KR950004389B1

KR950004389B1 - 액정표시소자의 제조방법

Info

Publication number: KR950004389B1
Application number: KR1019920015943A
Authority: KR
Inventors: 배효대
Original assignee: 주식회사금성사; 이헌조
Priority date: 1992-09-02
Filing date: 1992-09-02
Publication date: 1995-04-28
Also published as: KR940007559A

Abstract

내용 없음

Description

액정표시소자의 제조방법

제1도는 종래의 액정표시소자의 제조공정도.

제2도는 종래의 액정표시소자에 형성된 패턴.

제3도는 본 발명의 액정표시소자의 제조 공정도.

제4도는 본 발명의 액정표시소자에 형성된 패턴

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 투명전도성박판유리 2 : 유리기판

3 : 산화규소막 4 : 투명전도성박막

5 : 노광제 6 : 노광된 감광제

7 : 감광제 8,13 : 투명전도성박막패턴

9,15 : 비패턴투명전도성박막 10,16 : 투명전도성박막패턴도트

11 : 스크라이버 12 : 스크라이브된 투명전도성박막

14 : 오픈

본 발명은 액정표시소자의 제소방법에 관한 것으로, 특히, 액정표시소자의 제조공정에서 투명도선성박막패턴닝시, 비패턴 부위의 투명도전성박막이 모두 에칭되므로서 발생되는 패턴보임현상을 방지시킬 수 있도록 한 액정표시소자의 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시소자의 제조공정을 살펴보면, 상하 유리기판상에 코팅되어 있는 투명도전성박막(ITO막)을 원하는 모양으로 패턴닝(PATTENING)한 다음, 그 위에 절연막과 배향막을 차례로 도포하고 원하는 크기의 스페이서(SPACER)를 실(SEAL)재에 섞어 실(SEAL)의 인쇄를 한다.

이어서 실(SEAL) 인쇄된 유리기판은 배향막을 러빙(RUBBING)하고, 셀겝(CELL-GAP)형성용으로 스페이서를 기판상에 분사시킨 다음 상하 유리기판을 합착, 경화시키게 된다.

이와같이, 경화가 끝나면 절단공정에서 액정표시소자의 빈 셀이 만들어지고 액정주입구를 통해 액정이 주입된 다음, 주입구는 봉지제에 의해 봉지된다. 봉지된 셀의 상하 유리기판 표면에 편광판이 붙여짐으로서 액정표시소자가 완성되게 된다.

그러나, 상기 공정중 패턴닝시 비패턴부위의 투명도전성 박막은 모두 에칭시켜 버리기 때문에, 투명도전성박막이 있는 부분과 없는 부분의 굴절율차에 의해 패턴보임 현상이 발생되게 된다.

즉 제1도 및 제2도에 도시한 바와 같이, 패턴닝 공정시 유리기판(2)상에 산화규소막(SiO막)(3), 투명전도성박막(ITO)(4)이 차례로 코팅되어 있는 투명전도성박판유리(1)를 세척을 하고, 이어서 상기 투명전도성박막(4)의 상면에 감광제(5)를 도포한 다음, 제2도의 (a)(b)에 도시한 바와 같은 패턴마스크(PATTENMASK)를 이용하여 노광을 시킨다.

이때 노광에 의하여 상기 감광제(5)에는 노광된 감광제부분(6)이 형성되게 되고, 이어서 상기 노광된 투명전도성박판유리(1)를 에칭시키게 되면, 상기 노광된 감광제부분(6)과 상기 투명전도성박막(4)이 에칭된다.

이와같이 에칭된 투명전도성박판유리(1)을 박리공정에서 박리를 시키면 노광이 실시되지 않은 상기 감광제(7)까지 에칭이 됨으로써 제2도의 (c)에 도시한 바와 같이, 투명전도성박막패턴(8)과 비패턴 투명전도성박막(9)간에 투명전도성박막패턴도트(10)를 형성하게 된다.

이와같이 액정표시소자의 공정에서 패턴닝시, 노광된 투명전도성박막 부분을 에칭으로 날려 제거시켜 버리기 때문에 투명성박막이 있는 부분과 없는 부분의 굴절율차에 의해 패턴보임 현상이라는 외관의 불량을 유발시키는 문제점을 가지고 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 액정표시소자의 패턴닝시, 비패턴 부위를 에칭시키지 않고 그대로 두어 투명전도성박막의 있는 부분과 없는 부분과의 굴절율차가 생기지 않도록 함으로써, 패턴보임 현상을 방지하고자 하는데 있다.

상기의 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 스크라이버를 이용하여 투명전도성박막에 원하는 패턴으로 스크라이브를 하여 패턴간에 오픈을 하여서 된 것을 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면에 의거 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.

제3도는 본 발명에 적용되는 액정표시소자의 제조공정을 나타낸 것으로, 유리기판(2)상에 산화규소막(SiO2막)(3), 투명전도성박막(ITO)(4)이 차례로 적층시키는 과정과, 세척된 투명전도성박판유리(1)에 투명전도성박막 스크라이버(11)로 상기 투명전도성박막(4)에 원하는 패턴의 제거를 원하는 부분만을 제거시키는 스크라이브(12)를 하여, 액정표시소자 동작에 필요한 투명전도성박막패턴(13)과 불필요한 비패턴투명전도성박막(15)간에 소정의 간격(10μm-50μm)의 오픈(14)시키는 과정으로 이루어진다.

상기와 같이 이루어지는 본 발명을 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 패턴닝공정시유리기판(2)상에 산화규소막(3), 투명전도성박막(4)을 차례로 코팅한 투명전도성박판유리(1)를 세척하고, 이어서, 상기 투명전도성박막(4)에 스크라이버(11)로 원하는 패턴의 스크라이브를 하되, 제 4도의(a)(b)에 도시한 바와 같이, 투명전도성박막패턴(13)과, 비패턴투명전도성박막(15)간에 소정간격(10μm-50μm)으로 스크라이브(12)를 한 후, 비패턴 부위의 투명전도성박막(15)을 그대로 둔채, 상기패턴(13)(15)간에 오픈(14)시켜 투명전도성박막패턴도트(16)를 형성하게 되는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 액정표시소자를 제조하게 되는 공정에서 패턴닝공정시, 투명전도성박판유리상의 투명전도성박막에 스크라이버를 이용하여 소정간격의 스크라이브를 한 후 비패턴 투명전도성박막을 남기고 오픈을 시켜 줌으로써 패턴과 비패턴 부위간에 굴절율차에 의한 패턴보임 현상을 방지할 수있게 되고, 또한 패턴닝공정시 감광제 도포와 노광공정을 하지 않고도 원하는 패턴을 형성할 수 있어 패턴닝공정의 단순화로 인한 생산성 향상은 물론, 원가를 절감할 수 있는 효과를 제공하게 되는 것이다.

Claims

유리기판(2)상에 산화규소막(SiO2막)(3), 투명전도성박막(ITO)(4)이 차례로 적층된 투명전도성박판유리에 있어서, 상기 투명전도성박막(4)에 원하는 패턴으로 소정너비의 스크라이브를 하여 투명전도성박막패턴(13)과 비패턴 투명전도성박막(15)간에 오픈(14)을 형성시키는 과정으로 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
제1항에 있어서, 상기 스크라이브로 인한 오픈(14)의 너비는 10μm-50μm로 형성함을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.