KR950002851Y1

KR950002851Y1 - Cathode-ray tube

Info

Publication number: KR950002851Y1
Application number: KR92023179U
Authority: KR
Inventors: 정남군
Original assignee: 박경팔; 삼성전관 주식회사
Priority date: 1992-11-24
Filing date: 1992-11-24
Publication date: 1995-04-15
Also published as: KR940013589U

Abstract

내용 없음.No content.

Description

Cathode Ray Tube Deposition Equipment

제1도는 종래 음극선관용 증착장치의 입단면도.1 is a cross-sectional view of a conventional deposition apparatus for cathode ray tubes.

제2도는 본 고안에 따른 음극선관용 증착장치의 입단면도.2 is a cross-sectional view of the deposition apparatus for cathode ray tubes according to the present invention.

제3도는 본 고안에 따른 증착장치의 사용상태도.3 is a state of use of the deposition apparatus according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

21 : 턴테이블 21a : 관통공21: turntable 21a: through hole

22 : 챔버 23 : 히이터22: chamber 23: heater

25 : 패킹부재 31 : 서포트25: packing member 31: support

32 : 차폐부재32: shielding member

본 고안은 음극선관용 증착장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 서로 규격이 다른 패널을 노광할 수 있도록 된 음극선관용 증착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cathode ray tube deposition apparatus, and more particularly to a cathode ray tube deposition apparatus that can be exposed to a panel of different specifications.

통상적으로 음극선관은 그 내면에 형광막이 형성된 패널과, 네크부의 내외부에 전자총과 편향요크가 설치된 펀넬을 구비하여 구성된 것으로, 상기 전자총으로부터 방출된 전자빔이 형광막의 주사위치에 따라 선택적으로 편향요크에 의해 편향되어 형광막에 주사되게 되는데, 상기 형광막의 발광효율을 향사시키기 위하여 상기 패널의 내면 즉, 상기 형광막의 표면에 알루미늄 증착막을 형성하여 상기 형광막으로부터 방출된 빛이 상기 알루미늄 증착막에 의해 패널의 전면으로 반사되도록 하여 발강휘도를 향상시킬 수 있도록 되어 있다.Typically, the cathode ray tube includes a panel having a fluorescent film formed on an inner surface thereof, and a funnel having an electron gun and a deflection yoke installed inside and outside the neck portion, wherein the electron beam emitted from the electron gun is selectively changed by a deflection yoke according to the dice of the fluorescent film. In order to improve the luminous efficiency of the fluorescent film, an aluminum deposition film is formed on the inner surface of the panel, that is, the surface of the fluorescent film, so that the light emitted from the fluorescent film is transferred to the front surface of the panel by the aluminum deposition film. It is possible to improve the luminescence brightness by reflecting the light.

제1도에는 상기 패널의 내면에 알루미늄 증착막을 형성하기 위한 증착장치의 일 실시예를 나타내 보였다.1 shows an embodiment of a deposition apparatus for forming an aluminum deposition film on the inner surface of the panel.

이것은 간헐적으로 회전하는 턴테이블(11)에 소정의 간격으로 복수개의 관통공(11a)이 형성되고 이 턴테이블(11)의 하면에는 상기 관통공(11a)을 개구부(12a)로 하는 복수개의 챔버(12)가 설치된다. 그리고 상기 챔버(12)의 내부에는 상기 알루미늄을 응용시키기 위한 복수개의 히이터(12b)가 고정설치되며, 그 하면의 적어도 일측에는 도면에 도시되지 않은 진공펌프와 연결되는 연결관(14)이 마련되어 있다. 그리고 상기 턴테이블(11)에 형성된 관통공(11a)의 상면에는 패널(100)의 안착시 패널(100)의 연부와 접촉되어 기밀을 유지할 수 있도록 패킹부재(15)가 마련되어 있다.This is because a plurality of through holes 11a are formed in the turntable 11 which rotates intermittently at predetermined intervals, and a plurality of chambers 12 having the through holes 11a as openings 12a on the lower surface of the turn table 11. ) Is installed. In addition, a plurality of heaters 12b for applying the aluminum are fixedly installed in the chamber 12, and at least one side of the lower surface thereof is provided with a connection pipe 14 connected to a vacuum pump not shown in the drawing. . In addition, a packing member 15 is provided on an upper surface of the through hole 11a formed in the turntable 11 to be in contact with the edge of the panel 100 when the panel 100 is seated to maintain airtightness.

이와같이 구성된 종래의 증착장치로서 음극선관용 패널(100)의 내면을 노광하기 위해서는 먼저 상기 챔버(12)의 내면에 설치된 히이터(12b)상에 증착하기 위한 알루미늄편을 올려 놓고 패널(100)의 내면의 챔버(12)의 내부를 향하도록 턴테이블(11)의 관통공(11a)의 가장자리에 올려 놓는다. 이상태에서 상기 챔버(12)의 내부를 고진공으로 함과 아울러 히이터(12b)에 소정의 전위를 인가하여 알루미늄을 용융증발시켜 패널(100)의 내면에 증착시킨다.As a conventional deposition apparatus configured as described above, in order to expose the inner surface of the cathode ray tube panel 100, first, an aluminum piece for deposition on the heater 12b installed on the inner surface of the chamber 12 is placed on the inner surface of the panel 100. It is placed on the edge of the through hole 11a of the turntable 11 to face the inside of the chamber 12. In this state, the inside of the chamber 12 is made high vacuum and a predetermined potential is applied to the heater 12b to melt-evaporate aluminum and deposit it on the inner surface of the panel 100.

그러나 상기와 같이 패널(100)의 내면에 알루미늄 증착막을 형성하는 증착장치는 서로 다른 규격의 패널(100)을 증착하는 경우 알루미늄이 상기 패킹부재(15)의 상면까지 증착되게 되므로 많은 패널(100)의 증착시 패널(100)의 연부와 패킹부재(15) 사이에 기밀이 유지되지 않게 되어 장착불량이 발생되는 문제점이 있었으며, 상기 턴테이블(11) 상에 설치된 패킹부재(15)를 정기적으로 교체하여 주어야 하는 불편함이 있었다.However, as described above, in the deposition apparatus for forming an aluminum deposition film on the inner surface of the panel 100, when the panel 100 having different specifications is deposited, aluminum is deposited up to the top surface of the packing member 15. When the deposition of the panel 100, the airtightness between the packing member 15 and the packing member 15 is not maintained, there was a problem that the mounting failure occurs, by periodically replacing the packing member 15 installed on the turntable (11) There was an inconvenience to give.

본 고안은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 서로 다른 규격의 패널을 증착할 수 있으며 패킹부재에 알루미늄이 증착되어 패킹부재와 패널의 연부사이에 기밀이 유지되지 않는 것을 방지할 수 있는 음극선관용 증착장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, it is possible to deposit panels of different specifications, and the aluminum is deposited on the packing member for the cathode ray tube that can prevent the airtightness is not maintained between the packing member and the edge of the panel The purpose is to provide a vapor deposition apparatus.

본 고안의 다른 목적은 패널의 연부와 패킹부재 사이의 실링효과를 향상시켜 그 가동효율을 향상시킬 수 있는 음극선관용 증착장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a deposition apparatus for cathode ray tubes that can improve the sealing efficiency between the edge of the panel and the packing member to improve its operating efficiency.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 소정의 간격으로 복수개의 관통공이 형성된 턴테이블과, 이 턴테이블의 하면에 설치되며, 상기 관통공을 개구부로 하는 챔버와, 상기 턴테이블의 관통공 가장자리에 설치되어 패널의 연부와 챔버 내부와의 기밀을 유지하는 패킹부재를 구비하여 된 음극선관용 증착장치에 있어서, 상기 턴테이블의 가장자리에 이를 따라 소정높이의 서포트를 형성하고 상기 서포트의 가장자리에는 이와 직각 방향으로 소정길이 연장되는 플렉시블한 차폐부재를 설치하여 된 것을 그 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a turntable having a plurality of through holes formed at predetermined intervals, a lower surface of the turn table, a chamber having the through holes as openings, and an edge of the through hole of the turn table. A cathode ray tube deposition apparatus having a packing member for maintaining airtightness between an edge and an inside of a chamber, wherein a support of a predetermined height is formed along the edge of the turntable, and a predetermined length extends at a right angle to the edge of the support. The flexible shield member is provided.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제2도는 본 고안에 따른 음극선관용 증착장치가 도시되어 있는 바, 이는 간헐적으로 회전하는 턴테이블(21)에 복수개의 관통공(21a)이 형성되고, 상기 턴테이블(21)의 하면에는 상기 관통공(21a)를 개구부(22a)로 하는 챔버(22)가 설치되고 상기 쳄버(22)의 하면에는 알루미늄을 응용시키기 위한 복수개의 히이터(23)가 설치된다. 그리고 상기 쳄버(22)의 적어도 일측면에는 상기 챔버(22)의 내부를 소정의 진공상태로 유지시키기 위해 도면에 도시되지 않은 진공펌프와 연결된 연결관(24)이 마련되어 있다. 그리고 상기 턴테이블(21)의 관통공(21a) 주위에는 이에 안착되는 패널(100)의 연부와 기밀을 유지하기 위하여 패킹부재(25)가 설치되고, 상기 턴테이블(21)의 관통공(21) 가장자리에는 본 고안의 특징에 따라 소정높이의 서포트(31)가 설치되고 상기 서포트(31)의 단부에는 서포트(31)의 직각방향으로 소정길이 연장되는 차폐부재(32)가 관통공(21a)에 대해 외측방향으로 소정길이 연장되도록 설치되어 있다. 여기에서 상기 차폐부재(32)는 플렉시블한 테프론을 설치함이 바람직하다.FIG. 2 shows a deposition apparatus for a cathode ray tube according to the present invention, in which a plurality of through holes 21a are formed in an intermittently rotating turntable 21, and a lower surface of the turntable 21 has the through holes ( A chamber 22 having 21a as an opening 22a is provided, and a plurality of heaters 23 for applying aluminum are provided on the lower surface of the chamber 22. In addition, at least one side of the chamber 22 is provided with a connection tube 24 connected to a vacuum pump not shown in the drawing to maintain the interior of the chamber 22 in a predetermined vacuum state. In addition, a packing member 25 is installed around the through hole 21a of the turntable 21 to maintain the edge and airtightness of the panel 100 seated thereon, and an edge of the through hole 21 of the turntable 21. In accordance with a feature of the present invention, the support 31 of a predetermined height is installed, and the shielding member 32 extending a predetermined length in a direction perpendicular to the support 31 is provided at the end of the support 31 with respect to the through hole 21a. It is provided to extend a predetermined length in the outward direction. Here, the shielding member 32 is preferably installed a flexible Teflon.

이와같이 구성된 본 고안에 따른 음극선관용 증착장치의 작동설명함에 있어 크기가 서로 다른 패널을 증착하는 것으로 예를 들어 설명하면 다음과 같다.When explaining the operation of the deposition apparatus for cathode ray tubes according to the present invention configured as described as an example of depositing panels of different sizes as follows.

먼저 제2도 및 제3도에 도시된 바와같이 상대적을 큰 패널의 내면을 증착하기 위해서는 상기 챔버(22)의 내부에 설치된 히이터에 알루미늄 편을 장착하고 증착하고자 하는 패널(100)의 내면이 상기 챔버(22)의 내면을 향하도록 장착한다. 이와같이 하면 상기 패널(100)의 스커트부의 내면은 상기 서포트(31)에 지지된 차폐부재(32)의 단부와 접촉되어 패널(100)의 연부와 관통공(21a) 가장자리 사이가 상기 차폐부재(32)에 의해 가리워지게 된다. 이상태에서 상기 쳄버(22)의 내부를 진공으로 함과 아우럴 상기 히이터(23)에 소정의 전압을 인가하여 알루미늄을 용융시켜 이 알루미늄이 증발하여 패널(100)의 내면에 증착되도록 한다. 이때에 히이터(23)으로부터 증발하는 알루미늄은 상기 패널(100)의 연부와 턴테이블(21)의 가장자리에 서포트(31)에 의해 지지되는 차폐부재(32)가 설치되어 있으므로 상기 패킹부재(25)의 상면에 증착되지 않게 된다.First, as shown in FIGS. 2 and 3, in order to deposit an inner surface of a relatively large panel, an inner surface of the panel 100 to be deposited is mounted on an aluminum piece in a heater installed inside the chamber 22. Mount to face the inner surface of the chamber (22). In this way, the inner surface of the skirt portion of the panel 100 is in contact with the end of the shielding member 32 supported by the support 31 so that the edge between the edge of the panel 100 and the edge of the through hole 21a is the shielding member 32. Hidden by). In this state, the inside of the chamber 22 is vacuumed and a predetermined voltage is applied to the heater 23 to melt the aluminum so that the aluminum is evaporated and deposited on the inner surface of the panel 100. At this time, the aluminum evaporated from the heater 23 is provided with a shielding member 32 supported by the support 31 at the edge of the panel 100 and the edge of the turntable 21. It will not be deposited on top.

그리고 상기 패널(100)에 비하여 상대적으로 작은 패널(100')를 증착하기 위해는 상술한 바와같이 챔버(22)의 내부에 알루미늄을 장착하고 상기 패널(100')의 내면이 상기 챔버(22)의내부를 향하도록 설치한다. 이때에 상기 패널(100')의 스커트부는 상기 서포트(31)에 지지된 차폐부재(32)가 구부러지면서 상기패널의 연부와 턴테이블(21)의 관통공(21a) 사이를 차폐하게 된다. 따라서 상기 히이터(23)으로부터 증발하는 알루미늄은 상기 턴테이블(21)의 상면과 패널(100')의 연부를 밀폐시키는 패킹부재(25)의 상면에 증착되지 않게 된다.In order to deposit a panel 100 ′ which is relatively smaller than the panel 100, as described above, aluminum is mounted in the chamber 22, and an inner surface of the panel 100 ′ is formed in the chamber 22. Install it to face inside. At this time, the skirt portion of the panel 100 ′ shields between the edge of the panel and the through hole 21 a of the turntable 21 while the shielding member 32 supported by the support 31 is bent. Therefore, the aluminum evaporated from the heater 23 is not deposited on the top surface of the turntable 21 and the top surface of the packing member 25 sealing the edge of the panel 100 '.

이와같이 본 고안 음극선관용 증착장치는 패널의 내면에 증착되는 알루미늄이 상기 패킹부재의 상면에 증착되지 않게 되므로 종래와 같이 패킹부재의 상면에 알루미늄이 증착되어 패널의 연부와 패킹부재사이의 기밀이 유지되지 않아 알루미늄증착이 불량되는 것을 방지할 수 있으며, 특히 본 고안은 서로다른 규격의 패널의 내면을 증착할 수 있어 호환성있게 증착장치를 사용할 수 있는 이점이 있다.As described above, the apparatus for depositing cathode ray tubes of the present invention does not deposit aluminum deposited on the inner surface of the panel on the upper surface of the packing member. Therefore, it is possible to prevent the deposition of aluminum can be prevented, in particular, the present invention can deposit the inner surface of the panel of different specifications, there is an advantage that can be used interchangeably the deposition apparatus.

Claims

A turntable having a plurality of through holes formed at predetermined intervals, and a packing provided at a lower surface of the turn table and provided at the edge of the through hole of the chamber and the edge of the turn table to maintain airtightness between the edge of the panel and the inside of the chamber In the cathode ray tube deposition apparatus provided with a member, a support 31 having a predetermined height is provided along the edge of the through hole 21a of the turntable 21, and the support 31 is predetermined at a right angle to the end of the turn 31. Deposition apparatus for a cathode ray tube, characterized in that by providing a flexible shield member 32 extending in length.

The apparatus of claim 1, wherein the shielding member is made of a flexible Teflon.