KR950003102B1 - Fluorescence printer head and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
내용 없음.No content.
Description
제 1 도는 본 발명의 1실시예인 형광프린터헤드의 1제조공정을 도시하는 평면도.1 is a plan view showing one manufacturing process of a fluorescent printer head which is one embodiment of the present invention.
제 2 도 내지 제 6 도는 각각 동 제조공정을 도시하는 단면도.2 to 6 are cross-sectional views each showing the same manufacturing process.
제 7 도는 종래의 형광프린터헤드의 1구조예를 예시하는 단면도.7 is a sectional view illustrating one structural example of a conventional fluorescent printer head.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 절연기판으로서의 유리기판 2 : 양극(陽極)도체DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate as an insulated substrate 2 Positive conductor
4 : 전극부 6 : 종점검출용 패턴4: electrode part 6: end point detection pattern
7 : 절연층 9 : 포토레지스트7: insulation layer 9: photoresist
10 : 제어전극 11 : 슬릿10: control electrode 11: slit
12 : 형광체 20 : 양극12: phosphor 20: anode
[산업상의 이용분야][Industrial use]
본 발명은 진공형광관의 원리를 사용한 광프린터용의 입력헤드에 관한 것이다.The present invention relates to an input head for an optical printer using the principle of a vacuum fluorescent tube.
[종래의 기술][Prior art]
제 7 도는 일본국 특개소60-109163호 공보에 기재된 형광프린터헤드의 단면도이다.7 is a cross-sectional view of the fluorescent printer head described in Japanese Patent Laid-Open No. 60-109163.
절연기판(100)의 윗면에는 형광체(101)와 양극도체(102)로 형성된 도트형상의 양극(103)이 다수 설치되어 있다. 각 양극(103)은 소정의 간격을 두고 절연기판(100)의 길이방향(지면 수직방향)에 따라 소정간격을 두고 일렬로 설치되어 있다.On the upper surface of the insulating substrate 100, a plurality of dot-shaped anodes 103 formed of the phosphor 101 and the anode conductor 102 are provided. Each of the anodes 103 is provided in a line at a predetermined interval along the longitudinal direction (surface vertical direction) of the insulating substrate 100 at predetermined intervals.
양극(103)의 열 양쪽에는 절연층(104)이 각각 설치되고, 각 절연층(104)의 윗면에는 절연층(104)과 동일폭의 금속박막으로 형성되는 제어전극(105)이 각각 설치되어 있다.Insulating layers 104 are provided on both sides of the column of the anode 103, and control electrodes 105 formed of metal thin films having the same width as the insulating layers 104 are provided on the upper surfaces of the insulating layers 104, respectively. have.
[발명이 해결하고자 하는 과제][Problem to Solve Invention]
제 7 도에 도시한 종래의 형광프린터헤드에는 다음과 같은 문제점이 있었다.The conventional fluorescent printer head shown in FIG. 7 has the following problems.
ⓛ 발광부가 되는 도트형상의 양극(103)은, 전착법이나 포토리소(photolitho) 법으로 양극도체(102)에 형광체(101)를 피착하는 방법에 의해 얻어진다. 이때문에 양극(103)의 도트형상은 양극도체(102)의 폭과 형광체(101)의 피착부분의 폭으로 결정된다.The dot-shaped anode 103 serving as the light emitting portion is obtained by depositing the phosphor 101 on the anode conductor 102 by the electrodeposition method or the photolitho method. For this reason, the dot shape of the anode 103 is determined by the width of the anode conductor 102 and the width of the adhered portion of the phosphor 101.
특히 전착법의 경우, 복수의 도트 모두 균일한 형상으로 형광체를 전착시키는 것은 대단히 곤란하며, 양극도체의 폭이나 길이이상으로 형광체가 피착되는 일이 많으며, 균일한 발광휘도를 얻기 어렵다고 하는 문제점이 있었다.In particular, in the case of the electrodeposition method, it is very difficult to electrodeposit phosphors in a uniform shape in all of the plurality of dots, and the phosphors are often deposited more than the width or length of the anode conductor, and there is a problem that it is difficult to obtain uniform luminance of light. .
② 도트형상의 양극(103) 주위에는 절연기판(100)의 윗면에 노출되어있다. 또한 제어전극(105) 밑에 있는 절연층(104)의 수직벽도 양극(103)쪽에 노출되어 있다. 그리고 이들의 절연물질에 전자가 부착하여 부전계(負電界)가 형성되면, 양극(103)으로 방출되어 충돌되는 전자의 궤도가 구부러져서 양극(103)에 전잔가 충돌되지 않는 부분이 발생되고 만다.(2) The upper surface of the insulating substrate 100 is exposed around the dot-shaped anode 103. In addition, the vertical wall of the insulating layer 104 under the control electrode 105 is also exposed to the anode 103 side. When electrons adhere to these insulating materials to form a negative field, the orbits of electrons emitted and collided with the anode 103 are bent to generate a portion where the electric glass does not collide with the anode 103. .
이 때문에 각 양극(103)의 도트 형상의 발광상태가 불균일하게 되고 만다고 하는 문제점이 발생되고 있었다.For this reason, the problem that the light emission state of the dot shape of each anode 103 becomes uneven arises.
③ 종래의 형광프린터헤드의 제조방법에 의하면, 형광체(101)를 피착시킨후에, 레지스트를 소각제거하거나 절연층을 소성하는 공기중에서의 고온가열공정이 필요하게 된다. 이와 같은 산화분위기중에 형광체(101)를 존재시키면, 형광체(101)가 산화되거나 형광체(101) 중에 불순물이 혼입하거나 하여, 발광휘도가 떨어지는 문제가 있었다.(3) According to the conventional manufacturing method of the fluorescent printer head, after the phosphor 101 is deposited, a high temperature heating step in air for incineration of the resist or firing the insulating layer is required. When the phosphor 101 is present in such an oxidizing atmosphere, there is a problem that the phosphor 101 is oxidized or impurities are mixed in the phosphor 101, resulting in inferior luminescence brightness.
[과제를 해결하기위한 수단][Means for solving the problem]
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기위하여 이루어진 것이며, 본 발명의 형광프린터헤드는 절연기관과 상기 절연기판의 윗면에 도트형상의 패턴으로 열을 지어 설치된 금속박막의 양극도체에, 각각 형광체를 피착시켜 구성한 복수의 도트형상의 양극으로 이루어지는 양극렬과, 상기 양극렬 양쪽에 설치된 절연층상에 상기 양극렬에 따라 각각 박막으로서 형성된 한쌍의 제어전극과, 상기 절연기판상의 윗쪽에 배열설치된 선(線)형상음극과, 상기 전극군을 덮어서 상기 절연기판상의 윗면에 밀봉부착된 진공용기를 구비한 형광프린터헤드에 있어서, 상기 한쌍의 제어전극이 상기 절연층보다도 상기 양극렬쪽에 각각 돌출하여 형성되고, 상기 제어전극에 대향하는 한쌍의 가장자리부로 이루어지는 슬릿에 의해 상기 양극렬이 일정폭으로 구획되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and the fluorescent printer head of the present invention is formed by depositing phosphors on the anode conductors of the metal thin films, which are arranged in a dot pattern on the upper surface of the insulator tube and the insulating substrate. A pair of control electrodes formed of a plurality of dot-shaped anodes configured, a pair of control electrodes each formed as a thin film on the insulating layers provided on both sides of the anode row, and a line shape disposed above the insulating substrate. In a fluorescent printer head having a cathode and a vacuum container sealed to an upper surface of the insulating substrate by covering the electrode group, the pair of control electrodes are formed to protrude from the insulating layer side rather than the insulating layer, respectively. The anodic column is divided in a predetermined width by a slit consisting of a pair of edge portions facing the electrode. It is characterized by.
또 본 발명에 관한 형광프린터헤드의 제조방법은, 절연기판의 윗면에 금속박막을 피착시켜 포토리소그래피법에 의해 도트 형상의 양극도체를 일렬로 형성하는 공정과, 상기 양극도체가 형성된 절연기판상에 절연층을 피착시키는 공정과, 상기 절연층상에 금속박막을 피착시키고 , 다시 이 금속박막상에 포토레지스트를 피착시켜, 포토리소그래피법에 의해 이 금속박막에 일정폭의 슬릿을 이루는 한쌍의 제어전극을 형성하는 공정과, 상기 제어전극이 형성된 기판에 에칭을 행하고, 상기 절연층을 상기 제어전극의 슬릿쪽이상으로 제거하여 상기 양극 도체를 노출시키는 공정과, 노출된 상기 양극도체에 전착법으로 형광체를 피착시키는 공정과, 상기 금속박막상의 포토레지스트를 제거하여 상기 절연기판의 윗쪽에 선형상음극을 덮어 설치하고, 이 절연기판에 진공용기를 밀봉부착시키는 공정을 가지고 있다.In addition, a method of manufacturing a fluorescent printer head according to the present invention includes a process of forming a dot-shaped anode conductor in a line by photolithography by depositing a metal thin film on the upper surface of the insulation substrate, and on the insulation substrate on which the anode conductor is formed. A process of depositing an insulating layer, a metal thin film is deposited on the insulating layer, and a photoresist is deposited on the metal thin film, and a pair of control electrodes are formed on the metal thin film by a photolithography method to form a slit of a predetermined width. And etching the substrate on which the control electrode is formed, removing the insulating layer beyond the slit side of the control electrode to expose the anode conductor, and depositing a phosphor by electrodeposition on the exposed anode conductor. And removing the photoresist on the metal thin film to cover the linear cathode on top of the insulating substrate. It has a process of sealing and attaching a vacuum container to a smoke plate.
또 상기 제어방법에 있어서, 절연기판의 끝부분에 한쌍의 전극부를 갖는 종점검출용패턴을 설치해두고, 절연층을 에칭할때에는 이 전극부간의 저항을 측정하여 에칭의 종점을 결정하도록 해도 무방하다.In the above control method, an end point detection pattern having a pair of electrode portions may be provided at the end of the insulating substrate. When etching the insulating layer, the end point of the etching may be determined by measuring the resistance between the electrode portions.
[작용][Action]
양극렬과 직교하는 방향에 대해서의 각 양극의 치수는 제어전극의 슬릿에 의해 일정쪽으로 구획되어있고, 적어도 같은 방향에 대해서의 발광부분의 폭은 일정하게 되어 있다. 또 제어전극 아래에 있는 절연층이 양극쪽의 끝면은, 양극의 발광부분을 구획하고 있는 제어전극의 상기 슬릿보다도 후퇴한 위치에 있어, 슬릿으로부터 들어오는 전자가 부착되기 어렵다.The dimension of each anode in the direction orthogonal to the anode row is partitioned by a slit of the control electrode toward a certain side, and the width of the light emitting portion in at least the same direction is constant. The end face of the insulating layer under the control electrode on the anode side is located at a position where the insulating layer retreats from the slit of the control electrode partitioning the light emitting portion of the anode, so that electrons coming from the slit are hardly attached.
[실시예]EXAMPLE
본 발명의 1실시예인 형광프린터헤드의 구성을, 제 1 도로부터 제 6 도에 도시한 제조공정에 따라 설명한다.The configuration of the fluorescent printer head as one embodiment of the present invention will be described according to the manufacturing process shown in FIGS.
1) 제 1 도에 도시한 바와 같이 가늘고 긴 좁은모양의 절연기판인 유리기판(1)에는, 길이방향에 따라 다수의 양극도체(2)가 소정피치에 따라 일렬로 형성되어 있다.1) As shown in FIG. 1, in the glass substrate 1, which is a narrow and narrow insulating substrate, a plurality of anode conductors 2 are formed in a line along a predetermined pitch along the longitudinal direction.
각 양극도체(2)에는 병렬방향과 직교하는 방향의 배선도체(3)가 유리기판(1)의 각 길이변에 도달하도록 지그재그 형으로 배분되어 설치되어 있다. 또 유리기판(1)의 길이방향의 한쪽끝부분에는 소정간격을 두고 대향하는 한쌍의 빗살모양의 전극부(4)와, 각 전극부(4)로부터 뻗어설치된 단자부(5)로 형성되는 종점검출패턴(6)이 설치되어 있다.Wiring conductors 3 in the direction orthogonal to the parallel direction are distributed and arranged in a zigzag manner in each anode conductor 2 so as to reach each length side of the glass substrate 1. In addition, at one end in the longitudinal direction of the glass substrate 1, an end point detection formed by a pair of comb-shaped electrode portions 4 facing each other with a predetermined interval and terminal portions 5 extending from the electrode portions 4 are provided. The pattern 6 is provided.
이들 양극도체(2), 배선도체(3) 및 종점검출용패턴(6)을 형성하기 위해서는, 먼저 유리기판(1)의 윗면 전체에 스퍼터링법에 의해 0.1∼2μm의 두께로 Al박막을 입힌다.In order to form these anode conductors 2, the wiring conductors 3, and the end point detection pattern 6, an Al thin film is first applied to the entire upper surface of the glass substrate 1 with a thickness of 0.1 to 2 탆 by the sputtering method.
그위에 포토레지스트를 스핀코팅법에 의해 코팅하고, 상술의 3종류의 박막패턴을 형성한 마스크를 통하여 상기 포토레지스트에 UV노출을 행한다.The photoresist is coated thereon by spin coating, and UV exposure is performed on the photoresist through a mask in which the three types of thin film patterns described above are formed.
이것을 현상처리하여 Al패턴으로서 남기는 부분의 포토레지스트만을 남기고, 그 외의 불필요한 부분의 Al을 노출시킨다.This development treatment leaves only the photoresist of the portion left as an Al pattern, and exposes Al of other unnecessary portions.
그리고 Al을 용해시키는 용액(NaOH용액, 인산용액)으로 상기 불필요한 Al를 에칭한다.The unnecessary Al is then etched with a solution for dissolving Al (NaOH solution, phosphoric acid solution).
이것에 의해 1변이 80μm의 정방향의 양극도체(2)가 유리기판(1)의 길이방향에 따라 0.1∼0.2mm의 피치로 일렬로 형성되고, 상기 배선도체(3) 및 종점검출용패턴(6)로 상기한 바와 같은 패턴으로 형성된다.As a result, a positive electrode conductor 2 having a positive direction of 80 μm on one side is formed in a line with a pitch of 0.1 to 0.2 mm along the longitudinal direction of the glass substrate 1, and the wiring conductor 3 and the end point detection pattern 6 ) Is formed in the pattern as described above.
2) 제 2 도 및 제 2 도에 도시한 바와 같이, 상기한 Al박막의 패턴이 형성되어 있는 유리기판(1)의 윗면쪽에, 저융점 플릿유리를 주성분으로하는 절연 페이스트를 스크린 인쇄법에 의해 막두께 20∼100μm의 범위에서 거의 전면에 온통 피착시키고, 400∼600℃로 수성하여 절연층(7)을 고착형성시킨다.2) As shown in Figs. 2 and 2, an insulating paste composed mainly of low-melting flit glass is formed on the upper surface of the glass substrate 1 on which the Al thin film pattern is formed by screen printing. The film is deposited all over the entire surface in the range of the film thickness of 20 to 100 µm, and is water-soluble at 400 to 600 占 폚 to fix the insulating layer 7.
단, 외부끝부분으로 되는 배선도체(3)의 끝부분은 절연층(7)으로 덮어씌우지 않도록 한다.However, the end of the wiring conductor 3 serving as the outer end is not to be covered with the insulating layer 7.
3) 제 3 도에 도시하는 바와 같이, 상기 절연층(7)의 윗면의 거의 전면에 스퍼터링법이나 증착법등에 의해 0.1∼2μm 두께로 Al 박막(8)을 피착한다.3) As shown in FIG. 3, the Al thin film 8 is deposited to a thickness of 0.1 to 2 탆 on the almost entire surface of the upper surface of the insulating layer 7 by sputtering or vapor deposition.
4) 제 4 도에 도시하는 바와 같이, 상기 Al박막(8)상에 스핀코팅법으로 포토레지스트(9)를 코팅한다. 그리고 이 Al박막(8)중, 일렬로 된 상기 양극도체(2)의 상부에 있는 부분만을 인산베이스의 혼산을 사용하여 소정폭의 슬릿형상으로 에칭제거한다.4) As shown in FIG. 4, the photoresist 9 is coated on the Al thin film 8 by spin coating. In the Al thin film 8, only the portion above the lined anode conductor 2 is etched away in a slit shape of a predetermined width using a mixture of phosphoric acid bases.
동시에 종점검출용패턴(6)의 윗쪽에 있는 Al박막(8)도 제거한다.At the same time, the Al thin film 8 located above the end point detection pattern 6 is also removed.
본 공정에 의해 양극도체(2)열의 양쪽에 길이방향으로 따라 한쌍의 제어전극(10,10)이 형성되고, 그 대향하는 한쌍의 가장자리부에 의해 발광도트의 한쪽폭을 구획하는 슬릿(11)이 구성된다.By the present step, a pair of control electrodes 10, 10 are formed along both sides of the row of the anode conductors 2 in the longitudinal direction, and the slit 11 which divides one width of the light emitting dot by a pair of opposite edges thereof. This is made up.
5) 일렬로 된 양극도체(2)의 윗쪽에 있는 슬릿(11)에서 보이는 부분의 절연층(7)과, 종점검출용패턴(6)상에 있는 부분의 절연층(7)을 초산으로 동시에 에칭한다. 여기서 제 5 도에 도시하는 바와 같이 슬릿(11) 아래쪽의 절연층(7)의 끝면은 슬릿(11) 보다도 후퇴하고 있다.5) At the same time, the insulating layer 7 in the part shown in the slit 11 above the lined anode conductor 2 and the insulating layer 7 in the part on the end point detection pattern 6 are simultaneously acetic acid. Etch. Here, as shown in FIG. 5, the end surface of the insulating layer 7 below the slit 11 has receded more than the slit 11. As shown in FIG.
즉 이부분의 절연층(7)은 도려내어진 것처럼 사이드에칭되어있고, 상대적으로 제어전극(10)의 슬릿(11)이 안쪽을 향하여 돌출된 구조로 되어 있다.That is, the insulating layer 7 of this part is side-etched as if cut out, and the slit 11 of the control electrode 10 has the structure which protruded inward.
따라서 제어전극(10)의 아래쪽에 노출된 양극도체(2)는, 열방향과 직교하는 방향의 폭이 상기 슬릿(11)의 폭보다 커지고 있다.Therefore, the width of the anode conductor 2 exposed below the control electrode 10 is greater than the width of the slit 11 in the direction orthogonal to the column direction.
이와 같은 구조를 얻기위하여 필요한 에칭공정의 종점을 알기 위해서, 본 공정에 있어서는 에칭중에 종점검출용패턴(6)의 한쌍의 단자부(5, 5)사이의 저항치를 측정하고 있다.In order to know the end point of the etching process necessary for obtaining such a structure, in this process, the resistance value between the pair of terminal parts 5 and 5 of the end point detection pattern 6 is measured during etching.
즉 종점검출용 패턴(6)을 덮고있는 절연층(7)의 에칭이 진행되고, 대향하고 있는 한쌍의 빗살형상의 전극부(4, 4)가 초산에 접촉하면, 전극부(4, 4) 간의 저항치가 저하되어 간다.That is, when the etching of the insulating layer 7 covering the end point detection pattern 6 proceeds, and the pair of opposing comb-shaped electrode portions 4 and 4 contacts acetic acid, the electrode portions 4 and 4 The resistance value of the liver decreases.
따라서 제어전극(10)의 아래쪽에 있어서 사이드에칭이 적당한때까지 진행했을때의 상기 저항치를 실험적으로 정해두면, 이 저항치를 지표로 하여 제어전극(10) 아래쪽의 절연층(7)의 사이드에칭을 적절하게 행할 수 있다.Therefore, when the resistance value when the side etching has progressed to the appropriate level under the control electrode 10 is experimentally determined, the side etching of the insulating layer 7 under the control electrode 10 is made as an index. This can be done appropriately.
6) 상기 유리기판(1)의 배선도체(3)의 단자를 전원에 접속시키고, 형광체(12)의 입자가 분산된 전착액중에 이 유리기판(1)을 넣어서 양극도체(2)에 소정의 전위를 부여하면, 전착법의 원리에 의해 형광체(12)가 양극도체(2) 상에 피착된다.6) The terminal of the wiring conductor 3 of the glass substrate 1 is connected to a power source, and the glass substrate 1 is placed in an electrodeposition liquid in which particles of the phosphor 12 are dispersed, and a predetermined amount of the anode conductor 2 is formed. When a potential is applied, the phosphor 12 is deposited on the anode conductor 2 by the principle of the electrodeposition method.
이것에 의해, 소정피치에 따른 일렬된 도트형상의 양극(20)으로 이루어지는 양극렬이 얻어진다.As a result, a bipolar array composed of aligned dot-shaped anodes 20 according to a predetermined pitch is obtained.
본 실시예에 의하면 발광도트로 되는 양극(20)의 치수중, 열방향과 직교하는 방향의 폭에 대해서는 제어전극(10)의 슬릿(11)으로 정확하게 구획되어 있다.According to this embodiment, among the dimensions of the anode 20 to be a light emitting dot, the width in the direction orthogonal to the column direction is precisely divided by the slit 11 of the control electrode 10.
따라서 형광체(12)의 전착에 의한 발광도트형상의 정밀도가 다소 낮아도, 적어도 이 방향의 폭에 대해서는 충분히 정확한 치수에 설정할 수 있다.Therefore, even if the precision of the light emitting dot shape by electrodeposition of the fluorescent substance 12 is somewhat low, the width | variety in this direction can be set to the dimension which is sufficiently accurate at least.
7) 다음에 상기 제어전극(10)상의 포토레지스트(9)를 소성제거한다. 이 공정에서의 가열은 그다지 고온이 아니라도 되므로, 전공정에서 양극도체(2)에 피착시킨 형광체(12)에는, 열에 의한 악영향이 미치는 일은 없다.7) Next, the photoresist 9 on the control electrode 10 is removed by firing. Since the heating in this process may not be very high temperature, the fluorescent substance 12 deposited on the positive electrode conductor 2 in the previous step does not adversely affect the heat.
또 필요에 따라 잔존되어 있는 포토레지스트(9)의 부분만을 레이저등으로 국부가열할 수도 있다.If necessary, only the portion of the remaining photoresist 9 may be locally heated by a laser or the like.
그리고, 최후에 유리기판(1)의 윗쪽에 선형상음극을 덮어 설치하고, 유리기판(1)의 윗면에 진공용기를 상기 전극군이 덮어지도록 밀봉부착하여 내부를 진공상태로 배기한다.Finally, a linear negative electrode is placed on the upper surface of the glass substrate 1, and a vacuum container is sealed on the upper surface of the glass substrate 1 to cover the electrode group, and the inside is evacuated in a vacuum state.
본 실시예의 형광프린터헤드에 의하면, 발광부분인 양극렬의 폭이 종래에 비하여 균일하며, 더욱 제어전극(10) 아래에 있는 절연층(7)의 수직벽은, 양극렬로부터 떨어져 뒷쪽으로 들어가 있으므로 전자가 부가되기 어려워 발광에 악영향을 끼치는 일이 없다.According to the fluorescent printer head of this embodiment, the width of the anode row, which is the light emitting portion, is more uniform than in the prior art, and furthermore, since the vertical wall of the insulating layer 7 under the control electrode 10 enters the rear side away from the anode row. The electrons are hard to be added and do not adversely affect the light emission.
또 그 제조공정의 최후의 형광체(12)를 피착시키고 있으므로, 가열에 의해 형광체(12)가 열화되는 일이 없다. 이와같은 이유로 본 실시예의 형광프린터 헤드는, 종래에 비하여 높은 표시품위를 실현시킬 수 있었다.Moreover, since the last fluorescent substance 12 of the manufacturing process is deposited, the fluorescent substance 12 does not deteriorate by heating. For this reason, the fluorescent printer head of this embodiment can realize a higher display quality than in the prior art.
[발명의 효과][Effects of the Invention]
본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the present invention has the following effects.
1) 양극렬에 직교하는 방향의 도트폭은, 제어전극의 슬릿폭으로 규제된다. 따라서 양극도체에 대한 형광체의 전착치수는 적어도 이 방향의 폭에 대해서는 정밀도가 낮아도 되므로 제조가 쉽게된다.1) The dot width in the direction orthogonal to the anodic column is regulated by the slit width of the control electrode. Therefore, the electrodeposition dimension of the phosphor to the anode conductor may be easily manufactured since the precision may be low for at least the width in this direction.
또한 각 양극의 양극렬방향의 전착치수를 일정하게 하면, 발광휘도는 종래에 비하여 더욱 균일하게 된다.In addition, when the electrodeposition dimension of each anode in the anode line direction is made constant, the light emission luminance becomes more uniform than in the prior art.
2) 절연층의 수직벽이 제어전극의 아래쪽에 있으므로, 제어전극의 슬릿으로부터 들어간 전자는 수직벽에 부착되기 어렵다. 따러서 절연층에 부가된 전자에 의한 부전계의 약영향이 해소된다.2) Since the vertical wall of the insulating layer is below the control electrode, electrons entering from the slit of the control electrode are difficult to adhere to the vertical wall. Thus, the weak influence of the negative field caused by the electrons added to the insulating layer is eliminated.
3) 제조방법이 종래와는 달리 최후에 형광체의 피착을 해하고 있으므로, 산화분위기중에서 형광체를 가열하는 일이 적다. 따라서, 형광체의 열화가 방지되어 발광휘도가 저하되지 않는다는 효과가 있다.3) Unlike the conventional manufacturing method, since the deposition of the phosphor is performed last, the phosphor is rarely heated in the oxidizing atmosphere. Therefore, there is an effect that the degradation of the phosphor is prevented and the luminance of light emitted does not decrease.
Claims (3)
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