KR950015464A - 노광장치의 고압수은 램프 냉각방법 - Google Patents
노광장치의 고압수은 램프 냉각방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR950015464A KR950015464A KR1019930026185A KR930026185A KR950015464A KR 950015464 A KR950015464 A KR 950015464A KR 1019930026185 A KR1019930026185 A KR 1019930026185A KR 930026185 A KR930026185 A KR 930026185A KR 950015464 A KR950015464 A KR 950015464A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cooling
- pressure mercury
- mercury lamp
- high pressure
- exposure apparatus
- Prior art date
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
본 발명은 노광장치의 신규한 고압수은램프 냉각방법을 개시한다. 종래에는 고압수은램프를 냉각수를 이용하여 냉가하였으므로 렌즈의 냉각을 위해 별도의 냉각수단을 구비해야 할 뿐아니라 냉각에 따른 에너지의 소모량이 많은 문제가 있었다. 본 발명에서는 냉각공기를 이용하여 고압수은램프를 냉각함으로써 렌즈를 함께 냉각할 수 있도록 하였으며, 에너지의 소모량을 최대한 줄일 수 있도록 하였다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 일반적인 노광장치의 구성을 개략적으로 보이는 단면도,
제2도는 제1도의 노광장치에 사용될 수 있는 본 발명 광원부를 도시한 사시도이다.
Claims (2)
- 램프하우스의 커버글래스 내에 설치되어 복수의 렌즈에 빛을 조사하는 노광장치의 고압수은램프 냉각방법에 있어서, 상기 커버글래스(2)내에 소정온도의 냉각공기를 지속적으로 공급하여 고압수은램프(3)를 냉각하는 것을 특징으로 하는 노광장치의 고압수은램프 냉각방법.
- 제1항에 있어서, 상기 커버글래스(2)를 통해 배출되는 상기 냉각공기로 상기 복수의 렌즈(Lw,Lm)를 냉각시키는 것을 특징으로 하는 노광장치의 고압수은램프 냉각방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019930026185A KR950015464A (ko) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 노광장치의 고압수은 램프 냉각방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019930026185A KR950015464A (ko) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 노광장치의 고압수은 램프 냉각방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR950015464A true KR950015464A (ko) | 1995-06-16 |
Family
ID=66825690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019930026185A KR950015464A (ko) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 노광장치의 고압수은 램프 냉각방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR950015464A (ko) |
-
1993
- 1993-11-30 KR KR1019930026185A patent/KR950015464A/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ITMI20021625A1 (it) | Proiettore luminoso con mezzi per delimitare perimetralmente il fascio di luce emessa | |
JPS5282246A (en) | Light source device | |
DE69513654T2 (de) | Unterwasserleuchte | |
SE7712490L (sv) | Sett och anordning for herdning av beleggningsmaterial | |
ES2141821T3 (es) | Metodo y aparato para la iluminacion y visualizacion de una superficie empleando diodos electroluminiscentes. | |
ES2154893T3 (es) | Portador de mecha para lamparillas. | |
ATE347070T1 (de) | Operationslampe mit verbesserter kühlung | |
DE50313543D1 (de) | Absorberelement für solare Hochtemperatur-Wärmegewinnung und Verfahren zu dessen Herstellung | |
SE8203403L (sv) | Ljusanordning, serskilt for signalering vid bilar | |
ATE343089T1 (de) | Licht emittierende einrichtung, insbesondere leuchte oder laterne | |
ATE200146T1 (de) | Strahler mit langgestrecktem reflektor | |
KR900700836A (ko) | 열간로내 관찰장치 | |
KR950015464A (ko) | 노광장치의 고압수은 램프 냉각방법 | |
FR2377662A1 (fr) | Regulateur de flux lumineux | |
DE3861405D1 (de) | Anordnung zum richten von licht, insbesondere fuer fotografische zwecke. | |
ES2070349T3 (es) | Lampara. | |
ITMI20021626A1 (it) | Gruppo di illuminazione con lampade a scarica particolarmente per proiettori luminosi e simili | |
ATE78677T1 (de) | Spaltlampengeraet mit umfeldbeleuchtung. | |
KR970076096A (ko) | 냉매 이용 노광 방법 및 그 장치 | |
JPS52100775A (en) | Fluorescent lamp | |
SE9201853D0 (sv) | Anordning vid lykta | |
JPS5646263A (en) | Original lighting device of electronic copying machine | |
KR920007032A (ko) | 칼라브라운관의 노광장치 | |
GB941160A (en) | Illuminating systems for projectors | |
JPS56109332A (en) | Contact printer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |