KR950009250Y1 - Exposure cutting control circuit - Google Patents
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
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Abstract
내용 없음.No content.
Description
제 1 도는 일반적인 노광 장비의 외형도.1 is an external view of a general exposure equipment.
제 2 도는 노광장치와 관련된 부분의 개략도.2 is a schematic representation of a portion associated with an exposure apparatus.
제 3 도는 본 고안의 노광램프 소등시 노광차단 제어회로도.3 is an exposure blocking control circuit diagram when the exposure lamp is turned off.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 마스크 체인저 2 : 얼라인먼트 스코프1: mask changer 2: alignment scope
3 : 조명계 4 : 마스크 스테이지3: illumination system 4: mask stage
5 : 티브이 모니터 6 : 제어박스5: TV monitor 6: Control box
7 : 램프진력공급정치 8 : 램프 하우징(housing)7: Lamp power supply politics 8: Lamp housing
8' : 노광램프 9 : 전면 조작판8 ': Exposure lamp 9: Front operation panel
I10 : 반전기 SCR10 : 실리콘 제어정류소자I10: Inverter SCR10: Silicon controlled rectifier
SW10, SW11 : 스위치SW10, SW11: switch
본 고안은 램프를 사용하여 웨이퍼를 노광시키는 장비에 있어서 램프가 소등된 상태에서 웨이퍼를 노광하는 것을 방지하는 것에 관한 것으로, 특히 램프로부터 방사되는 빛의 유무를 감지하여 예기치 않은 소등으로 인한 장비의 오동작을 제거하는데 적당하도록 한 노광램프 소등시 노광차단 제어회로에 관한 것이다.The present invention relates to preventing the exposure of the wafer when the lamp is turned off in the equipment for exposing the wafer using a lamp, and in particular, malfunction of the equipment due to unexpected lighting by detecting the presence of light emitted from the lamp. The invention relates to an exposure interruption control circuit when an exposure lamp is turned off so as to be suitable for removing the light.
웨이퍼 노광장치중 엠피에이(Mirror Projection Aligner∼CANON社)의 기술구성은 제1도의 외형도와 제2도의 개괄적인 도면에서 도시한 바와 같이 램프전력공급장치(7), 조명계(3), 제어박스(6), 전면 조작판(9)등으로 구성되어 있다.Among the wafer exposure apparatus, the technology configuration of MPA (Mirror Projection Aligner-CANON) is shown in FIG. 1 as outlined in FIG. 6) and the front operation panel 9 and the like.
이러한 장치에 대하여 각 구성요소의 기능을 설명하면, 램프전력공급장치(7)는 램프(8')로부터 일정한 세기의 빛이 나오도록 램프(8')에 진력을 공급하며 조명계(3)는 램프(8')로부터 발생된 빛을 웨이퍼 노광에 적합하게 접속하여 본체(10)의 마스크와 웨이퍼(도면 피표시)에 투사한다.With respect to such a device, the function of each component will be described. The lamp power supply 7 supplies force to the lamp 8 'such that light of constant intensity is emitted from the lamp 8' and the illumination system 3 provides the lamp. The light generated from the 8 'is appropriately connected to the wafer exposure, and is projected onto the mask of the main body 10 and the wafer (not shown).
본체(10)는 마스크와 웨이퍼의 정확한 위치정렬을 위한 기구와 구동부로 구성되어 웨이퍼 노광작업을 수행한다.The main body 10 is composed of a mechanism and a drive unit for accurate alignment of the mask and the wafer to perform the wafer exposure operation.
전면 조작판(9)은 작업자가 구체적인 동작사항을 지정하는 기구이며, 제어박스(6)는 본체(10) 자체의 기본동작과 전면 조작판(9)에 설정된 값을 실행하는 명령을 보내면서 장비를 전반적으로 제어한다.The front operation panel 9 is a mechanism for the operator to specify the specific operation details, the control box 6 is the equipment while sending a command to execute the basic operation of the main body 10 itself and the value set on the front operation panel (9) Overall control.
그런데, 이와 같은 장치는 램프(8') 및 램프전력공급장치(7)와 조명계(3), 본체(10), 전면 조작판(9) 및 제어박스(6)가 서로 분리되어 구성되어 있기 때문에, 순간정전등으로 램프(8')가 소등되는 경우가 발생되더라도 장비에 웨이퍼가 계속 공급되는 한 장비는 부적절한 상태하여서 웨이퍼 노광작업을 계속하게 된다.By the way, since the lamp 8 'and the lamp power supply 7 and the illumination system 3, the main body 10, the front operation panel 9 and the control box 6 are separated from each other, Even if the lamp 8 'is turned off by the instantaneous power failure lamp, the equipment is in an inappropriate state and the wafer exposure operation is continued as long as the wafer is continuously supplied to the equipment.
즉, 램프전력공급장치(7)가 순간적으로 정전되어 램프 하우징(8)에 있는 램프(8')가 소등되더라도 본체에는 영향을 미치지 않고 계속 노광작업을 하게 된다.That is, even if the lamp power supply device 7 is momentarily shut down and the lamp 8 'in the lamp housing 8 is turned off, the exposure operation is continued without affecting the main body.
또한, 램프전력공급장치(7)는 순간적으로 정전되었을 때 내부 회로가 차단되기 때문에 수동으로 파워를 온시키지 않으면 그 전력의 공급이 중단되나, 램프(8')에 전력이 공급되지 않더라도 외부에서 쉽게 알 수 없기 때문에 노광이 안된 상태에서 작업이 완료되어 장치의 패일(fail)을 유발시키게 된다.In addition, since the internal circuit is interrupted when the power supply of the lamp 7 is momentarily interrupted, the power supply is stopped unless the power is turned on manually. Since it is unknown, the work is completed in the unexposed state, causing the device to fail.
따라서, 본 고안의 목적은 상기와 같은 종래의 노광장치에 따르는 문제점을 해결하고자, 램프 하우징에서 증폭되어 나오는 신호를 이용하여 램프가 작동하지 않을 때 자동으로 장비의 동작을 중지시킴과 동시에 외부에서 부저 또는 스위치 램프등으로 램프의 소등상태를 알 수 있도록 하여 웨이퍼의 손실을 막고 정전을 감지할수 있게 하는 노광램프 소등시 노광차단 제어회로를 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the problems according to the conventional exposure apparatus as described above, by using the signal amplified from the lamp housing to stop the operation of the equipment automatically when the lamp is not operating at the same time buzzer from the outside Another object of the present invention is to provide an exposure blocking control circuit when an exposure lamp is turned off so that the lamp is turned off by a switch lamp so as to prevent the loss of the wafer and detect the power failure.
제3도는 본 고안에 따른 노광램프 소등시 노광차단 제어회로도로서, 그 구성은 제2도의 램프전력공급장치(7)가 일정한 세기로 빛을 방출하도록 조명계(3)의 내부에 노광램프(8')의 빛을 감지하는 센서(도면 미표시)를설치하고 그 감지된 빛의 세기에 따른 전기적 신호를 입력신호(Sin)로 하며, 이 신호를 반전하는 반전기(I1O)의출력단이 실리콘 제어정류소자(SCRl0)의 게이트에 연결되며 상기 정류소자(SCRl0)의 애노드측은 스위치(SW10) 및 스위치 램프(LP10)를 거쳐 전원(+5V)에 연결되고 그 캐소드측은 부저(BZ10) 및 저항(Rl0)을 거쳐 접지에 연결됨과 아울러 다이오드(Dl0)를 통해 전면 조작판(9)에 있는 장비 수동정지 스위치(SW11)의 개폐제어단(IN)에 연결된다.FIG. 3 is a circuit diagram illustrating an exposure interruption control circuit when an exposure lamp is turned off according to the present invention. The configuration of the exposure lamp 8 'is provided inside the illumination system 3 such that the lamp power supply 7 of FIG. 2 emits light at a constant intensity. Install a sensor (not shown) that detects the light of the sensor, and use the electrical signal according to the detected light intensity as the input signal (Sin), and the output terminal of the inverter (I10) inverting the signal is a silicon controlled rectifier It is connected to the gate of (SCR10) and the anode side of the rectifying element (SCR10) is connected to the power supply (+ 5V) via the switch SW10 and the switch lamp (LP10), the cathode side of the buzzer (BZ10) and the resistor (R10) It is connected to the ground via the diode D10 and is connected to the opening and closing control terminal IN of the manual stop switch SW11 on the front operation panel 9 through the diode D10.
상기와 같이 구성한 본 고안의 회로에 대하여 그 작용과 효과를 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation and effects of the circuit of the present invention configured as described above in detail as follows.
먼저, 본 고안의 회로의 기능을 사용하지 않는 경우에는 스위치(SW10)를 오프상태로 놓으며, 사용할 경우 이를 온상태로 전환해놓는다.First, when the function of the circuit of the present invention is not used, the switch SW10 is turned off, and when used, it is turned on.
상기 스위치(SW10)가 온된 상태에서 노광램프(도면 미표시)가 켜져 있는 상태일 때에는 이 노광램프의 빛을감지하는 신호(Sin)가 "하이"상태로 반전기(I1O)에 인가되어 반전되며, 이로 인하여 상기 반전기(I1O)로부터 "로우"의 신호가 출력되면 실리콘 제어정류소자(SCRl0)는 오프상태가 되어 본 고안의 회로는 장비에 아무런 영향을 주기 못한다.When the exposure lamp (not shown) is turned on while the switch SW10 is turned on, a signal Sin for detecting the light of the exposure lamp is applied to the inverter I10 in a "high" state and inverted. Therefore, when the "low" signal is output from the inverter I10, the silicon control rectifier SCR10 is turned off, and the circuit of the present invention does not affect the equipment.
그러나, 노광램프가 꺼질 경우에는 상기 램프감지신호(Sin)의 신호가 "로우"가 되므로 반전기(I1O)는 "하이"의 신호를 실리콘 제어정류소자(SCRl0)의 게이트에 인가하여 이 정류소자(SCRl0)를 턴온시킨다.However, when the exposure lamp is turned off, since the signal of the lamp detection signal Sin becomes "low", the inverter I10 applies a "high" signal to the gate of the silicon control rectifier SCR10 so that the rectifier device Turn on (SCR10).
상기 실리콘 제어정류소자(SCRl0)가 턴온되면 이에 따른 신호가 부저(BZ10)로 인가되어 노광램프가 소동되었다는 것을 알리는 부저음이 울리게 함과 동시에 다이오드(Dl0)를 통해 노광장비의 노광 동작을 정지시키는 스위치(SW11)를 오프시켜서 노광작업이 중단되게 한다.When the silicon control rectifier SCR10 is turned on, a signal corresponding thereto is applied to the buzzer BZ10 so that a buzzer sounds indicating that the exposure lamp is disturbed, and a switch for stopping the exposure operation of the exposure apparatus through the diode D10. (SW11) is turned off to stop the exposure operation.
여기에서 다이오드(D10)는 다른 장비상의 문제나 필요에 의해 작업자가 스톱 스위치(SW11)를 누를 경우이로인하여 부저(BZ10)가 울리게 되는 것을 방지하기 위하여 사용된다.Here, the diode D10 is used to prevent the buzzer BZ10 from ringing when the operator presses the stop switch SW11 due to another equipment problem or need.
따라서, 램프가 노광도중 꺼졌을 때 장비가 계속 노광작업을 하는 것을 방지할 수 있으며, 신속한 장비의 상태 점검과 조치로 장비의 가동률을 향상시키며. 스위치(SW10)와 스위치 램프(LP10)를 일체로 구성함으로써 부저의 작동과 동시에 작업자가 즉시 장비 상태를 점검할 수 있게 된다.This prevents the equipment from continuing exposure when the lamp is turned off during exposure, and improves the operation rate of the equipment through rapid equipment condition checks and measures. By configuring the switch SW10 and the switch lamp LP10 integrally, the operator can immediately check the equipment status at the same time as the operation of the buzzer.
이상에서와 같이 본 고안은 노광장비의 노광램프 소등에 따른 장비의 오동작을 방지하는 효과가 있다.As described above, the present invention has the effect of preventing the malfunction of the equipment due to the exposure lamp is turned off.
Claims (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019930006125U KR950009250Y1 (en) | 1993-04-17 | 1993-04-17 | Exposure cutting control circuit |
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| KR2019930006125U KR950009250Y1 (en) | 1993-04-17 | 1993-04-17 | Exposure cutting control circuit |
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ID=19353824
Family Applications (1)
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1993
- 1993-04-17 KR KR2019930006125U patent/KR950009250Y1/en not_active IP Right Cessation
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| KR940025543U (en) | 1994-11-18 |
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