼본체(35)는 핀(36)의 주위를 회전하게 된다. 즉 스토퍼본체(35)는 제1도에 나타낸 바와 같이 태블릿(22)의 낙하를 저지하는 위치와 핀(36)의 주위를 반시계방향으로 회전하여 태블릿(22)을 낙하시키도록 하는 위치[제3도(C)참조]를 취할 수 있도록 되어 있다. 태블릿 스톡커(21A,21B)의 아랫족에는 태블릿(22)을 태블릿 처크(24)까지 운반하는 태블릿받침부(23)가 설치되어 있다.In addition, the cylinder body 39 of the cylinder 34B is fixed in a state suspended from the lower surface of the plate 28, and the U-shaped arm 40a is almost at the tip of the rod 40 with the stopper body 35. Since it is connected to the pin 41 so as to be rotatable, the stopper body 35 rotates around the pin 36 by the expansion and contraction of the rod 40. In other words, as shown in FIG. 1, the stopper body 35 stops the tablet 22 from falling down and rotates the circumference of the pin 36 counterclockwise to cause the tablet 22 to fall. 3 degree (C) reference] can be taken. The tablet support part 23 which carries the tablet 22 to the tablet chuck 24 is provided in the lower | lower foot of the tablet stocker 21A, 21B.

상기 태블릿받침부(23)는 가로방향으로 된 원통형 태블릿(22)의 주측면(周側面)을 안정하게 받아들이기 위해 횡단면이 V자형인 홈(23a)을 갖추고 있는데, 이 태블릿받침부(23)는 상기 홈(23a)위에 태블릿(22)이 탑재된 상태인가 아닌가를 검출하기 위한 광학형 태블릿 유무검출센서(43)를 갖추고 있다. 이 센서(43)는 서로 마주보는 발광부와 수광부를 구비하고 있는데, 이 발광부와 수광부의 사이가 검지편(43a;檢知片)에 의해 차단 및 도통되어 온·오프(ON·OFF)가 절환된다. 이 검지편(43a)은 회전이 가능하도록 중앙부분에 핀(43b)으로 지탱되어 있다. 특히 제3도(A)에서 알 수 있듯이 태블릿(22)이 태블릿받침부(23)위에 없는 경우에는 제3도(A)에 점선으로 나타낸 것과 같이 검지편(43a)의 오른쪽이 자기 무게에 의해 밑으로 움직인 상태로 되고 이에 따라 상기 발광부와 수광부 사이가 도통되어 센서(43)가 오프되지만, 태블릿(22)이 태블릿받침부(23)에 탑재된 경우에는 특히 제3도(B)에서 알 수 있듯이 검지편(43a)의 좌단이 태블릿(22)에 의해서 눌러내려져서 핀(43b)의 주위를 회전하게 되어 점차 수평상태로 됨에 따라 검지편(43a)의 우단이 상기 발광부와 수광부 사이를 차단해서 센서(43)를 온 상태로 만들고 이에 따라 이 센서(43)로부터 태블릿검지신호가 출력되도록 구성되어 있다.The tablet support 23 has a V-shaped groove 23a having a cross-section in order to stably receive the main side surface of the cylindrical tablet 22 in a horizontal direction. Is equipped with an optical tablet presence detection sensor 43 for detecting whether or not the tablet 22 is mounted on the groove (23a). The sensor 43 has a light emitting portion and a light receiving portion facing each other, and the light emitting portion and the light receiving portion are blocked and conducted by the detection piece 43a (檢 知 片) to turn on and off. It is switched. This detection piece 43a is supported by the pin 43b in the center part so that rotation is possible. In particular, as shown in FIG. 3A, when the tablet 22 is not on the tablet support 23, the right side of the detection piece 43a is caused by its own weight as indicated by the dotted line in FIG. 3A. The sensor 43 is turned off due to the state where the light emitting part and the light receiving part are turned on, but the tablet 22 is mounted on the tablet support part 23, in particular, in FIG. As can be seen, the left end of the detection piece 43a is pushed down by the tablet 22 to rotate around the pin 43b and gradually becomes horizontal, so that the right end of the detection piece 43a is between the light emitting part and the light receiving part. It is configured to block the sensor 43 to the on state, and thereby output the tablet detection signal from the sensor 43.

이와 같이 구성된 태블릿 받침부(23)는 제1도에 있어서 상하좌우방향으로 이동가능하게 구성되어 있다. 즉 기판(27)의 아랫면에 수평구동용모터(44) 및 한쌍의 지지판(45,46)이 장치되어 있는데, 이 모터(44)에 의해 바퀴(45a)가 회전된다. 이 바퀴(45a)와 지지판(46)에 의해 자유회전이 가능하도록 지지된 바퀴(45b)와의 사이에 벨트(47)가 걸려 있는데, 이 벨트(47)는 바퀴(45a)의 회전에 의해 수평으로 왕복이동한다. 이 밸트(47)의 동작과 동시에 태블릿받침부 지지체(48)가 지지판(45,46)사이에 걸쳐 있는 수평이동형 가이드(49)에 의해 안내되어 수평이동한다. 이태블릿받침부 지지체(48)를 소정의 3개의 위치, 즉 태블릿 척크(24)의 아랫쪽인 제1이치와 태블릿 스톡커(21A)의 아랫쪽인 제2위치 및 태블릿 스톡커(21B)의 아랫쪽인 제3위치에 각각 정지시키기 위해 이들 각 위치에서 수평위치결정센서(51A~51C)를 기판(27)에 대해서 고정시키고 있는데, 이 수평위치 결정센서(51A~51C)는 상기 태블릿 유무검출센서(43)와 같이 광학형 센서로 구성된 것으로서 제2도에 나타낸 것과 같이 홈(51a)을 갖추고 있다. 태블릿받침부 지지체(48)의 수평운동에 의해 이 태블릿받침부 지지체(48)의 뒷면측에 고정되어 있는 위치결정판(52)이 상기의 센서[51A(51B,52C)]의 홈(51a)의 안쪽으로 들어오면 발광부(51b)와 수광부(51c)사이가 차단되어 센서[51A(51B,51C)]가 작동되고 제1~제3의 위치검출신호가 출력되는데, 이들 위치검출신호에 기초해서 수평구동용 모터(44)의 회전이 제어장치(50)에 의해 제어되고, 태블릿받침부 지지체(48)는 상기 제1~제3위치중 어느 한곳의 위치에 정지하게 된다.The tablet support 23 constructed as described above is configured to be movable in the up, down, left and right directions in FIG. 1. That is, the horizontal drive motor 44 and a pair of support plates 45 and 46 are installed on the lower surface of the substrate 27, and the wheels 45a are rotated by the motor 44. The belt 47 is hung between the wheel 45a and the wheel 45b supported by the support plate 46 to allow free rotation. The belt 47 is horizontally rotated by the rotation of the wheel 45a. Go back and forth. Simultaneously with the operation of the belt 47, the tablet support part supporter 48 is guided and moved horizontally by the horizontally movable guide 49 interposed between the support plates 45 and 46. The support base 48 is provided at three predetermined positions, namely, the first position at the bottom of the tablet chuck 24 and the second position at the bottom of the tablet stocker 21A and the bottom of the tablet stocker 21B. The horizontal positioning sensors 51A to 51C are fixed to the substrate 27 at the respective positions to stop at the third positions. The horizontal positioning sensors 51A to 51C are the tablet presence detection sensors 43. As shown in FIG. 2, the groove 51a is provided as an optical sensor. The positioning plate 52 which is fixed to the rear side of the tablet supporter support 48 by the horizontal movement of the tablet supporter support 48 is formed in the groove 51a of the sensor 51A (51B, 52C). When it enters inward, the area between the light emitting part 51b and the light receiving part 51c is cut off, the sensor 51A (51B, 51C) is activated, and the 1st-3rd position detection signals are output, based on these position detection signals, Rotation of the horizontal drive motor 44 is controlled by the controller 50, the tablet support portion support 48 is stopped at any one of the first to third positions.

예컨대, 태블릿받침부 지지체(48)를 제1도에 나타낸 제1위치에서 태블릿 스톡커(21B) 아래의 제3위치로 이동시킬 때는 제어장치(50)로부터의 신호에 의해서 모터(44)가 회전되어 태블릿받침부 지지체(48)가 오른쪽으로 이동하게 된다.이어서 센서(51C)가 작동되고 제3의 위치검출신호가 출력되어 제어장치(50)로 전해지며 이에 따라 제어장치(50)가 모터(44)를 정지시킴에 따라 태블릿받침부 지지체(48)는 스톡커(21B)아래의 제3위치에 정지하게 된다.For example, when the tablet holder support 48 is moved from the first position shown in FIG. 1 to the third position below the tablet stocker 21B, the motor 44 rotates by a signal from the controller 50. Then, the tablet support unit 48 moves to the right. Then, the sensor 51C is operated and a third position detection signal is output and transmitted to the control device 50. Accordingly, the control device 50 transmits the motor ( As the 44 is stopped, the tablet support 48 is stopped at the third position below the stocker 21B.

또 상기 태블릿받침부 지지체(48)는 태블릿받침부(23)를 지탱하는 로드(rod;54)를 상하로 진동가능하도록 지지하고 있다. 태블릿받침부(23)의 상하구동은 태블릿받침부 지지체(48)가 부착되어 있는 상하구동용 실린더(55)에 의해 행하여진다. 즉 이 실린더(55)의 실린더본체(56)가 태블릿받침부 지지체(48)에 설치되어 있고 로드(57)가 태블릿받침부(23)에 설치되어 있어서 실린더(55)의 로드(57)의 신축에 의해 태블릿받침부(23)가 상하이동을 하게 되며 이 태블릿받침부(23)를 소정의 2개 위치, 즉 상한위치[제3도 (B)참조]및 하한위치[제3도(E)참조]에 각각 정지시키기 위해 자기동작형 리드스위치(磁氣動作形 lead switch)등과 같은 상한 위치센서 및 하한위치센서(도시하지 않음)가 실린더(55)의 밖같쪽에 설치되어 있다. 또한 태블릿받침부(23)가 상한위치에서 하한위치로 강하할 때 결정된 위치, 즉 상한위치에서 태블릿의 지름 D만큼 내려간 위치를 통과할 때의 타이밍을 알기 위해 위치검출센서(59)가 설치되어 있는데, 이 센서(59)는 상기 수평방향위치결정센서(51A,51B,51C)와 같은 것으로 자기센서로 구성되어 있고 제1도에 나타낸 바와 같이 상하방향으로 뻗어 있는 홈(59a)를 갖추고 있는데 이 홈(59a)의 안쪽으로 태브릿받침부(23)의 뒷면에 장치되어 있는 자성체의 위치결정편(61)이 태블릿받침부(23)의 상하운동에 의해서 들어옴에 따라 수광부와 발광부사이가 차단되어 상기 센서(59)는 중간위치검출신호를 출력하게 된다.In addition, the tablet supporter 48 supports the rod 54 supporting the tablet support 23 so as to be vibrated up and down. Up-and-down driving of the tablet support part 23 is performed by the up-and-down drive cylinder 55 with the tablet support part support body 48 attached. That is, the cylinder body 56 of this cylinder 55 is installed in the tablet support part support 48 and the rod 57 is installed in the tablet support part 23, and the expansion and contraction of the rod 57 of the cylinder 55 is carried out. The tablet holding unit 23 is moved to Shanghai East by means of two predetermined positions, namely the upper limit position (see FIG. 3B) and the lower limit position [FIG. 3E]. In order to stop, respectively, an upper limit position sensor and a lower limit position sensor (not shown) such as a magnetically operated lead switch or the like are provided outside the cylinder 55. In addition, the position detecting sensor 59 is installed in order to know the timing when the tablet base 23 passes the position determined when the tablet descends from the upper limit position to the lower limit position, that is, the position lowered by the diameter D of the tablet from the upper limit position. This sensor 59 is the same as the horizontal positioning sensors 51A, 51B and 51C, and is composed of a magnetic sensor and has a groove 59a extending in the vertical direction as shown in FIG. As the positioning piece 61 of the magnetic material provided on the back of the tablet support part 23 enters the inside of the 59a by the vertical movement of the tablet support part 23, the light receiving part and the light emitting part are blocked. The sensor 59 outputs the intermediate position detection signal.

상기 상한 및 하한위치센서로부터 출력된 신호가 제어장치(50)로 전해짐에 따라 실린더(55)의 움직임이 제어되어 태블릿받침부(23)는 위로 움직일 경우에는 상한위치에, 아래로 움직일 경우에는 하한위치에 각각 정지하게 된다.As the signal output from the upper and lower limit position sensors are transmitted to the control device 50, the movement of the cylinder 55 is controlled so that the tablet support 23 moves to the upper limit position when moving up and the lower limit when moving down. Stop at each position.

또 후술하는 바와 같이 태블릿받침부(23)가 아래로 움직일 경우에는 센서(59)의 신호에 의해 실린더본체(39)가 제어되고, 스토퍼본체(32)가 열린 상태에서 닻힌 상태로 전환된다[제3도(D) 참조].As described later, when the tablet support 23 moves downward, the cylinder body 39 is controlled by the signal of the sensor 59, and the stopper body 32 is switched to the anchored state when the stopper body 32 is opened. 3 (D)].

또한 상기 태브릿 척크(24)는 태블릿받침부(23)로부터 운반되어진 태블릿(22)을 사이에 끼운 2개의 아암(24a)을 갖추고 있는데, 이들 아암(24a)은 개폐동작을 하겠끔 구성되어 있다. 상기 태블릿척크(24)는 태블릿받침부(23)위의 태블릿(22)을 집어서 다음 공정의 장치 또는 금형포트(pot)로 태블릿(22)을 보내는 역할을 한다.In addition, the tablet chuck 24 has two arms 24a sandwiched between the tablets 22 carried from the tablet support 23, and these arms 24a are configured to open and close. . The tablet chuck 24 serves to pick up the tablet 22 on the tablet support 23 and send the tablet 22 to the apparatus or mold pot of the next process.

다음에 상기와 같이 구성한 장치의 동작을 설명한다.Next, the operation of the apparatus configured as described above will be described.

우선, 수평구동을 모터(44)에 의해 태블릿받침부(48)가 태블릿 스톡커(21A)의 아래에 위치되도록 한다. 이 상태에서 실린더(55)에 의해 태블릿받침부(23)를 상한위치까지 이동시키고, 그후 태블릿 받침부(23)를 다시 하한위치까지 이동시킨다. 실린더(55)에 태블릿받침부(23)가 하한위치로 이동되는 도중에 스토퍼(33A,33B)가 개폐동작을 행하여 태블릿받침부(23)위에 태블릿(22)이 1개 실려있는 상태로 하한 위치에 도달하게 된다. 그후 태블릿받침부(22)를 태블릿 척크(24)의 아랫쪽으로 이동시킨다. 이 태블릿 척크(24)는 태블릿받침부(23)위의 태블릿(22)을 집어서 다음공정의 장치로 운반하는 동작을 반복하고, 태블릿 스톡커(21A)의 태블릿(22)이 전부 없어지게 되면 태블릿 스톡커(21B)의 태블릿(22)에 대해서 상기 동작을 반복하게 된다.First, the horizontal drive is such that the tablet support 48 is positioned below the tablet stocker 21A by the motor 44. In this state, the tablet support part 23 is moved to the upper limit position by the cylinder 55, and the tablet support part 23 is moved to the lower limit position after that. The stoppers 33A and 33B perform opening and closing operations while the tablet support 23 is moved to the lower limit position on the cylinder 55, and one tablet 22 is mounted on the tablet support 23 at the lower limit position. Will be reached. The tablet holder 22 is then moved to the bottom of the tablet chuck 24. The tablet chuck 24 repeats the operation of picking up the tablet 22 on the tablet support 23 and transporting it to the apparatus of the next process, and when the tablet 22 of the tablet stocker 21A disappears, The above operation is repeated for the tablet 22 of the tablet stocker 21B.

다음에 태블릿(22)이 태블릿 스톡커(21A,21B)로부터 태블릿 척크(24)까지 운반되는 동작에 관해서 제3도(A) 내지 제3도(E)를 참조해서 상세하게 설명한다.Next, the operation of conveying the tablet 22 from the tablet stockers 21A and 21B to the tablet chuck 24 will be described in detail with reference to FIGS. 3A to 3E.

제3도(A)는 태블릿받침부(23)가 태블릿(22)을 태블릿 척크(24)로 전해준 뒤 스톡커(21A)로 되돌아가기 직전의 상태를 나타내고 있다. 제3도(A)에 나타낸 바와 같이 센서(43)에 의해서 태블릿(22)이 운반되었음이 검출되고, 태블릿 받침부(23)는 도면상에서 오른쪽으로 이동하여 태블릿 스톡커(21A)의 아랫쪽 제2위치에 닿게 되면 위로 이동해서 상한 위치에 도달하게 된다[제3도(B)참조].FIG. 3A illustrates the state immediately before the tablet holder 23 delivers the tablet 22 to the tablet chuck 24 and immediately returns to the stocker 21A. As shown in FIG. 3 (A), it is detected that the sensor 22 has been transported by the sensor 43, and the tablet support 23 moves to the right in the drawing, so that the lower second of the tablet stocker 21A is located. When it reaches the position, it moves upward to reach the upper limit position (see Fig. 3 (B)).

이 상태에서 태블릿 받침부(23)의 홈(23a)안에 최하단의 태블릿(22)의 아랫면이 닿게 되면 검출편(43a)이 수평해져 센서(43)가 동작하게 된다. 즉 이 센서(43)에 의해 태블릿(22)의 존재가 검출된다. 상기 센서(43)로 부터의 신호가 제어장치(50)로 전해짐으로써 스토퍼본체(35)가 핀(36)의 주위를 반시계방향으로 회전하여 개방된다. 이에 따라 상기 최하단의 태블릿(22)의 지지가 풀어지고 모든 태블릿(22,22,…)의 강하가 허용된 상태로 된다[제3도(C)].In this state, when the bottom surface of the tablet 22 at the lowermost level touches the groove 23a of the tablet support 23, the detection piece 43a is horizontal and the sensor 43 operates. That is, the presence of the tablet 22 is detected by this sensor 43. The signal from the sensor 43 is transmitted to the control device 50 so that the stopper body 35 is rotated counterclockwise around the pin 36 to open. As a result, the support of the lowermost tablet 22 is released and all the tablets 22, 22, ... are allowed to fall (FIG. 3C).

이 상태에서 태블릿받침부(23)가 강하를 개시하게 되고 이 태블릿받침부(23)와 함께 모든 태블릿(22,22,…)이 강하게 된다. 아래에서 두번째의 태블릿(22)이 제3도(A)의 최하단의 태블릿(22)의 위치까지 하강하면[제3도(D)]센서(59)가 작동되어 스토퍼(35)는 시계방향으로 회전하여 닫히게 된다. 이에 따라 아래에서 두번째의 태블릿(22)은 스토퍼본체(35)에 의해 지지되고 이것보다 위에 있는 태블릿(22)은 강하가 저지된다. 이후에도 태블릿 받침부(23)는 강하하여 하한위치에까지 도달한다[제3도(E)참조].In this state, the tablet holder 23 starts to drop, and together with the tablet holder 23, all the tablets 22, 22, ... are strong. When the second tablet 22 descends to the position of the lowermost tablet 22 in FIG. 3A (FIG. 3D), the sensor 59 is activated to stop the stopper 35 clockwise. It will rotate and close. Accordingly, the second tablet 22 from below is supported by the stopper body 35 and the tablet 22 above it is prevented from falling. After that, the tablet support 23 descends and reaches the lower limit position (see FIG. 3E).

이후 태블릿 받침부(23)는 도면상에서 왼쪽으로 이동하여 제3도(A)의 상태로 되돌아가게 된다. 태블릿 받침부(23)위의 태블릿(22)은 태블릿 척크(24)로 운반되며 이상의 동작이 반복된다.After that, the tablet support 23 moves to the left in the drawing and returns to the state of FIG. 3A. The tablet 22 on the tablet support 23 is transported to the tablet chuck 24 and the above operations are repeated.

본 발명의 실시예에 의하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 즉 태블릿(22)을 태블릿 스톡커(21A,21B)의 아랫부분으로부터 태블릿받침부(23)로 빼내고 그 태블릿받침부(23)에서 태블릿(22)을 태블릿 척크(24)까지 운반하는 기구이므로 태블릿 스톡커(21A,21B)를 이동시킬 필요가 없고 이 이동으로 인한 기구아 영역도 불필요하게 된다. 또 상기와 같이 태블릿 스톡커(21A,21B)를 효율적으로 설치할 수 있으므로 장치의 소형화와 기구의 간략화 및 비용의 절감을 대폭적으로 꾀할 수 있다. 또한 태블릿받침부(23)가 이동되기 때문에 태블릿 척크(24)의 위치에 의한 제한이 작아지고 장치영역을 효율적으로 이용할 수 있으므로 장치를 소형화할 수 있게된다. 또 태블릿 받침부(23) 구조를 태블릿(22)의 크기에 대해서 변환가능하도록 함으로써 태블릿(22)의 크기가 변하여도 그에 따라서 태블릿 받침부(23)나 태블릿 척크(24)의 부품이나 부품에 따른 재료의 조정 혹은 교환이 필요없으므로 효율적이다.According to the embodiment of the present invention, the following effects can be obtained. In other words, the tablet 22 is removed from the lower part of the tablet stockers 21A and 21B to the tablet support part 23 and the tablet support part 23 carries the tablet 22 to the tablet chuck 24. It is not necessary to move the stockers 21A and 21B, and the mechanism child area due to this movement is also unnecessary. In addition, since the tablet stockers 21A and 21B can be efficiently installed as described above, it is possible to greatly reduce the size of the apparatus, simplify the mechanism, and reduce the cost. In addition, since the tablet support 23 is moved, the restriction by the position of the tablet chuck 24 is reduced and the device area can be efficiently used, thereby miniaturizing the device. In addition, by changing the structure of the tablet support 23 to the size of the tablet 22, even if the size of the tablet 22 is changed according to the parts or parts of the tablet support 23 or tablet chuck 24 accordingly Efficient because no material adjustment or exchange is required.

한편 특허청구의 범위의 각 구성요소에 병기한 도면에 대응하는 참조부호는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것일 뿐, 본 발명의 기술적 범위를 도면에 나타낸 실시예에 한정할 의도로 병기한 것은 아니다.On the other hand, the reference numerals corresponding to the drawings written in the constituent elements of the claims are for the purpose of facilitating the understanding of the present invention. no.

[발명의 효과][Effects of the Invention]

본 발명에 따르면 여러개의 태블릿 스톡커를 고정시켜 설치하여 태블릿 스톡커로부터 태블릿을 받는 태블릿받침부가 가이드를 따라서 이동가능하게 하였으므로 태블릿 스톡커를 회전가능하게 한 경우에 비해서 기구를 소형화할 수 있으며, 또한 태블릿 받침부를 태블릿의 크기에 관계없이 동작가능하게 함으로써 태블릿의 크기가 변한 경우에도 장치의 동작을 멈추고 각 부분을 조정하지 않고도 동작시킬 수 있게 된다.According to the present invention, since the tablet supporting part receiving the tablet from the tablet stocker is movable along the guide by fixing and installing a plurality of tablet stockers, the apparatus can be miniaturized as compared with the case where the tablet stocker is rotatable. By allowing the tablet stand to be operated regardless of the size of the tablet, even when the size of the tablet is changed, it is possible to operate the device without stopping the operation and adjusting each part.

Claims (1)

반도체장치의 수지밀봉에 사용되는 원통형에 가까운 여러개의 수지 태블릿(22)을 가로방향으로 겹쳐 쌓인 형태로 해서 받아들이고, 하단에는 태블릿인출구(30A,30B)를 갖추고 있으며, 위치가 고정된 상태로 설치된 여러개의 태블릿 스톡커(21A,21B)와; 이 각 태블릿 스톡커(21A,21B)에 대응되게 설치되어 상기 각 태블릿스톡커(21A,21B)안의 상기 태블릿(22)을 한개씩 낙하시켜 빼내는 태블릿인출기구(32A,32B); 이 태블릿인출기구(32A,32B)에 의해 한개씩 빼낸 상기 태블릿(22)을 크기에 상관없이 탑재하여 가이드를 따라 태블릿 척크(24)로 운반하고, 그 탑재 및 운반동작을 상기 태블릿 스톡커(21A,21B)안의 모든 태블릿(22)에 대해 반복한후, 다른 태블릿 스톡커에 대해서도 상기 동작을 차례로 반복하는 태블릿받침부(23)를 갖춘 것을 특징으로 하는 반도체장치의 수지밀봉을 수지태블릿공급장치.A plurality of resin tablets 22, which are close to a cylinder, used for resin sealing of semiconductor devices are stacked in a horizontal direction, and the tablet outlets 30A and 30B are provided at the bottom thereof. Tablet stockers 21A, 21B; Tablet taking-out mechanisms 32A and 32B installed corresponding to the tablet stockers 21A and 21B and dropping the tablets 22 in the tablet stockers 21A and 21B one by one; The tablets 22 removed by the tablet taking-out mechanisms 32A and 32B are mounted regardless of their size, and are transported to the tablet chuck 24 along a guide, and the loading and carrying operations are carried out by the tablet stockers 21A, 21. A resin tablet supply device for sealing a resin in a semiconductor device, comprising a tablet support 23 for repeating the above operations for other tablet stockers after repeating all the tablets 22 in 21B).
KR1019890013913A 1988-09-27 1989-09-27 Apparatus for supplying resin tablets for use in encapsulating semiconductor device KR960009981B1 (en)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP88-242032 1988-09-27
JP63242032A JPH0618219B2 (en) 1988-09-27 1988-09-27 Resin tablet supply device for resin encapsulation of semiconductor devices
JP63-242032 1988-09-27

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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1237307B (en) * 1989-11-30 1993-05-27 Prima Ind Spa SHEET MATERIALS TRANSFER DEVICE.
JP3293004B2 (en) * 1993-08-31 2002-06-17 コニカ株式会社 Photosensitive material processing equipment
US5634764A (en) * 1994-08-12 1997-06-03 Replogle; Charles R. Workpiece placement system and method having a vacuum holding the workpiece
US5925384A (en) * 1997-04-25 1999-07-20 Micron Technology, Inc. Manual pellet loader for Boschman automolds
TW509615B (en) * 2000-04-21 2002-11-11 Apic Yamada Corp Resin molding machine and resin tablet feeding machine
ES2742148T3 (en) * 2015-07-18 2020-02-13 Hoefliger Harro Verpackung Procedure and device for the separation and transfer of granules
EP3205601A1 (en) * 2016-02-11 2017-08-16 The Procter and Gamble Company Packaged product
JOP20190030A1 (en) * 2017-06-14 2019-02-26 Grow Solutions Tech Llc Precision seeder heads and seeder components that include precision seeder heads
JP6861776B1 (en) * 2019-10-24 2021-04-21 Ｔｏｗａ株式会社 Resin supply mechanism, resin molding equipment and manufacturing method of resin molded products
US20220392295A1 (en) * 2020-10-14 2022-12-08 Barbara Coatney Medication Dispensing Systems and Methods

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1278771B (en) * 1963-02-06 1968-09-26 Seitz Automaten Ges Mit Beschr Coin release device for self-sellers
US3300090A (en) * 1965-03-24 1967-01-24 Carden Columbus Heard Tablet and capsule dispenser
BE758569A (en) * 1969-11-06 1971-05-06 Westinghouse Electric Corp DISTRIBUTION GATE FOR AUTOMATIC DISTRIBUTORS WITH INCLINED SHELF
GB2111033B (en) * 1981-10-31 1985-09-11 Tdk Electronics Co Ltd Electronic component selection and supply apparatus
US4623293A (en) * 1985-02-08 1986-11-18 Amp Incorporated Apparatus for orientating elongate bodies
JPS6288703A (en) * 1985-10-11 1987-04-23 Hitachi Electronics Eng Co Ltd Magazine detecting device of unloader
JPS6351216A (en) * 1986-08-22 1988-03-04 Nippei Toyama Corp Intermediate stocker for conveyance
US4739872A (en) * 1987-03-05 1988-04-26 Amsted Industries Incorporated Automated parts handling apparatus
US4809881A (en) * 1987-04-16 1989-03-07 Total Tote, Inc. Bin dispensing machine

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