KR950000343B1 - Memory tester - Google Patents

Memory tester Download PDF

Info

Publication number
KR950000343B1
KR950000343B1 KR1019910000138A KR910000138A KR950000343B1 KR 950000343 B1 KR950000343 B1 KR 950000343B1 KR 1019910000138 A KR1019910000138 A KR 1019910000138A KR 910000138 A KR910000138 A KR 910000138A KR 950000343 B1 KR950000343 B1 KR 950000343B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
address
memory
polarity
data
inversion
Prior art date
Application number
KR1019910000138A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR910014951A (en
Inventor
도시미 오오사와
Original Assignee
가부시끼가이샤 아드반테스트
오오우라 히로시
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시끼가이샤 아드반테스트, 오오우라 히로시 filed Critical 가부시끼가이샤 아드반테스트
Publication of KR910014951A publication Critical patent/KR910014951A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR950000343B1 publication Critical patent/KR950000343B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/56External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation

Abstract

내용 없음.No content.

Description

메모리 시험장치Memory tester

제 1 도는 극성반전기능을 갖는 DRAM의 비트선을 설명하기 위한 도면,1 is a diagram for explaining a bit line of a DRAM having a polarity inversion function;

제 2 도는 종래의 메모리 시험장치의 블록도,2 is a block diagram of a conventional memory test apparatus,

제 3 도는 극성반전영역의 일례를 나타내는 도면,3 is a diagram showing an example of a polarity inversion region;

제 4a 도는 X 어드레스영역 반전메모리에 설정되는 데이타예의 표시도,4A is a display diagram of an example of data set in the X address area inversion memory;

제 4b 도는 Y 어드레스영역 반전메모리에 설정되는 데이타예의 표시도,4B is a display diagram of an example of data set in the Y address region inversion memory;

제 5 도는 반전레지스터에 설정되는 데이타예의 표시도,5 is a display diagram of an example of data set in the inversion register;

제 6 도는 극성반전영역의 다른 예의 표시도,6 is a view showing another example of the polarity inversion region,

제 7 도는 본 발명의 메모리 시험장치의 실시예를 나타내는 블록도,7 is a block diagram showing an embodiment of a memory test apparatus of the present invention;

제 8 도는 제 7 도에 있어서의 극성제어기(40)의 구체예의 표시도,8 is a display diagram of a specific example of the polarity controller 40 in FIG.

제 9 도는 영역반전메모리(48)에 격납되는 데이타예의 표시도.9 is a diagram showing an example of data stored in the area inversion memory 48;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 패턴발생기 11 : 어드레스 발생기10: pattern generator 11: address generator

12 : 데이타 발생기 20 : 피시험 메모리12: data generator 20: memory under test

30 : 논리비교기30: logical comparator

본 발명은 반도체에 의해 만들어진 메모리를 시험하는 메모리 시험장치에 관한 것으로서, 특히 기억용량이 큰 메모리를 시험하는데 적합한 기능을 부가한 메모리 시험장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a memory test apparatus for testing a memory made by a semiconductor, and more particularly, to a memory test apparatus with a function suitable for testing a memory having a large storage capacity.

다이나믹랜덤억세스메모리(DRAM)에 있어서는 메모리셀로부터의 판독을 위한 비트센스회로에 차동의 센스 앰프를 사용한다. 예컨대, 제 1 도에 도시하는 바와같이, 워드라인이라 불리우는 수직방향의 선(X1, X2,…)이 X 어드레스(컬럼어드레스)에 대응하여 설치되고, 각 Y 어드레스(로우어드레스)에 대해서는 각각 비트선이라 불리우는 한쌍의 수평방향의 선(Y1a, Y1b), (Y2a, Y2b), …이 설치되어 있다.In dynamic random access memory (DRAM), a differential sense amplifier is used as a bit sense circuit for reading from a memory cell. For example, as shown in FIG. 1, vertical lines X1, X2, ... called word lines are provided corresponding to X addresses (column addresses), and bits are provided for each Y address (low address), respectively. A pair of horizontal lines Y1a, Y1b, Y2a, Y2b, called lines; Is installed.

각 쌍의 비트선 (Y1a, Y1b), (Y2a, Y2b),…은 동일 Y 어드레스상의 일련의 X 어드레스의 메모리셀(MC)에 대하여 번갈이 접속되어 있고, 일단에서 센스앰프(SA1, SA2), ... 의 대응하는 하나의 비반전 입력과 반전입력에 접속되어 있다. 따라서 임의의 메모리셀(MC)에 논리치 "1"을 기입하더라도 그 메모리셀(MC)에 접속되어 있는 비트선이 센스앰프의 두 입력의 어느쪽에 접속되어 있는지에 따라 판독된 출력논리가 달라진다.Each pair of bit lines (Y1a, Y1b), (Y2a, Y2b),... Are alternately connected to the memory cells MC of a series of X addresses on the same Y address, and are connected at one end to corresponding non-inverting inputs and inverting inputs of the sense amplifiers SA1, SA2, ... have. Therefore, even if the logical value "1" is written into an arbitrary memory cell MC, the output logic read out depends on which of the two inputs of the sense amplifier is connected to the bit line connected to the memory cell MC.

따라서, 이와같은 DRAM은 메모리셀(MC)에 데이타를 기입할때에 그들 메모리셀(MC)이 한쌍의 비트선의 어느쪽에 접속되어 있는지에 따라 데이타를 그대로 그들 메모리셀에 기억하든가 아니면 데이타의 논리를 반전하여 기억함으로써 항상 바른 논리로 데이타를 판독할 수 있도록 되어 있다. 이와같은 DRAM의 기능을 극성반전기능이라 부르기로 한다. 또, 상기에서는 각 Y 어드레스를 한쌍의 비트선으로 어드레스하는 경우를 표시하였으나 각 X 어드레스를 한쌍의 비트선으로 억세스하여 차동센스앰프에서 판독하도록 구성될 경우도 있고, 또는 이들의 조합이 구성될 경우도 있다.Therefore, when such data is written into the memory cells MC, the DRAM stores the data in the memory cells as it is or the logic of the data depending on which of the pair of bit lines is connected. By reversing and storing, data can always be read with correct logic. Such a DRAM function will be referred to as a polarity inversion function. In the above, the case where each Y address is addressed by a pair of bit lines is shown, but each X address may be configured to be accessed by a pair of bit lines and read by a differential sense amplifier, or a combination thereof may be configured. There is also.

DRAM의 용량이 4M 비트, 16M 비트로 대용량이 됨에 따라 비트선 사이의 결합용량이 증가되고, 또 각 메모리셀의 용량이 감소되므로 판독의 S/N가 저하되는 문제가 있다.As the capacity of the DRAM becomes 4M bits and 16M bits, the coupling capacity between the bit lines increases, and the capacity of each memory cell decreases, so that the S / N of reading decreases.

이 문제를 방지하기 위하여 각 차동센스앰프에 접속된 한쌍의 비트선을 도중 복수부위에서 서로 교차시킴으로써 서로 접근하는 비트선에 의한 커플링노이즈를 절감시키고, S/N를 향상시키는 투위스티드(twisted)비트선 방식이 가끔 사용되고 있다.In order to prevent this problem, a twisted pair of bit lines connected to each differential sense amplifier intersect each other at a plurality of portions to reduce coupling noise by bit lines approaching each other and to improve S / N. The bit line method is sometimes used.

이 방식에서는 데이타의 논리를 반전시켜 기입하는 어드레스와, 반전시키지 않고 기입하는 어드레스가 복잡하게 섞여 있기 때문에 기입제어가 복잡해지는 문제가 있다.This method has a problem in that the write control is complicated because the address for inverting the logic of data and the address for writing without inversion are mixed.

극성반전기능이 부가된 메모리를 시험할 경우, 종래와 동일하게 단순히 어드레스와 데이타(시험데이타와 기대치 데이타(expected data)로 이루어짐)로 이루어지는 시험패턴 신호를 피시험 메모리에 부여하여 시험데이타를 지정한 어드레스에 기입하여 이를 판독하고, 그 판독된 데이타가 기대치 데이타와 일치하는지의 여부를 시험하는 것 외에 메모리 내부에서 극성(즉, 논리)이 반전되어 기입이 행해지는 기억영역과, 반전되지 않고 기입이 행해지는 기억영역의 데이타의 극성분포가 같아지도록 기입을 행하거나, 혹은 그들 두 기억영역 전체에 "1"을 기입하거나, 또는 "0"을 기입하는 극단적인 조건하에서 동작시켜 시험을 행하는 것이 요구된다.When testing a memory with a polarity inversion function, the test data is designated by simply giving a test pattern signal consisting of an address and data (consisting of test data and expected data) to the memory under test as in the prior art. Writes to and reads the data, and tests whether the read data matches the expected data, in addition to a memory area in which the polarity (i.e., logic) is inverted and written in the memory, and writing is performed without inversion. It is required to perform the test by writing so that the polarity distribution of the data in the storage area is the same, or by operating under extreme conditions in which " 1 " or " 0 "

이와같은 시험을 행하는데는 시험패턴을 발생하는 패턴발생기의 패턴발생 프로그램을 개작하면 실행될 수 있으나 프로그램 개작은 수고가 들고 까다롭다. 또 피시험 메모리의 규격이 일정하지 않고, 극성반전 영역과 비반전 영역이 일정하지 않기 때문에 각 규격에 합치하도록 프로그램을 개작하는 것도 번거롭다.Such a test can be executed by modifying the pattern generator program of the pattern generator that generates the test pattern, but the program modification is laborious and difficult. In addition, since the specifications of the memory under test are not constant and the polarity inversion area and the non-inversion area are not constant, it is cumbersome to modify the program to conform to each standard.

이 때문에 종래부터 피시험 메모리의 극성반전 영역을 시험장치에 인식시키고, 극성반전 영역을 억세스할때에 시험데이타 신호의 극성을 「반전시킨다」,「반전시키지 않는다」를 자유롭게 제어할 수 있도록 구성한 시험장치가 만들어지고 있다.For this reason, a test is constructed so that the polarity inversion region of the memory under test is conventionally recognized by the test apparatus and the polarity of the test data signal can be "inverted" or "not inverted" freely when the polarity inversion region is accessed. The device is being built.

제 2 도는 그 일례를 나타낸다.2 shows an example thereof.

도면중 10은 패턴 발생기를 도시한다. 패턴발생기(10)에는 어드레스 발생기(11)와, 시험데이타 및 기대치데이타를 발생하는 데이타 발생기(12)를 구비하며, 어드레스 발생기(11)에서 출력되는 어드레스신호(AD)가 피시험 메모리(20)의 어드레스 입력단자에 부여되어 피시험 메모리(20)가 억세스됨과 동시에 그 억세스된 어드레스에 데이타 발생기(12)에서 시험데이타신호(TD)를 주어 기입과 판독을 행한다.10 shows a pattern generator. The pattern generator 10 includes an address generator 11 and a data generator 12 for generating test data and expected data. The address signal AD output from the address generator 11 includes the memory under test 20. The memory 20 to be accessed is provided to the address input terminal of < RTI ID = 0.0 >, < / RTI > and the test data signal TD is given to the accessed address by the data generator 12 to write and read.

시험메모리(20)에서 판독된 응답출력(OD)은 논리비교기(30)에 부여되고, 논리비교기(30)에 있어서 데이타 발생기(12)에서 출력되는 기대치 데이타(ED)와 비교되어 비교결과(CR)가 출력된다. 비교결과가 불일치를 나타내고 있을 때, 그 피시험 메모리(20)는 불량이라고 판정한다. 혹은 비교결과(CR)는 메모리의 불량해석을 위해 도시하지 않는 페일 메모리에 기억된다.The response output OD read out from the test memory 20 is supplied to the logic comparator 30, and is compared with the expected value data ED output from the data generator 12 in the logic comparator 30 to compare the result of the comparison (CR). ) Is output. When the comparison result indicates inconsistency, the memory under test 20 determines that it is bad. Alternatively, the comparison result CR is stored in a fail memory not shown for the poor analysis of the memory.

데이타 발생기(12)에서 피시험 메모리(20)에 부여하는 시험데이타신호(TD)의 통로(13)와, 데이타 발생기(12)에서 논리비교기(30)에 기대치 데이타신호(ED)를 부여하는 통로(14)에 극성전환기(15,16)가 설치된다. 이 극성전환기(15,16)가 극성제어기(40)에서 출력되는 극성전환신호(CS)에 의해 전환제어되고, 어드레스 영역마다 피시험 메모리(20)에 기입하는 시험데이타신호(TD)의 극성을 선정할 수 있도록 구성된다.The passage 13 of the test data signal TD applied to the memory under test 20 by the data generator 12 and the passage of applying the expected data signal ED to the logical comparator 30 by the data generator 12. Polarity converters 15 and 16 are provided at 14. The polarity changers 15 and 16 are switched-controlled by the polarity change signal CS output from the polarity controller 40, and the polarity of the test data signal TD written in the memory under test 20 for each address area is set. It is configured to be selected.

극성제어기(40)는 피시험 메모리(20)의 극성반전 영역을 인식하기 위하여 설치된 반전 영역메모리(41, 42, 43)와, 극성반전영역에 인가되는 시험데이타신호(TD) 및 기대치데이타신호(ED)의 극성을 반전시킬 것인지의 여부를 결정하는 반전데이타를 기억하는 반전데이타 레지스터(44)와, 이 반전데이타 레지스터(44)에 기억된 반전데이타를 선택하여 출력하는 반전데이타 선택기(45)에 의해 구성된다.The polarity controller 40 includes inverted region memories 41, 42, and 43 provided for recognizing the polarity inversion region of the memory under test 20, a test data signal TD and an expected data signal applied to the polarity inversion region. To an inversion data register 44 for storing inversion data for determining whether to reverse the polarity of ED) and an inversion data selector 45 for selecting and outputting inversion data stored in the inversion data register 44. It is composed by.

이 예에서는 어드레스신호를 X 어드레스신호(AX)와 Y 어드레스신호(AY)와, Z 어드레스신호(AZ)로 하고, 이들 X 어드레스신호(AX)와, Y 어드레스신호(*AY)와, Z ㅇ드레스신호(AZ)를 각각 세개의 반전영역 메모리(41, 42, 43)에 나누어 주고, 각 반전영역메모리(41, 42, 43)를 X 어드레스 신호(AX)와, Y 어드레스신호(AY) 및 Z 어드레스신호(AZ)에 의해 억세스하도록 구성할 경우를 나타낸다.In this example, the address signals are the X address signal AX, the Y address signal AY, and the Z address signal AZ. These X address signals AX, the Y address signal * AY, and Z o are obtained. The dress signal AZ is divided into three inverted region memories 41, 42, and 43, and each inverted region memory 41, 42, 43 is divided into an X address signal AX, a Y address signal AY, and This is a case where the access is made by the Z address signal AZ.

반전영역메모리(41, 42, 43)의 피시험 메모리(20)의 극성반전할 영역내의 어드레스에는 미리, 가령, "1"논리를 기입해 둔다. 예컨대, 간단하기 위하여 피시험 메모리(20)의 용량은 256비트이고, 그 각 메모리셀은 4 비트의 X 어드레스(AX=X0X1X2X3)와 4비트의 Y 어드레스(AY=Y0Y1Y2Y3)로 억세스되는 것으로 하고, Z 어드레스는 사용하지 않도록 한다. 이 메모리(20)의 전 영역은 가령 제 3 도에 도시하는 바와 같이 사선으로 표시하는 극성반전영역(INV)와 공백의 비반전영역(NINV)으로 나뉘어져 있는 것으로 한다. 이 경우, 도면에서 명백한 바와같이 극성반전영역(INV)의 X 어드레스(AX)는 AX=**11, 단 *는 "0" 또는 "1"로 표시되고, Y 어드레스(AY)는 AY=**11로 표시된다. 따라서, X 어드레스 영역반전메모리(41)에는 제 4a 도에 도시하는 바와같이 어드레스 "11"∼"1111"에 "1"이 미리 기입되고, Y 어드레스영역 반전메모리(42)에는 제 4b 도에 도시하는 바와같이 어드레스 "11"∼"1111"에 "1"이 미리 기입된다. 따라서, 어드레스 발생기(11)에는 피시험 메모리(20)의 극성반전 영역내의 어드레스가 출력되면 각 반전영역메모리(41, 42, 43)의 각각에서 "1"논리가 판독된다.For example, " 1 " logic is written in advance in the address in the polarity inversion area of the memory under test 20 of the inversion area memories 41, 42, 43. For example, for simplicity, the memory under test 20 has a capacity of 256 bits, and each memory cell has a 4-bit X address (AX = X 0 X 1 X 2 X 3 ) and a 4-bit Y address (AY = Y). 0 Y 1 Y 2 Y 3 ), and do not use the Z address. As shown in FIG. 3, the entire area of the memory 20 is divided into a polarity inversion area INV indicated by an oblique line and a non-inverted area NINV of a blank. In this case, as is apparent from the figure, the X address AX of the polarity inversion region INV is AX = ** 11, where * is represented by "0" or "1", and the Y address AY is AY = *. * 11 is displayed. Therefore, as shown in FIG. 4A, "1" is written in advance in the addresses "11" to "1111" in the X address region inversion memory 41, and in FIG. 4B in the Y address region inversion memory 42. As described above, "1" is written in advance in addresses "11" to "1111". Therefore, when the address in the polarity inversion area of the memory under test 20 is output to the address generator 11, " 1 " logic is read in each of the inversion area memories 41, 42, 43.

반전영역메모리(41, 42, 43)에서 판독되는 데이타(x, y, z)는 3비트의 선택신호로서 반전데이타 선택기(45)에 입력된다. 반전데이타 선택기(45)는 3개의 반전영역메모리(41, 42, 43)에서 판독되는 데이타(x, y, z)에 따라 반전데이타 레지스터(44)에 기억되며 시험데이타신호를 반전시킬 것인지의 여부를 결정하는 반전데이타를 선택하여 꺼낸다.The data (x, y, z) read from the inversion area memories 41, 42, 43 are input to the inversion data selector 45 as a 3-bit selection signal. The inversion data selector 45 is stored in the inversion data register 44 according to the data (x, y, z) read out from the three inversion area memories 41, 42, 43, and whether or not to invert the test data signal. Select and pull out the inversion data to determine.

반전데이타 레지스터(44)는 예컨대 8비트의 레지스터에 의해 구성할 수 있고, 3개의 반전영역메모리(41, 42, 43)에서 판독되는 데이타에 의해 구성되는 선택신호(x y z)가 000∼111일 때 반전데이타 선택기(45)는 제 5 도에 도시하는 바와같이 반전데이타 레지스터(44)의 제 1 비트(B1)∼제 8 비트(B8)를 각각 선택한다. 피시험 메모리(20)가 제 3 도에 도시하는 극성반전영역(INV)를 가질 경우는 X 어드레스(AX)와 Y 어드레스(AY)에 의해 제 4a 도 및 제 4b 도에 도시하는 X 어드레스 영역반전메모리(41)와 Y 어드레스 영역반전메모리(42)에서 각각 판독된 데이타(x, y)적어도 어느 한쪽이 "1"이면 그 X 어드레스(AX)와 Y 어드레스(AY)에 의해 지정되는 메모리셀은 극성반전영역(INV)내에 있기 때문에 선택신호(x y z)중의 x와 y의 적어도 한쪽이 "1" 이 되는 선택신호(x y z)에 의해 선택되는 반전데이타 레지스터(44)의 비트위치에는 모두 "1"을 미리 기입해 둔다. 이에 의해 8비트의 레지스터에 제 5 도에 도시하는 바와 같이 가령 0, 1, 1, 1, 0, 1, 1, 1이 기입되어 있다. 즉 선택신호(x y z)가 000일때와 001일때는 각각 제 1 비트(B1) 및 제 5 비트(B5)의 반전데치타 "0"를 선택하여 꺼내고, 이 반전데이타를 극성전환기(15, 16)에 부여한다. 또, 선택신호(x y z)가 100, 010, 110, 101, 011, 111일때는 반전데이타 선택기(45)는 각각 제 2, 3, 4, 6, 7, 8비트(B2.,B3,B4,B6,B8)의 반전데이타 "1"를 선택하고, 이 "1"논리의 반전데이타를 극성전환기(15, 16)에 부여한다.The inversion data register 44 can be constituted by an 8-bit register, for example, and when the selection signal xyz composed of data read from the three inversion area memories 41, 42 and 43 is 000 to 111. The inversion data selector 45 selects the first bit B 1 to the eighth bit B 8 of the inversion data register 44, respectively, as shown in FIG. When the memory under test 20 has the polarity inversion area INV shown in FIG. 3, the X address area inversion shown in FIGS. 4A and 4B is shown by the X address AX and the Y address AY. If at least one of the data (x, y) respectively read from the memory 41 and the Y address area inversion memory 42 is " 1 ", the memory cell designated by the X address AX and Y address AY is Since it is in the polarity inversion area INV, at least one of the bit positions of the inversion data register 44 selected by the selection signal xyz in which at least one of x and y in the selection signal xyz becomes " 1 " Please fill in in advance. As a result, for example, 0, 1, 1, 1, 0, 1, 1, 1 are written into an 8-bit register as shown in FIG. In other words, when the selection signal xyz is 000 and 001, the inverted digital data "0" of the first bit B 1 and the fifth bit B 5 is selected and taken out, respectively, and the inverted data is selected from the polarity changer 15, 16). In addition, the selection signal (xyz), 100, 010, 110, 101, 011, 111 when the inversion data selector 45 are each claim 2, 3, 4, 6, 7, 8-bit (B 2., B 3, The inversion data "1" of B 4 , B 6 and B 8 ) is selected, and this inversion data of the "1" logic is given to the polarity changers 15 and 16.

극성전환기(15, 16)는 이 예에서는 배타적 논리합 회로에 의해 구성할 경우를 나타내고, 반전데이타 선택기(45)에서 "0"논리의 반전데이타가 부여될 때는 데이타 발생기(12)에서 출력되는 시험데이타신호(TD) 및 기대치 데이타신호(ED)는 극성반전되지 않고 그대로의 극성으로 피시험 메모리(20)와 비교기(30)에 부여된다. 이에 대해 극성전환기(15, 16)에 "1"논리의 반전데이타가 입력되면, 이 경우에는 데이타 발생기(12)에서 발생된 시험데이타신호(TD) 및 기대치 데이타신호(ED)는 극성전화기(15, 16)에 있어서 극성이 반전되어 피시험 메모리(20)와 비교기(30)에 부여된다.In this example, the polarity changers 15 and 16 represent a case where an exclusive logical sum circuit is constituted, and the test data output from the data generator 12 when the inversion data of "0" logic is given to the inversion data selector 45. The signal TD and the expected value data signal ED are provided to the memory under test 20 and the comparator 30 with the same polarity without being reversed in polarity. On the other hand, if inverted data of " 1 " logic is input to the polarity changers 15 and 16, in this case, the test data signal TD and the expected value data signal ED generated by the data generator 12 are the polarity telephones 15. And 16), the polarity is reversed and applied to the memory 20 and the comparator 30 under test.

따라서, 상기한 예에서는 제 3 도에 도시하는 극성반전영역(INV)에서는 시험데이타신호(TD)는 논리가 반전되어서 기입이 행해진다.Therefore, in the above example, in the polarity inversion region INV shown in FIG. 3, the test data signal TD is inverted in logic so that writing is performed.

상기에서 분명한 바와같이 제 4a 도 및 제 4b 도는 도시하는 X 어드레스영역 반전메모리(41) 및 Y 어드레스영역 반전영역메모리(42)에 미리 기입하는 데이타, 및/또는 제 5 도에 도시하는 반전데이타 레지스터(44)에 미리 기입하는 데이타를 변경함으로써 피시험 메모리(20)에 대한 기입의 극성(논리)을 반전하는 영역을 변경할 수 있다.As apparent from the above, FIGS. 4A and 4B show data previously written to the X address region inversion memory 41 and Y address region inversion region memory 42, and / or the inversion data register shown in FIG. By changing the data to be written to (44) in advance, the area for inverting the polarity (logical) of the writing to the memory under test 20 can be changed.

제 3 도에 도시하는 극성반전영역(INV)의 예에서는 X 어드레스(AX=X0X1X2X3)의 상위 2비트(X2, X3)가 양쪽 모두 "1"인 영역과 Y 어드레스(AY=Y0Y1Y2Y3)의 상위 2비트(Y2, Y3)가 양쪽 모두 "1"인 영역에 있어서 극성반전을 행하기 때문에 극성반전영역(INV)을 다음 논리식을 만족시키는 어드레스(AX, AY, AZ)로 지정된다.In the example of the polarity inversion region (INV) shown in FIG. 3 the X address (AX = X 0 X 1 X 2 X 3) the upper two bits (X 2, X 3) are both "1" in area and Y of The polarity inversion area (INV) is converted to the polarity inversion area in the area where the upper two bits (Y 2 , Y 3 ) of the address (AY = Y 0 Y 1 Y 2 Y 3 ) are both "1". It is specified by satisfying addresses AX, AY, and AZ.

1=X2·X3+Y2·Y3………………………………………………(1)1 = X 2 X 3 + Y 2 Y 3 . … … … … … … … … … … … … … … … … … (One)

그러나 이 논리식 (1)의 예에서 대표되는 바와같이 제 2 도에 도시하는 종래의 반도체 시험장치에 있어서는 극성반전영역을 지정하는 기본원리는 X 어드레스(AX), Y 어드레스(AY), Z 어드레스 (AZ)에 의해 각각 X 어드레스 극성반전영역, Y 어드레스 극선반전영역, Z 어드레스 극성반전영역을 각각 지정하고(가령 논리식 (1)에 있어서의 X2·X3과 Y2·Y3), 그들 지정된 영역의 조합(논리합 또는 논리곱, 가령 상기 논리식에 있어서의 X2·X3과 Y2·Y3의 논리합)을 선택하는 것에 의거하고 있기 때문에 지정가능한 극성반전영역은 단순한 것에 한정되어 있다. 가령 제 6 도에 도시하는 사선의 영역(INV)을 극성반전영역으로 하는 어드레스영역은 논리식(1)에 있어서 X3과 Y2를 바꾸어 넣은 다음 논리식 (2)을 만족시키는 어드레스로 지정된다.However, in the conventional semiconductor test apparatus shown in FIG. 2 as represented by the example of this logical formula (1), the basic principles for specifying the polarity inversion region are X address (AX), Y address (AY), and Z address ( AZ) respectively designates the X address polarity inversion area, the Y address polarity inversion area, and the Z address polarity inversion area, respectively (for example, X 2 X 3 and Y 2 Y 3 in logical formula (1)). Since the combination of the regions (logical sum or logical product, for example, the logical sum of X 2 · X 3 and Y 2 · Y 3 in the above formula) is selected, the polarity inversion region that can be specified is limited to the simple one. For example, an address area whose diagonal area INV shown in FIG. 6 is a polarity inversion area is designated as an address that satisfies logical expression (2) after replacing X 3 and Y 2 in logical expression (1).

1=X2·X3+Y2·Y3………………………………………………(2)1 = X 2 X 3 + Y 2 Y 3 . … … … … … … … … … … … … … … … … … (2)

제2 도의 장치에서는 이 논리식(2)에서 표시되는 바와같은 극성반전영역을 지정할 수는 없다. 즉, X 어드레스(AX)와 Y 어드레스(AY) 사이의 논리곱, X 어드레스(AX)와 Z 어드레스(AZ) 사이의 논리곱 및 Y 어드레스(AY)와 Z 어드레스(AZ) 사이의 논리곱의 적어도 어느 둘을 포함하는 논리식으로 표시되는 극성반전영역은 특수한 경우를 제외하여 지정할 수는 없었다.In the apparatus of FIG. 2, it is not possible to designate the polarity inversion region as shown in this logical formula (2). That is, the logical product between the X address (AX) and the Y address (AY), the logical product between the X address (AX) and Z address (AZ) and the logical product between the Y address (AY) and Z address (AZ). The polarity inversion region, represented by a logical expression including at least either, could not be specified except in special cases.

또 반전영역메모리(41, 42, 43)는 X, Y, Z 어드레스신호(AX, AY, AZ)의 각 어드레스길이(즉 비트수)에 의해 결정되는 전 어드레스 수의 비트용량이 필요해지기 때문에 큰 용량의 메모리가 필요해진다. 가령, 각 어드레스(AX, AY, AZ)가 16비트일 경우, 각 (X, Y, Z)영역 반전메모리(41, 42, 43)에 각각 64K 비트의 메모리가 필요해진다.The inversion area memories 41, 42, and 43 have a large capacity since the bit capacity of all the address numbers determined by the address lengths (i.e., the number of bits) of the X, Y, and Z address signals AX, AY, and AZ is required. A memory of capacity is needed. For example, when each address (AX, AY, AZ) is 16 bits, 64K bits of memory are required for each (X, Y, Z) area inversion memory 41, 42, 43, respectively.

단, Z 어드레스는 필요없을 경우도 있고, 사용할 경우는 X, Y 어드레스에 비해 상당히 짧을 경우가 많다.However, the Z address may not be necessary, and when used, it is often considerably shorter than the X and Y addresses.

본 발명의 목적은 극성반전기능을 내장한 메모리를 시험하는 메모리 시험장치에 있어서, 적은 하드웨어량으로 임의의 형태 영역을 반전영역으로서 지정할 수 있는 메모리 시험장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a memory test apparatus for testing a memory having a polarity inversion function, wherein any shape region can be designated as an inversion region with a small amount of hardware.

본 발명에 의하면 피시험 메모리에 부여하는 어드레스신호를 발생하는 어드레스 발생기와, 이 어드레스발생기가 출력하는 어드레스 신호에 동기하여 피시험 메모리에 부여되는 시험데이타 신호 및 기대치 데이타신호를 발생하는 데이타 발생기와, 이 데이타 발생기에서 피시험 메모리에 인가하는 시험데이타신호를 피시험 메모리내의 극성반전영역에 합치시켜서 극성 반전시키는 극성반전기와, 이 극성반전기에 극성반전을 위한 제어신호를 부여하는 극성제어기와를 구비한 메모리 시험장치에 있어서, 극성제어기를 어드레스 발생기가 출력하는 어드레스신호중의 극성을 반전할 영역을 선택하기 위한 비트를 기억하는 비트 레지스터회로와, 이 비트 레지스터회로에 설정된 비트데이타에 의해 어드레스 발생기에서 출력되는 어드레스신호중의 소정한 비트를 적출하는 비트 선택회로와, 이 비트 선택회로에 의해 선택된 비트에 의해 구성되는 합성 어드레스신호에 의해 억세스되고, 피시험 메모리에 극성반전되는 영역내의 어드레스신호가 인가된 것을 검출하여 극성반전기에 극성반전신호를 부여하는 영역반전메모리가 설치된다.According to the present invention, there is provided an address generator for generating an address signal applied to a memory under test, a data generator for generating a test data signal and an expected value data signal applied to the memory under test in synchronization with the address signal output by the address generator; A polarity inverter for matching the test data signal applied to the memory under test by the data generator to the polarity inversion area in the memory under test, and a polarity controller for providing a control signal for polarity inversion to the polarity inversion device; A memory test apparatus, comprising: a bit register circuit for storing a bit for selecting a region for inverting polarity among address signals outputted by an address generator from a polarity controller, and outputted from the address generator by bit data set in the bit register circuit; Predetermined address signal The polarity of the polarity inverter is detected by detecting that a bit selection circuit for extracting bits and an address signal in a region that is accessed by a composite address signal constituted by the bits selected by the bit selection circuit and polarity reversed to the memory under test are applied. An area inversion memory for providing an inversion signal is provided.

본 발명의 구성에 의하면 피시험 메모리의 형식에 따라 극성반전되는 영역을 규정하는 어드레스신호의 비트위치를 비트 레지스터회로에 설정한다.According to the configuration of the present invention, the bit position of the address signal which defines the polarity inverted area according to the format of the memory under test is set in the bit register circuit.

이 설정된 비트데이타가 비트 선택회로에 부여되고, 이 비트 선택회로에 의해 비트 레지스터회로에 설정된 소정수의 비트가 적출되고, 합성 어드레스신호로서 영역반전메모리에 부여된다. 영역반전메모리에는 피시험 메모리내에 있어서 극성이 반전되어 기입이 행해지는 영역에 대응한 어드레스에 극성반전신호를 기입한다.This set bit data is supplied to the bit selection circuit, and a predetermined number of bits set in the bit register circuit are extracted by this bit selection circuit, and supplied to the area inversion memory as a composite address signal. In the area inversion memory, the polarity inversion signal is written to an address corresponding to an area in which the polarity is reversed and writing is performed in the memory under test.

따라서, 본 발명에 의하면 피시험 메모리가 그 극성이 반전되어 기입 및 판독이 행해지는 어드레스 영역이 억세스되면 그때 영역반전메모리에서 극성반전신호가 판독된다. 이 극성반전신호가 극성반전기에 인가되어 데이타 발생기에서 피시험 메모리에 부여되는 데이타 신호의 극성이 반전되고, 데이타 신호의 극성을 반전하여 기입을 행한다.Therefore, according to the present invention, when the memory under test has its polarity reversed and the address area where writing and reading is performed is accessed, the polarity inversion signal is read from the area inversion memory at that time. This polarity inversion signal is applied to the polarity inversion polarity, the polarity of the data signal applied to the memory under test by the data generator is inverted, and the polarity of the data signal is inverted to write.

이와같이 본 발명에 따르면 피시험 메모리의 극성반전영역을 규정하기 위하여 필요 최소한의 비트수의 합성 어드레스신호를 사용하여 영역반전메모리를 억세스하는 구성으로 했기 때문에 영역반전메모리는 소용량의 메모리로 만족시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the area inversion memory can be satisfied with a small memory since the area inversion memory is accessed by using a synthetic address signal having the minimum number of bits necessary to define the polarity inversion area of the memory under test. .

그리고, 이 영역반전메모리의 임의의 어드레스에 극성반전신호를 기입해둠으로써 어느 어드레스 영역에 대해서도 극성반전신호를 발생시킬 수 있다. 또 종래와 같이 대용량의 메모리를 사용하지 않아도 되기 때문에 하드웨어량을 적게 할 수 있다. 따라서, 염가로 제작할 수 있는 점과 고속처리가 가능하다는 이점을 얻을 수 있다.The polarity inversion signal can be generated in any address area by writing the polarity inversion signal to an arbitrary address of the area inversion memory. In addition, since there is no need to use a large memory as in the prior art, the amount of hardware can be reduced. Therefore, it is possible to obtain the advantage that it can be manufactured at low cost and that high speed processing is possible.

제 7 도에 본 발명의 일실시예를 도시한다.7 shows one embodiment of the present invention.

제 7 도에 있어서, 제 2 도와 대응하는 부분에는 동일부호를 부가하여 나타낸다.In FIG. 7, the same code | symbol is attached | subjected to the part corresponding to 2nd degree.

패턴발생기(10)와, 극성제어기(40)와, 극성반전기(15, 16)와, 비교기(30)등에 의해 구성되는 극성반전기능을 갖는 메모리를 시험하는 메모리 시험장치에 있어서, 본 발명에서는 극성제어기(40)를 비트 레지스터회로(46)와, 비트 선택회로(47)와, 영역반전메모리(48)에 의해 구성한다.In the memory test apparatus for testing a memory having a polarity inversion function constituted by the pattern generator 10, the polarity controller 40, the polarity inverters 15 and 16, the comparator 30, and the like, in the present invention, The polarity controller 40 is constituted by the bit register circuit 46, the bit select circuit 47, and the area inversion memory 48.

비트 선택회로(47)에는 어드레스 발생기(11)로부터의 어드레스신호(AD ; X, Y, Z 어드레스 AX, AY, AZ로 구성되어 있다)의 전비트가 병렬로 입력되고, 그들 전비트 중의 소망하는 수의 소망하는 위치의 비트가 비트 레지스터회로(46)에서 부여된 선택신호(S)에 상응하여 선택 출력된다. 비트 레지스터회로(46)에는 비트선택회로(47)에 있어서 선택해야할 비트 위치를 지정하는데 필요한 수의 선택신호(S)를 출력하기 위한 비트데이타가 미리 기억되어 있다. 비트 선택회로에 의해 선택된 비트에 의해 구성되는 합성 어드레스(CA)는 영역반전메모리(48)에 부여되고 대응하는 어드레스에서 판독된 극성반전제어신호(CS)가 극성반전기(15, 16)에 부여된다.The bit selection circuit 47 is inputted in parallel with all bits of the address signal (AD; X, Y, Z address AX, AY, AZ) from the address generator 11, and the desired ones of all the bits are inputted in parallel. The bits of the desired position of the number are selected and output in correspondence with the selection signal S provided by the bit register circuit 46. In the bit register circuit 46, bit data for outputting the number of selection signals S necessary for designating the bit positions to be selected in the bit selection circuit 47 are stored in advance. The composite address CA constituted by the bit selected by the bit selection circuit is given to the area inversion memory 48 and the polarity inversion control signal CS read out from the corresponding address is given to the polarity inverters 15 and 16. do.

제 8 도는 제 7 도에 있어서의 극성제어기(40)의 구체적 구성예를 나타낸다.8 shows a specific configuration example of the polarity controller 40 in FIG.

비트선택회로(47)는 미리 결정한 수(n ; n은 2 이상의 정수)의 멀티플렉서(471∼47n)로 이루어지고, 멀티플렉서(471∼47n)에는 각각 어드레스신호(AD)의 전비트가 병렬로 입력된다. 비트 레지스터회로(46)는 n개의 레지스터(461∼46n)를 가지고, 각각 비트 선택데이타가 기억되어 있다. 레지스터(461∼46n)내의 비트선택데이타는 선택신호(S1∼Sn)로서 각각 대응하는 멀티플렉서(471∼47n)에 선택제어단자(SEL)에 부여되고, 그에 의해 각 멀티플렉서는 입력 어드레스(AD)의 전비트에서 지정된 소망하는 하나의 비트를 출력한다. 밀티플렉서(471∼47n)에서 선택출력된 n개의 비트데이타는 합성 어드레스(CA)로서 영역반전메모리(48)에 부여되고 반전제어데이타가 판독되어 극성반전제어신호(CS)로서 출력된다.Bit select circuit 47 is pre-determined number; comprise a multiplexer (47 1 ~47 n) of (n n is an integer of 2 or greater), the multiplexer (47 1 ~47 n) are respectively all of the bits of the address signal (AD) Is input in parallel. The bit register circuit 46 has n registers 46 1 to 46 n , and bit selection data are stored, respectively. The bit selection data in the registers 46 1 to 46 n are applied to the selection control terminal SEL to the multiplexers 47 1 to 47 n corresponding to the selection signals S 1 to Sn, respectively, thereby inputting each multiplexer. The desired one bit specified in all the bits of the address AD is outputted. Wheat selected from tipeul Lexus (47 1 ~47 n) outputs the n-bit data is given to the area inversion memory 48 as a composite address (CA) and the inverted control data is read out is output as the polarity inversion control signal (CS) .

제 7 도의 본 발명의 메모리 시험장치의 동작을 제 2 도의 경우와 마찬가지로 간단한 예로서 설명하기 위하여, 피시험 메모리(20)는 제 6 도에 도시하는 바와 같은 극성반전영역(INV)를 갖는 용량이 256비트의 메모리로 한다. 또, 이 메모리(20)를 억세스하기 위한 어드레스(AD)는 4비트의 X 어드레스(AX=X0X1X2X3)와 4비트의 Y 어드레스(AY=Y0Y1Y2Y3)로 구성되고, 따라서, Z어드레스는 사용하지 않는다.In order to explain the operation of the memory test apparatus of the present invention of FIG. 7 as a simple example as in the case of FIG. 2, the memory under test 20 has a capacity having a polarity inversion region INV as shown in FIG. Use 256 bits of memory. The address AD for accessing the memory 20 is a 4-bit X address (AX = X 0 X 1 X 2 X 3 ) and a 4-bit Y address (AY = Y 0 Y 1 Y 2 Y 3). ), Therefore, Z address is not used.

제 6 도에 도시하는 극성반전영역(INV)은 상기한 논리식(2)을 만족시키는 모든 어드레스에 의해 지정할 수 있다. 따라서, 이 극성반전영역(INV)을 지정하는데 필요한 어드레스중의 비트는 X2, X3, Y2, Y3뿐이고, 이들 비트는 비트선택회로(47)에 의해 선택출력한다.The polarity inversion region INV shown in FIG. 6 can be designated by all addresses satisfying the above logical formula (2). Therefore, the bits in the addresses required to designate this polarity inversion area INV are X 2 , X 3 , Y 2 , and Y 3 , and these bits are selectively output by the bit select circuit 47.

따라서, 제 8 도에 있어서 멀티플렉서(471∼47n) 및 레지스터(461∼46n)의 수는 각각 4개이고, 제 8 도에 도시하는 n에 대응하는 부분은 없는 것으로 한다. 각 멀티플렉서(471∼47n)는 전 8 비트의 어드레스신호(AD)가 공통적으로 부여되고, 그중의 1비트를 선택하므로 각 선택신호(S1∼S4)는 3비트로 구성된다.Thus, the number of portions corresponding to n showing the 4 numbered, respectively, the eighth degree of multiplexers (47 1 ~47 n) and the register (46 1 ~46 n) according to claim 8, also should be no. Each of the multiplexers 47 1 to 47 n is provided with all eight bits of the address signal AD in common, and one of them is selected, so each selection signal S 1 to S 4 is composed of three bits.

따라서 레지스터(461∼464)는 각각 3비트의 레지스터이다. 멀티플렉서(471∼474)는 선택신호(S1∼S4)에 의해 지정되어 각각 비트(X2, X3, Y2, Y3)를 각각 선택출력하고, 이들 비트는 어드레스(CA)로서 영역반전메모리(48)에 부여된다.Therefore, the registers 46 1 to 4 4 4 are each a 3-bit register. A multiplexer (47 1 ~47 4), the selection signal is specified by (S 1 ~S 4), each bit (X 2, X 3, Y 2, Y 3) for each selected output, and these bits are the address (CA) The area inversion memory 48 is provided.

제 9 도에 도시하는 바와같이 영역반전메모리(48)에는 논리식(2)를 만족시키는 모든 어드레스에 "1"이 기입되어 있다. 따라서 어드레스 발생기(11)에 의해 발생된 8비트의 어드레스신호(AD=X0X1X2X3Y0Y1Y2Y3)중의 비트(X2, X3, Y2, Y3)가 논리식(2)를 만족시킬 경우에는 영역반전메모리(48)에서 "1"이 판독되게 되며, 그 판독된 "1"이 부여되어 극성반전기(15, 16)는 각각 시험데이타신호(TD)와 기대치 데이타신호(ED)의 논리를 반전하여 출력한다. 그 결과 피시험 메모리(20)의 극성반전영역(INV)에는 그 이외의 영역과 동등한 논리로 데이타가 기입되고, 또 비교기(30)에 부여되는 기대치 데이타신호(ED)의 논리로 반전된다.As shown in FIG. 9, " 1 " is written to all addresses satisfying the logical expression (2) in the area inversion memory 48. As shown in FIG. Therefore, the bit (X 2 , X 3 , Y 2 , Y 3 ) of the 8-bit address signal (AD = X 0 X 1 X 2 X 3 Y 0 Y 1 Y 2 Y 3 ) generated by the address generator 11. If 1 satisfies the logical formula (2), " 1 " is read from the area inversion memory 48, and the read " 1 " And the logic of the expected value data signal ED are inverted and output. As a result, data is written to the polarity inversion area INV of the memory under test 20 in the same logic as that of the other areas, and inverted by the logic of the expected value data signal ED applied to the comparator 30.

상기 예는 제 6 도에 도시하는 바와 같은 극성반전영역(INV)을 갖는 메모리(20)의 경우에 대하여 설명하였으나, 제 3 도에 도시하는 메모리의 극성반전영역(INV)에 대해서는 상기와 같은 비트(X2, X3, Y2, Y3)를 멀티플렉서(471∼474)에서 선택출력하고, 영역반전메모리(48)에는 논리식(1)을 만족시키는 합성 어드레스(CA=X2X3Y2Y3)의 모두에 "1"을 기입해두면 된다. 영역반전메모리(48)의 어드레스(0000∼1111)에 기입되는 데이타는 0, 0, 0, 1, 0, 0, 0, 1, 0, 0, 0, 1, 1, 1, 1이 된다.Although the above example has been described with respect to the memory 20 having the polarity inversion region INV as shown in FIG. 6, the same bit as described above for the polarity inversion region INV of the memory shown in FIG. (X 2, X 3, Y 2, Y 3) a multiplexer (47 1 ~47 4) and select the output, the composite address (CA = X 2 X 3 that has inverted domain memory 48 satisfy the logical expression (1) Y 2 Y 3 ) may be written as "1". The data written to the addresses 0000 to 1111 of the area inversion memory 48 are 0, 0, 0, 1, 0, 0, 0, 1, 0, 0, 0, 1, 1, 1, 1.

제 8 도에 도시하는 극성제어기(40)에 대하여 상기에서는 간단하기 위하여 n=4의 범위로 설명하였으나 실제의 메모리 시험장치에서 시험하는, 가령 16M 비트, 32M 비트의 DRAM이 가지고 있는 극성반전영역이 복잡한 형을 가지고 있다 하더라도 그것을 표현하는 논리식에 필요한 비트는 10∼12가 있으면 충분하다고 생각되며, 따라서 실제의 n의 값은 10∼12 정도의 값으로 선택된다. n=12라 하더라도 영역반전메모리(48)에 필요한 용량은 4K 비트에 불과하고, 제 2 도에 있어서의 X, Y, Z 어드레스영역 반전메모리에 필요한 전용량에 비해 훨씬 작다.For the sake of simplicity, the polarity controller 40 shown in FIG. 8 has been described in the range of n = 4 for simplicity, but the polarity inversion region of the DRAM having 16M bits and 32M bits is tested in an actual memory test apparatus. Even if it has a complex type, it is considered that there are 10 to 12 bits necessary for the logical expression to express it. Therefore, the actual value of n is selected to be about 10 to 12. Even if n = 12, the capacity required for the area inversion memory 48 is only 4K bits, which is much smaller than the dedicated amount required for the X, Y, and Z address area inversion memories in FIG.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 극성제어기(40)를 비트 레지스터회로(46)와, 비트선택회로(47)와, 영역반전메모리(48)에 의해 구성하고, 비트선택회로(47)에 의해 극성반전영역을 표현하는 논리식에 필요한 비트를 입력 어드레스에서 자유롭게 선택출력할 수 있도록 했기 때문에 복잡한 형의 극성반전영역을 지정할 수 있다. 특히 종래와 같이 각 어드레스신호(AX, AY, AZ)에 관하여 영역반전메모리(41, 42, 43 : 제 2 도 참조)를 설치하지 않아도 되기 때문에 코스트를 대폭 절감할 수 있다.As described above, according to the present invention, the polarity controller 40 is constituted by the bit register circuit 46, the bit selection circuit 47, and the area inversion memory 48, and the polarity selection circuit 47 uses the polarity. Since the bit necessary for the logic expression representing the inversion area can be freely selected and output from the input address, a complicated polarity inversion area can be specified. In particular, since the area reversal memories 41, 42, and 43 (refer to FIG. 2) need not be provided for each address signal AX, AY, and AZ as in the prior art, the cost can be greatly reduced.

또 용량이 큰 영역반전메모리(41, 42, 43)를 사용하지 않아도 되고, 게다가 본 발명에서 사용하는 영역반전메모리(48)는 용량이 작은 메모리로도 좋기 때문에 동작속도를 가속화할 수 있는 이점이 얻어진다.In addition, the area reversing memories 41, 42, and 43 having large capacities do not have to be used, and the area reversing memories 48 used in the present invention can be used as small memories. Obtained.

Claims (4)

피시험 메모리에 부여하는 어드레스신호를 발생하는 어드레스 발생부와, 상기 어드레스 발생부가 출력하는 어드레스신호에 동기하여 상기 피시험 메모리에 부여하는 시홈데이타 신호 및 기대치 데이타 신호를 발생하는 데이타 발생부와, 상기 데이타 발생부에서 상기 피시험 메모리에 인가되는 시험데이타 신호를 극성반전제어신호에 따라 극성반전시키는 극성반전기와, 상기 극성반전기에 상기 극성반전제어신호를 부여하는 극성제어기를 포함하고, 극성반전기능을 갖는 메모리를 시험하는 메모리 시험장치에 있어서, 상기 극성제어기는 상기 어드레스 발생기가 출력하는 어드레스신호 중에서 상기 극성반전영역을 표시하는 논리식에 필요한 복수의 비트를 지정하는 비트데이타를 기억하는 비트 레지스터회로와, 상기 비트레지스터 회로에 설정된 비트데이타에 의해 어드레스 발생기에서 출력되는 어드레스신호중의 지정된 비트를 선택출력하는 비트선택회로와, 상기 비트선택회로에 의해 상기 선택출력된 상기 복수의 비트에 의해 구성된 합성 어드레스신호에 의해 억세스되고, 상기 극성반전제어신호를 판독하여 상기 극성반전기에 부여하는 영역반전메모리를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 시험장치.An address generator for generating an address signal to be provided to the memory under test, a data generator for generating a home data signal and an expected value data signal to be supplied to the memory under test in synchronization with the address signal output by the address generator; A polarity inversion device for polarizing the test data signal applied to the memory under test in the data generator according to the polarity inversion control signal, and a polarity controller for providing the polarity inversion control signal to the polarity inversion device; A memory test apparatus for testing a memory having a memory, wherein the polarity controller comprises: a bit register circuit for storing bit data for designating a plurality of bits required for a logic expression indicating the polarity inversion region among address signals output from the address generator; Set in the bit register circuit The polarity is accessed by a bit selection circuit for selectively outputting a designated bit among the address signals output from the address generator by bit data, and a composite address signal composed of the plurality of bits output by the bit selection circuit. And an area inversion memory for reading an inversion control signal and applying the inversion control signal to the polarity inversion. 제 1 항에 있어서, 상기 비트선택회로는 각각에 상기 어드레스신호가 입력되고, 그 어드레스신호중의 지정된 하나의 비트를 선택출력하는, 미리 결정된 수의 멀티플렉서를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 시험장치.2. The memory test apparatus according to claim 1, wherein the bit selection circuit includes a predetermined number of multiplexers, each of which the address signal is input, for selectively outputting a designated one of the address signals. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 영역반전메모리의 상기 논리식을 만족시키는 모든 어드레스에는 상기 극성반전제어신호의 한쪽의 논리가 기억되어 있는 것을 특징으로 하는 메모리 시험장치.3. The memory test apparatus according to claim 1 or 2, wherein one of the polarity inversion control signals is stored in all addresses that satisfy the logic expression of the area inversion memory. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 다시 상기 기대치 데이타가 부여되고, 상기 극성반전제어신호의 논리에 따라 상기 기대치 데이타의 논리를 반전 또는 비반전하여 출력하는 또 하나의 극성반전기와, 상기 또 하나의 극성반전기의 출력과 상기 피시험 메모리에서 판독된 데이타를 논리비교하여 비교결과를 출력하는 논리비교기가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 메모리 시험장치.The polarity inverter according to claim 1 or 2, wherein the expected value data is again provided, and another polarity inverter outputs the logic of the expected data inverted or non-inverted according to the logic of the polarity inversion control signal, and the another one. And a logic comparator configured to logically compare the output of the polarity reverse circuit and the data read from the memory under test and output a comparison result.
KR1019910000138A 1990-01-12 1991-01-08 Memory tester KR950000343B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004788A JP2915945B2 (en) 1990-01-12 1990-01-12 Memory test equipment
JP2-4788 1990-01-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR910014951A KR910014951A (en) 1991-08-31
KR950000343B1 true KR950000343B1 (en) 1995-01-13

Family

ID=11593527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019910000138A KR950000343B1 (en) 1990-01-12 1991-01-08 Memory tester

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5214654A (en)
EP (1) EP0437217B1 (en)
JP (1) JP2915945B2 (en)
KR (1) KR950000343B1 (en)
DE (1) DE69120301T2 (en)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2577120Y2 (en) * 1993-04-15 1998-07-23 株式会社アドバンテスト Prohibition circuit of excessive pulse application
JP3186359B2 (en) * 1993-07-28 2001-07-11 安藤電気株式会社 Physical address translation circuit
US5712999A (en) * 1993-11-30 1998-01-27 Texas Instruments Address generator employing selective merge of two independent addresses
US5506959A (en) * 1994-08-04 1996-04-09 Telecommunication Research Laboratories Method and apparatus for testing electronic memories for the presence of multiple cell coupling faults
US5854801A (en) * 1995-09-06 1998-12-29 Advantest Corp. Pattern generation apparatus and method for SDRAM
US6463081B1 (en) * 1998-04-07 2002-10-08 United Microelectronics Corp. Method and apparatus for fast rotation
US6389525B1 (en) 1999-01-08 2002-05-14 Teradyne, Inc. Pattern generator for a packet-based memory tester
EP1026696B1 (en) 1999-02-02 2005-07-06 Fujitsu Limited Test method and test circuit for electronic device
US6434503B1 (en) * 1999-12-30 2002-08-13 Infineon Technologies Richmond, Lp Automated creation of specific test programs from complex test programs
US6608779B1 (en) * 2000-06-02 2003-08-19 Intel Corporation Method and apparatus for low power memory
US6671844B1 (en) * 2000-10-02 2003-12-30 Agilent Technologies, Inc. Memory tester tests multiple DUT's per test site
KR100379542B1 (en) * 2000-11-23 2003-04-10 주식회사 하이닉스반도체 Test Device for Semiconductor Memory Device
US20030167428A1 (en) * 2001-04-13 2003-09-04 Sun Microsystems, Inc ROM based BIST memory address translation
US7656893B2 (en) * 2002-08-07 2010-02-02 Broadcom Corporation System and method for implementing auto-configurable default polarity
US6925588B2 (en) * 2002-12-23 2005-08-02 Lsi Logic Corporation Methods and apparatus for testing data lines
US7328304B2 (en) * 2004-02-27 2008-02-05 Intel Corporation Interface for a block addressable mass storage system
US8423840B2 (en) 2008-05-21 2013-04-16 Advantest Corporation Pattern generator
JP5186587B1 (en) * 2011-09-29 2013-04-17 株式会社アドバンテスト Test apparatus and test method
JP6046012B2 (en) * 2013-09-11 2016-12-14 株式会社東芝 BIST circuit

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4414665A (en) * 1979-11-21 1983-11-08 Nippon Telegraph & Telephone Public Corp. Semiconductor memory device test apparatus
JP2527935B2 (en) * 1986-05-19 1996-08-28 株式会社 アドバンテスト Semiconductor memory test equipment
DE3773773D1 (en) * 1986-06-25 1991-11-21 Nec Corp TEST CIRCUIT FOR A STORAGE EQUIPMENT WITH Arbitrary ACCESS.
JPH01184700A (en) * 1988-01-11 1989-07-24 Advantest Corp Memory test equipment
US4866676A (en) * 1988-03-24 1989-09-12 Motorola, Inc. Testing arrangement for a DRAM with redundancy
JP2719684B2 (en) * 1988-05-23 1998-02-25 株式会社アドバンテスト Delay generator
JP2779538B2 (en) * 1989-04-13 1998-07-23 三菱電機株式会社 Test signal generator and test method for semiconductor integrated circuit memory

Also Published As

Publication number Publication date
EP0437217A3 (en) 1992-04-08
EP0437217B1 (en) 1996-06-19
US5214654A (en) 1993-05-25
DE69120301T2 (en) 1996-12-05
KR910014951A (en) 1991-08-31
JP2915945B2 (en) 1999-07-05
DE69120301D1 (en) 1996-07-25
JPH03210483A (en) 1991-09-13
EP0437217A2 (en) 1991-07-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR950000343B1 (en) Memory tester
US4051460A (en) Apparatus for accessing an information storage device having defective memory cells
US5854796A (en) Method of and apparatus for testing semiconductor memory
US4835774A (en) Semiconductor memory test system
EP0262867A2 (en) Integrated circuit with memory self-test
US4369511A (en) Semiconductor memory test equipment
US5640354A (en) Dynamic random access memory having self-test function
US4958345A (en) Memory testing device
JPH04229499A (en) Semiconductor integrated circuit
US6523135B1 (en) Built-in self-test circuit for a memory device
US7552369B2 (en) Semiconductor device and method for testing semiconductor device
JP3186359B2 (en) Physical address translation circuit
KR0181579B1 (en) Semiconductor memory device with data compression test function and its testing method
US4706079A (en) Raster scan digital display system with digital comparator means
US4183464A (en) Hash-coding data storage apparatus with error suppression
US5267212A (en) Random access memory with rapid test pattern writing
US3548386A (en) Associative memory
KR100402088B1 (en) Semiconductor memory device having a test mode and semiconductor testing method utilizing the same
KR19990067519A (en) Memory test circuit
KR100459690B1 (en) Semiconductor memory device for direct access mode test and method thereof, especially using latched data error in direct access mode test
JPS6132756B2 (en)
CA1299289C (en) Integrated circuit with memory self-test
JPH0612894A (en) Test device for semiconductor memory
JPH053628B2 (en)
JP2762325B2 (en) Memory tester

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080107

Year of fee payment: 14

LAPS Lapse due to unpaid annual fee