KR950015464A - 노광장치의 고압수은 램프 냉각방법 - Google Patents

노광장치의 고압수은 램프 냉각방법 Download PDF

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KR950015464A KR1019930026185A KR930026185A KR950015464A KR 950015464 A KR950015464 A KR 950015464A KR 1019930026185 A KR1019930026185 A KR 1019930026185A KR 930026185 A KR930026185 A KR 930026185A KR 950015464 A KR950015464 A KR 950015464A
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KR1019930026185A
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김봉철
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엄길용
오리온전기 주식회사
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

본 발명은 노광장치의 신규한 고압수은램프 냉각방법을 개시한다. 종래에는 고압수은램프를 냉각수를 이용하여 냉가하였으므로 렌즈의 냉각을 위해 별도의 냉각수단을 구비해야 할 뿐아니라 냉각에 따른 에너지의 소모량이 많은 문제가 있었다. 본 발명에서는 냉각공기를 이용하여 고압수은램프를 냉각함으로써 렌즈를 함께 냉각할 수 있도록 하였으며, 에너지의 소모량을 최대한 줄일 수 있도록 하였다.

Description

노광장치의 고압수은 램프 냉각방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 일반적인 노광장치의 구성을 개략적으로 보이는 단면도,
제2도는 제1도의 노광장치에 사용될 수 있는 본 발명 광원부를 도시한 사시도이다.

Claims (2)

  1. 램프하우스의 커버글래스 내에 설치되어 복수의 렌즈에 빛을 조사하는 노광장치의 고압수은램프 냉각방법에 있어서, 상기 커버글래스(2)내에 소정온도의 냉각공기를 지속적으로 공급하여 고압수은램프(3)를 냉각하는 것을 특징으로 하는 노광장치의 고압수은램프 냉각방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 커버글래스(2)를 통해 배출되는 상기 냉각공기로 상기 복수의 렌즈(Lw,Lm)를 냉각시키는 것을 특징으로 하는 노광장치의 고압수은램프 냉각방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930026185A 1993-11-30 1993-11-30 노광장치의 고압수은 램프 냉각방법 KR950015464A (ko)

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