KR950000343B1 - Memory tester - Google Patents
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Abstract
내용 없음.No content.
Description
제 1 도는 극성반전기능을 갖는 DRAM의 비트선을 설명하기 위한 도면,1 is a diagram for explaining a bit line of a DRAM having a polarity inversion function;
제 2 도는 종래의 메모리 시험장치의 블록도,2 is a block diagram of a conventional memory test apparatus,
제 3 도는 극성반전영역의 일례를 나타내는 도면,3 is a diagram showing an example of a polarity inversion region;
제 4a 도는 X 어드레스영역 반전메모리에 설정되는 데이타예의 표시도,4A is a display diagram of an example of data set in the X address area inversion memory;
제 4b 도는 Y 어드레스영역 반전메모리에 설정되는 데이타예의 표시도,4B is a display diagram of an example of data set in the Y address region inversion memory;
제 5 도는 반전레지스터에 설정되는 데이타예의 표시도,5 is a display diagram of an example of data set in the inversion register;
제 6 도는 극성반전영역의 다른 예의 표시도,6 is a view showing another example of the polarity inversion region,
제 7 도는 본 발명의 메모리 시험장치의 실시예를 나타내는 블록도,7 is a block diagram showing an embodiment of a memory test apparatus of the present invention;
제 8 도는 제 7 도에 있어서의 극성제어기(40)의 구체예의 표시도,8 is a display diagram of a specific example of the
제 9 도는 영역반전메모리(48)에 격납되는 데이타예의 표시도.9 is a diagram showing an example of data stored in the
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10 : 패턴발생기 11 : 어드레스 발생기10: pattern generator 11: address generator
12 : 데이타 발생기 20 : 피시험 메모리12: data generator 20: memory under test
30 : 논리비교기30: logical comparator
본 발명은 반도체에 의해 만들어진 메모리를 시험하는 메모리 시험장치에 관한 것으로서, 특히 기억용량이 큰 메모리를 시험하는데 적합한 기능을 부가한 메모리 시험장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
다이나믹랜덤억세스메모리(DRAM)에 있어서는 메모리셀로부터의 판독을 위한 비트센스회로에 차동의 센스 앰프를 사용한다. 예컨대, 제 1 도에 도시하는 바와같이, 워드라인이라 불리우는 수직방향의 선(X1, X2,…)이 X 어드레스(컬럼어드레스)에 대응하여 설치되고, 각 Y 어드레스(로우어드레스)에 대해서는 각각 비트선이라 불리우는 한쌍의 수평방향의 선(Y1a, Y1b), (Y2a, Y2b), …이 설치되어 있다.In dynamic random access memory (DRAM), a differential sense amplifier is used as a bit sense circuit for reading from a memory cell. For example, as shown in FIG. 1, vertical lines X1, X2, ... called word lines are provided corresponding to X addresses (column addresses), and bits are provided for each Y address (low address), respectively. A pair of horizontal lines Y1a, Y1b, Y2a, Y2b, called lines; Is installed.
각 쌍의 비트선 (Y1a, Y1b), (Y2a, Y2b),…은 동일 Y 어드레스상의 일련의 X 어드레스의 메모리셀(MC)에 대하여 번갈이 접속되어 있고, 일단에서 센스앰프(SA1, SA2), ... 의 대응하는 하나의 비반전 입력과 반전입력에 접속되어 있다. 따라서 임의의 메모리셀(MC)에 논리치 "1"을 기입하더라도 그 메모리셀(MC)에 접속되어 있는 비트선이 센스앰프의 두 입력의 어느쪽에 접속되어 있는지에 따라 판독된 출력논리가 달라진다.Each pair of bit lines (Y1a, Y1b), (Y2a, Y2b),... Are alternately connected to the memory cells MC of a series of X addresses on the same Y address, and are connected at one end to corresponding non-inverting inputs and inverting inputs of the sense amplifiers SA1, SA2, ... have. Therefore, even if the logical value "1" is written into an arbitrary memory cell MC, the output logic read out depends on which of the two inputs of the sense amplifier is connected to the bit line connected to the memory cell MC.
따라서, 이와같은 DRAM은 메모리셀(MC)에 데이타를 기입할때에 그들 메모리셀(MC)이 한쌍의 비트선의 어느쪽에 접속되어 있는지에 따라 데이타를 그대로 그들 메모리셀에 기억하든가 아니면 데이타의 논리를 반전하여 기억함으로써 항상 바른 논리로 데이타를 판독할 수 있도록 되어 있다. 이와같은 DRAM의 기능을 극성반전기능이라 부르기로 한다. 또, 상기에서는 각 Y 어드레스를 한쌍의 비트선으로 어드레스하는 경우를 표시하였으나 각 X 어드레스를 한쌍의 비트선으로 억세스하여 차동센스앰프에서 판독하도록 구성될 경우도 있고, 또는 이들의 조합이 구성될 경우도 있다.Therefore, when such data is written into the memory cells MC, the DRAM stores the data in the memory cells as it is or the logic of the data depending on which of the pair of bit lines is connected. By reversing and storing, data can always be read with correct logic. Such a DRAM function will be referred to as a polarity inversion function. In the above, the case where each Y address is addressed by a pair of bit lines is shown, but each X address may be configured to be accessed by a pair of bit lines and read by a differential sense amplifier, or a combination thereof may be configured. There is also.
DRAM의 용량이 4M 비트, 16M 비트로 대용량이 됨에 따라 비트선 사이의 결합용량이 증가되고, 또 각 메모리셀의 용량이 감소되므로 판독의 S/N가 저하되는 문제가 있다.As the capacity of the DRAM becomes 4M bits and 16M bits, the coupling capacity between the bit lines increases, and the capacity of each memory cell decreases, so that the S / N of reading decreases.
이 문제를 방지하기 위하여 각 차동센스앰프에 접속된 한쌍의 비트선을 도중 복수부위에서 서로 교차시킴으로써 서로 접근하는 비트선에 의한 커플링노이즈를 절감시키고, S/N를 향상시키는 투위스티드(twisted)비트선 방식이 가끔 사용되고 있다.In order to prevent this problem, a twisted pair of bit lines connected to each differential sense amplifier intersect each other at a plurality of portions to reduce coupling noise by bit lines approaching each other and to improve S / N. The bit line method is sometimes used.
이 방식에서는 데이타의 논리를 반전시켜 기입하는 어드레스와, 반전시키지 않고 기입하는 어드레스가 복잡하게 섞여 있기 때문에 기입제어가 복잡해지는 문제가 있다.This method has a problem in that the write control is complicated because the address for inverting the logic of data and the address for writing without inversion are mixed.
극성반전기능이 부가된 메모리를 시험할 경우, 종래와 동일하게 단순히 어드레스와 데이타(시험데이타와 기대치 데이타(expected data)로 이루어짐)로 이루어지는 시험패턴 신호를 피시험 메모리에 부여하여 시험데이타를 지정한 어드레스에 기입하여 이를 판독하고, 그 판독된 데이타가 기대치 데이타와 일치하는지의 여부를 시험하는 것 외에 메모리 내부에서 극성(즉, 논리)이 반전되어 기입이 행해지는 기억영역과, 반전되지 않고 기입이 행해지는 기억영역의 데이타의 극성분포가 같아지도록 기입을 행하거나, 혹은 그들 두 기억영역 전체에 "1"을 기입하거나, 또는 "0"을 기입하는 극단적인 조건하에서 동작시켜 시험을 행하는 것이 요구된다.When testing a memory with a polarity inversion function, the test data is designated by simply giving a test pattern signal consisting of an address and data (consisting of test data and expected data) to the memory under test as in the prior art. Writes to and reads the data, and tests whether the read data matches the expected data, in addition to a memory area in which the polarity (i.e., logic) is inverted and written in the memory, and writing is performed without inversion. It is required to perform the test by writing so that the polarity distribution of the data in the storage area is the same, or by operating under extreme conditions in which " 1 " or " 0 "
이와같은 시험을 행하는데는 시험패턴을 발생하는 패턴발생기의 패턴발생 프로그램을 개작하면 실행될 수 있으나 프로그램 개작은 수고가 들고 까다롭다. 또 피시험 메모리의 규격이 일정하지 않고, 극성반전 영역과 비반전 영역이 일정하지 않기 때문에 각 규격에 합치하도록 프로그램을 개작하는 것도 번거롭다.Such a test can be executed by modifying the pattern generator program of the pattern generator that generates the test pattern, but the program modification is laborious and difficult. In addition, since the specifications of the memory under test are not constant and the polarity inversion area and the non-inversion area are not constant, it is cumbersome to modify the program to conform to each standard.
이 때문에 종래부터 피시험 메모리의 극성반전 영역을 시험장치에 인식시키고, 극성반전 영역을 억세스할때에 시험데이타 신호의 극성을 「반전시킨다」,「반전시키지 않는다」를 자유롭게 제어할 수 있도록 구성한 시험장치가 만들어지고 있다.For this reason, a test is constructed so that the polarity inversion region of the memory under test is conventionally recognized by the test apparatus and the polarity of the test data signal can be "inverted" or "not inverted" freely when the polarity inversion region is accessed. The device is being built.
제 2 도는 그 일례를 나타낸다.2 shows an example thereof.
도면중 10은 패턴 발생기를 도시한다. 패턴발생기(10)에는 어드레스 발생기(11)와, 시험데이타 및 기대치데이타를 발생하는 데이타 발생기(12)를 구비하며, 어드레스 발생기(11)에서 출력되는 어드레스신호(AD)가 피시험 메모리(20)의 어드레스 입력단자에 부여되어 피시험 메모리(20)가 억세스됨과 동시에 그 억세스된 어드레스에 데이타 발생기(12)에서 시험데이타신호(TD)를 주어 기입과 판독을 행한다.10 shows a pattern generator. The
시험메모리(20)에서 판독된 응답출력(OD)은 논리비교기(30)에 부여되고, 논리비교기(30)에 있어서 데이타 발생기(12)에서 출력되는 기대치 데이타(ED)와 비교되어 비교결과(CR)가 출력된다. 비교결과가 불일치를 나타내고 있을 때, 그 피시험 메모리(20)는 불량이라고 판정한다. 혹은 비교결과(CR)는 메모리의 불량해석을 위해 도시하지 않는 페일 메모리에 기억된다.The response output OD read out from the
데이타 발생기(12)에서 피시험 메모리(20)에 부여하는 시험데이타신호(TD)의 통로(13)와, 데이타 발생기(12)에서 논리비교기(30)에 기대치 데이타신호(ED)를 부여하는 통로(14)에 극성전환기(15,16)가 설치된다. 이 극성전환기(15,16)가 극성제어기(40)에서 출력되는 극성전환신호(CS)에 의해 전환제어되고, 어드레스 영역마다 피시험 메모리(20)에 기입하는 시험데이타신호(TD)의 극성을 선정할 수 있도록 구성된다.The
극성제어기(40)는 피시험 메모리(20)의 극성반전 영역을 인식하기 위하여 설치된 반전 영역메모리(41, 42, 43)와, 극성반전영역에 인가되는 시험데이타신호(TD) 및 기대치데이타신호(ED)의 극성을 반전시킬 것인지의 여부를 결정하는 반전데이타를 기억하는 반전데이타 레지스터(44)와, 이 반전데이타 레지스터(44)에 기억된 반전데이타를 선택하여 출력하는 반전데이타 선택기(45)에 의해 구성된다.The
이 예에서는 어드레스신호를 X 어드레스신호(AX)와 Y 어드레스신호(AY)와, Z 어드레스신호(AZ)로 하고, 이들 X 어드레스신호(AX)와, Y 어드레스신호(*AY)와, Z ㅇ드레스신호(AZ)를 각각 세개의 반전영역 메모리(41, 42, 43)에 나누어 주고, 각 반전영역메모리(41, 42, 43)를 X 어드레스 신호(AX)와, Y 어드레스신호(AY) 및 Z 어드레스신호(AZ)에 의해 억세스하도록 구성할 경우를 나타낸다.In this example, the address signals are the X address signal AX, the Y address signal AY, and the Z address signal AZ. These X address signals AX, the Y address signal * AY, and Z o are obtained. The dress signal AZ is divided into three inverted
반전영역메모리(41, 42, 43)의 피시험 메모리(20)의 극성반전할 영역내의 어드레스에는 미리, 가령, "1"논리를 기입해 둔다. 예컨대, 간단하기 위하여 피시험 메모리(20)의 용량은 256비트이고, 그 각 메모리셀은 4 비트의 X 어드레스(AX=X0X1X2X3)와 4비트의 Y 어드레스(AY=Y0Y1Y2Y3)로 억세스되는 것으로 하고, Z 어드레스는 사용하지 않도록 한다. 이 메모리(20)의 전 영역은 가령 제 3 도에 도시하는 바와 같이 사선으로 표시하는 극성반전영역(INV)와 공백의 비반전영역(NINV)으로 나뉘어져 있는 것으로 한다. 이 경우, 도면에서 명백한 바와같이 극성반전영역(INV)의 X 어드레스(AX)는 AX=**11, 단 *는 "0" 또는 "1"로 표시되고, Y 어드레스(AY)는 AY=**11로 표시된다. 따라서, X 어드레스 영역반전메모리(41)에는 제 4a 도에 도시하는 바와같이 어드레스 "11"∼"1111"에 "1"이 미리 기입되고, Y 어드레스영역 반전메모리(42)에는 제 4b 도에 도시하는 바와같이 어드레스 "11"∼"1111"에 "1"이 미리 기입된다. 따라서, 어드레스 발생기(11)에는 피시험 메모리(20)의 극성반전 영역내의 어드레스가 출력되면 각 반전영역메모리(41, 42, 43)의 각각에서 "1"논리가 판독된다.For example, " 1 " logic is written in advance in the address in the polarity inversion area of the memory under
반전영역메모리(41, 42, 43)에서 판독되는 데이타(x, y, z)는 3비트의 선택신호로서 반전데이타 선택기(45)에 입력된다. 반전데이타 선택기(45)는 3개의 반전영역메모리(41, 42, 43)에서 판독되는 데이타(x, y, z)에 따라 반전데이타 레지스터(44)에 기억되며 시험데이타신호를 반전시킬 것인지의 여부를 결정하는 반전데이타를 선택하여 꺼낸다.The data (x, y, z) read from the
반전데이타 레지스터(44)는 예컨대 8비트의 레지스터에 의해 구성할 수 있고, 3개의 반전영역메모리(41, 42, 43)에서 판독되는 데이타에 의해 구성되는 선택신호(x y z)가 000∼111일 때 반전데이타 선택기(45)는 제 5 도에 도시하는 바와같이 반전데이타 레지스터(44)의 제 1 비트(B1)∼제 8 비트(B8)를 각각 선택한다. 피시험 메모리(20)가 제 3 도에 도시하는 극성반전영역(INV)를 가질 경우는 X 어드레스(AX)와 Y 어드레스(AY)에 의해 제 4a 도 및 제 4b 도에 도시하는 X 어드레스 영역반전메모리(41)와 Y 어드레스 영역반전메모리(42)에서 각각 판독된 데이타(x, y)적어도 어느 한쪽이 "1"이면 그 X 어드레스(AX)와 Y 어드레스(AY)에 의해 지정되는 메모리셀은 극성반전영역(INV)내에 있기 때문에 선택신호(x y z)중의 x와 y의 적어도 한쪽이 "1" 이 되는 선택신호(x y z)에 의해 선택되는 반전데이타 레지스터(44)의 비트위치에는 모두 "1"을 미리 기입해 둔다. 이에 의해 8비트의 레지스터에 제 5 도에 도시하는 바와 같이 가령 0, 1, 1, 1, 0, 1, 1, 1이 기입되어 있다. 즉 선택신호(x y z)가 000일때와 001일때는 각각 제 1 비트(B1) 및 제 5 비트(B5)의 반전데치타 "0"를 선택하여 꺼내고, 이 반전데이타를 극성전환기(15, 16)에 부여한다. 또, 선택신호(x y z)가 100, 010, 110, 101, 011, 111일때는 반전데이타 선택기(45)는 각각 제 2, 3, 4, 6, 7, 8비트(B2.,B3,B4,B6,B8)의 반전데이타 "1"를 선택하고, 이 "1"논리의 반전데이타를 극성전환기(15, 16)에 부여한다.The inversion data register 44 can be constituted by an 8-bit register, for example, and when the selection signal xyz composed of data read from the three
극성전환기(15, 16)는 이 예에서는 배타적 논리합 회로에 의해 구성할 경우를 나타내고, 반전데이타 선택기(45)에서 "0"논리의 반전데이타가 부여될 때는 데이타 발생기(12)에서 출력되는 시험데이타신호(TD) 및 기대치 데이타신호(ED)는 극성반전되지 않고 그대로의 극성으로 피시험 메모리(20)와 비교기(30)에 부여된다. 이에 대해 극성전환기(15, 16)에 "1"논리의 반전데이타가 입력되면, 이 경우에는 데이타 발생기(12)에서 발생된 시험데이타신호(TD) 및 기대치 데이타신호(ED)는 극성전화기(15, 16)에 있어서 극성이 반전되어 피시험 메모리(20)와 비교기(30)에 부여된다.In this example, the
따라서, 상기한 예에서는 제 3 도에 도시하는 극성반전영역(INV)에서는 시험데이타신호(TD)는 논리가 반전되어서 기입이 행해진다.Therefore, in the above example, in the polarity inversion region INV shown in FIG. 3, the test data signal TD is inverted in logic so that writing is performed.
상기에서 분명한 바와같이 제 4a 도 및 제 4b 도는 도시하는 X 어드레스영역 반전메모리(41) 및 Y 어드레스영역 반전영역메모리(42)에 미리 기입하는 데이타, 및/또는 제 5 도에 도시하는 반전데이타 레지스터(44)에 미리 기입하는 데이타를 변경함으로써 피시험 메모리(20)에 대한 기입의 극성(논리)을 반전하는 영역을 변경할 수 있다.As apparent from the above, FIGS. 4A and 4B show data previously written to the X address
제 3 도에 도시하는 극성반전영역(INV)의 예에서는 X 어드레스(AX=X0X1X2X3)의 상위 2비트(X2, X3)가 양쪽 모두 "1"인 영역과 Y 어드레스(AY=Y0Y1Y2Y3)의 상위 2비트(Y2, Y3)가 양쪽 모두 "1"인 영역에 있어서 극성반전을 행하기 때문에 극성반전영역(INV)을 다음 논리식을 만족시키는 어드레스(AX, AY, AZ)로 지정된다.In the example of the polarity inversion region (INV) shown in FIG. 3 the X address (AX = X 0 X 1 X 2 X 3) the upper two bits (X 2, X 3) are both "1" in area and Y of The polarity inversion area (INV) is converted to the polarity inversion area in the area where the upper two bits (Y 2 , Y 3 ) of the address (AY = Y 0 Y 1 Y 2 Y 3 ) are both "1". It is specified by satisfying addresses AX, AY, and AZ.
1=X2·X3+Y2·Y3………………………………………………(1)1 = X 2 X 3 + Y 2 Y 3 . … … … … … … … … … … … … … … … … … (One)
그러나 이 논리식 (1)의 예에서 대표되는 바와같이 제 2 도에 도시하는 종래의 반도체 시험장치에 있어서는 극성반전영역을 지정하는 기본원리는 X 어드레스(AX), Y 어드레스(AY), Z 어드레스 (AZ)에 의해 각각 X 어드레스 극성반전영역, Y 어드레스 극선반전영역, Z 어드레스 극성반전영역을 각각 지정하고(가령 논리식 (1)에 있어서의 X2·X3과 Y2·Y3), 그들 지정된 영역의 조합(논리합 또는 논리곱, 가령 상기 논리식에 있어서의 X2·X3과 Y2·Y3의 논리합)을 선택하는 것에 의거하고 있기 때문에 지정가능한 극성반전영역은 단순한 것에 한정되어 있다. 가령 제 6 도에 도시하는 사선의 영역(INV)을 극성반전영역으로 하는 어드레스영역은 논리식(1)에 있어서 X3과 Y2를 바꾸어 넣은 다음 논리식 (2)을 만족시키는 어드레스로 지정된다.However, in the conventional semiconductor test apparatus shown in FIG. 2 as represented by the example of this logical formula (1), the basic principles for specifying the polarity inversion region are X address (AX), Y address (AY), and Z address ( AZ) respectively designates the X address polarity inversion area, the Y address polarity inversion area, and the Z address polarity inversion area, respectively (for example, X 2 X 3 and Y 2 Y 3 in logical formula (1)). Since the combination of the regions (logical sum or logical product, for example, the logical sum of X 2 · X 3 and Y 2 · Y 3 in the above formula) is selected, the polarity inversion region that can be specified is limited to the simple one. For example, an address area whose diagonal area INV shown in FIG. 6 is a polarity inversion area is designated as an address that satisfies logical expression (2) after replacing X 3 and Y 2 in logical expression (1).
1=X2·X3+Y2·Y3………………………………………………(2)1 = X 2 X 3 + Y 2 Y 3 . … … … … … … … … … … … … … … … … … (2)
제2 도의 장치에서는 이 논리식(2)에서 표시되는 바와같은 극성반전영역을 지정할 수는 없다. 즉, X 어드레스(AX)와 Y 어드레스(AY) 사이의 논리곱, X 어드레스(AX)와 Z 어드레스(AZ) 사이의 논리곱 및 Y 어드레스(AY)와 Z 어드레스(AZ) 사이의 논리곱의 적어도 어느 둘을 포함하는 논리식으로 표시되는 극성반전영역은 특수한 경우를 제외하여 지정할 수는 없었다.In the apparatus of FIG. 2, it is not possible to designate the polarity inversion region as shown in this logical formula (2). That is, the logical product between the X address (AX) and the Y address (AY), the logical product between the X address (AX) and Z address (AZ) and the logical product between the Y address (AY) and Z address (AZ). The polarity inversion region, represented by a logical expression including at least either, could not be specified except in special cases.
또 반전영역메모리(41, 42, 43)는 X, Y, Z 어드레스신호(AX, AY, AZ)의 각 어드레스길이(즉 비트수)에 의해 결정되는 전 어드레스 수의 비트용량이 필요해지기 때문에 큰 용량의 메모리가 필요해진다. 가령, 각 어드레스(AX, AY, AZ)가 16비트일 경우, 각 (X, Y, Z)영역 반전메모리(41, 42, 43)에 각각 64K 비트의 메모리가 필요해진다.The
단, Z 어드레스는 필요없을 경우도 있고, 사용할 경우는 X, Y 어드레스에 비해 상당히 짧을 경우가 많다.However, the Z address may not be necessary, and when used, it is often considerably shorter than the X and Y addresses.
본 발명의 목적은 극성반전기능을 내장한 메모리를 시험하는 메모리 시험장치에 있어서, 적은 하드웨어량으로 임의의 형태 영역을 반전영역으로서 지정할 수 있는 메모리 시험장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a memory test apparatus for testing a memory having a polarity inversion function, wherein any shape region can be designated as an inversion region with a small amount of hardware.
본 발명에 의하면 피시험 메모리에 부여하는 어드레스신호를 발생하는 어드레스 발생기와, 이 어드레스발생기가 출력하는 어드레스 신호에 동기하여 피시험 메모리에 부여되는 시험데이타 신호 및 기대치 데이타신호를 발생하는 데이타 발생기와, 이 데이타 발생기에서 피시험 메모리에 인가하는 시험데이타신호를 피시험 메모리내의 극성반전영역에 합치시켜서 극성 반전시키는 극성반전기와, 이 극성반전기에 극성반전을 위한 제어신호를 부여하는 극성제어기와를 구비한 메모리 시험장치에 있어서, 극성제어기를 어드레스 발생기가 출력하는 어드레스신호중의 극성을 반전할 영역을 선택하기 위한 비트를 기억하는 비트 레지스터회로와, 이 비트 레지스터회로에 설정된 비트데이타에 의해 어드레스 발생기에서 출력되는 어드레스신호중의 소정한 비트를 적출하는 비트 선택회로와, 이 비트 선택회로에 의해 선택된 비트에 의해 구성되는 합성 어드레스신호에 의해 억세스되고, 피시험 메모리에 극성반전되는 영역내의 어드레스신호가 인가된 것을 검출하여 극성반전기에 극성반전신호를 부여하는 영역반전메모리가 설치된다.According to the present invention, there is provided an address generator for generating an address signal applied to a memory under test, a data generator for generating a test data signal and an expected value data signal applied to the memory under test in synchronization with the address signal output by the address generator; A polarity inverter for matching the test data signal applied to the memory under test by the data generator to the polarity inversion area in the memory under test, and a polarity controller for providing a control signal for polarity inversion to the polarity inversion device; A memory test apparatus, comprising: a bit register circuit for storing a bit for selecting a region for inverting polarity among address signals outputted by an address generator from a polarity controller, and outputted from the address generator by bit data set in the bit register circuit; Predetermined address signal The polarity of the polarity inverter is detected by detecting that a bit selection circuit for extracting bits and an address signal in a region that is accessed by a composite address signal constituted by the bits selected by the bit selection circuit and polarity reversed to the memory under test are applied. An area inversion memory for providing an inversion signal is provided.
본 발명의 구성에 의하면 피시험 메모리의 형식에 따라 극성반전되는 영역을 규정하는 어드레스신호의 비트위치를 비트 레지스터회로에 설정한다.According to the configuration of the present invention, the bit position of the address signal which defines the polarity inverted area according to the format of the memory under test is set in the bit register circuit.
이 설정된 비트데이타가 비트 선택회로에 부여되고, 이 비트 선택회로에 의해 비트 레지스터회로에 설정된 소정수의 비트가 적출되고, 합성 어드레스신호로서 영역반전메모리에 부여된다. 영역반전메모리에는 피시험 메모리내에 있어서 극성이 반전되어 기입이 행해지는 영역에 대응한 어드레스에 극성반전신호를 기입한다.This set bit data is supplied to the bit selection circuit, and a predetermined number of bits set in the bit register circuit are extracted by this bit selection circuit, and supplied to the area inversion memory as a composite address signal. In the area inversion memory, the polarity inversion signal is written to an address corresponding to an area in which the polarity is reversed and writing is performed in the memory under test.
따라서, 본 발명에 의하면 피시험 메모리가 그 극성이 반전되어 기입 및 판독이 행해지는 어드레스 영역이 억세스되면 그때 영역반전메모리에서 극성반전신호가 판독된다. 이 극성반전신호가 극성반전기에 인가되어 데이타 발생기에서 피시험 메모리에 부여되는 데이타 신호의 극성이 반전되고, 데이타 신호의 극성을 반전하여 기입을 행한다.Therefore, according to the present invention, when the memory under test has its polarity reversed and the address area where writing and reading is performed is accessed, the polarity inversion signal is read from the area inversion memory at that time. This polarity inversion signal is applied to the polarity inversion polarity, the polarity of the data signal applied to the memory under test by the data generator is inverted, and the polarity of the data signal is inverted to write.
이와같이 본 발명에 따르면 피시험 메모리의 극성반전영역을 규정하기 위하여 필요 최소한의 비트수의 합성 어드레스신호를 사용하여 영역반전메모리를 억세스하는 구성으로 했기 때문에 영역반전메모리는 소용량의 메모리로 만족시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the area inversion memory can be satisfied with a small memory since the area inversion memory is accessed by using a synthetic address signal having the minimum number of bits necessary to define the polarity inversion area of the memory under test. .
그리고, 이 영역반전메모리의 임의의 어드레스에 극성반전신호를 기입해둠으로써 어느 어드레스 영역에 대해서도 극성반전신호를 발생시킬 수 있다. 또 종래와 같이 대용량의 메모리를 사용하지 않아도 되기 때문에 하드웨어량을 적게 할 수 있다. 따라서, 염가로 제작할 수 있는 점과 고속처리가 가능하다는 이점을 얻을 수 있다.The polarity inversion signal can be generated in any address area by writing the polarity inversion signal to an arbitrary address of the area inversion memory. In addition, since there is no need to use a large memory as in the prior art, the amount of hardware can be reduced. Therefore, it is possible to obtain the advantage that it can be manufactured at low cost and that high speed processing is possible.
제 7 도에 본 발명의 일실시예를 도시한다.7 shows one embodiment of the present invention.
제 7 도에 있어서, 제 2 도와 대응하는 부분에는 동일부호를 부가하여 나타낸다.In FIG. 7, the same code | symbol is attached | subjected to the part corresponding to 2nd degree.
패턴발생기(10)와, 극성제어기(40)와, 극성반전기(15, 16)와, 비교기(30)등에 의해 구성되는 극성반전기능을 갖는 메모리를 시험하는 메모리 시험장치에 있어서, 본 발명에서는 극성제어기(40)를 비트 레지스터회로(46)와, 비트 선택회로(47)와, 영역반전메모리(48)에 의해 구성한다.In the memory test apparatus for testing a memory having a polarity inversion function constituted by the
비트 선택회로(47)에는 어드레스 발생기(11)로부터의 어드레스신호(AD ; X, Y, Z 어드레스 AX, AY, AZ로 구성되어 있다)의 전비트가 병렬로 입력되고, 그들 전비트 중의 소망하는 수의 소망하는 위치의 비트가 비트 레지스터회로(46)에서 부여된 선택신호(S)에 상응하여 선택 출력된다. 비트 레지스터회로(46)에는 비트선택회로(47)에 있어서 선택해야할 비트 위치를 지정하는데 필요한 수의 선택신호(S)를 출력하기 위한 비트데이타가 미리 기억되어 있다. 비트 선택회로에 의해 선택된 비트에 의해 구성되는 합성 어드레스(CA)는 영역반전메모리(48)에 부여되고 대응하는 어드레스에서 판독된 극성반전제어신호(CS)가 극성반전기(15, 16)에 부여된다.The
제 8 도는 제 7 도에 있어서의 극성제어기(40)의 구체적 구성예를 나타낸다.8 shows a specific configuration example of the
비트선택회로(47)는 미리 결정한 수(n ; n은 2 이상의 정수)의 멀티플렉서(471∼47n)로 이루어지고, 멀티플렉서(471∼47n)에는 각각 어드레스신호(AD)의 전비트가 병렬로 입력된다. 비트 레지스터회로(46)는 n개의 레지스터(461∼46n)를 가지고, 각각 비트 선택데이타가 기억되어 있다. 레지스터(461∼46n)내의 비트선택데이타는 선택신호(S1∼Sn)로서 각각 대응하는 멀티플렉서(471∼47n)에 선택제어단자(SEL)에 부여되고, 그에 의해 각 멀티플렉서는 입력 어드레스(AD)의 전비트에서 지정된 소망하는 하나의 비트를 출력한다. 밀티플렉서(471∼47n)에서 선택출력된 n개의 비트데이타는 합성 어드레스(CA)로서 영역반전메모리(48)에 부여되고 반전제어데이타가 판독되어 극성반전제어신호(CS)로서 출력된다.Bit
제 7 도의 본 발명의 메모리 시험장치의 동작을 제 2 도의 경우와 마찬가지로 간단한 예로서 설명하기 위하여, 피시험 메모리(20)는 제 6 도에 도시하는 바와 같은 극성반전영역(INV)를 갖는 용량이 256비트의 메모리로 한다. 또, 이 메모리(20)를 억세스하기 위한 어드레스(AD)는 4비트의 X 어드레스(AX=X0X1X2X3)와 4비트의 Y 어드레스(AY=Y0Y1Y2Y3)로 구성되고, 따라서, Z어드레스는 사용하지 않는다.In order to explain the operation of the memory test apparatus of the present invention of FIG. 7 as a simple example as in the case of FIG. 2, the memory under
제 6 도에 도시하는 극성반전영역(INV)은 상기한 논리식(2)을 만족시키는 모든 어드레스에 의해 지정할 수 있다. 따라서, 이 극성반전영역(INV)을 지정하는데 필요한 어드레스중의 비트는 X2, X3, Y2, Y3뿐이고, 이들 비트는 비트선택회로(47)에 의해 선택출력한다.The polarity inversion region INV shown in FIG. 6 can be designated by all addresses satisfying the above logical formula (2). Therefore, the bits in the addresses required to designate this polarity inversion area INV are X 2 , X 3 , Y 2 , and Y 3 , and these bits are selectively output by the bit
따라서, 제 8 도에 있어서 멀티플렉서(471∼47n) 및 레지스터(461∼46n)의 수는 각각 4개이고, 제 8 도에 도시하는 n에 대응하는 부분은 없는 것으로 한다. 각 멀티플렉서(471∼47n)는 전 8 비트의 어드레스신호(AD)가 공통적으로 부여되고, 그중의 1비트를 선택하므로 각 선택신호(S1∼S4)는 3비트로 구성된다.Thus, the number of portions corresponding to n showing the 4 numbered, respectively, the eighth degree of multiplexers (47 1 ~47 n) and the register (46 1 ~46 n) according to
따라서 레지스터(461∼464)는 각각 3비트의 레지스터이다. 멀티플렉서(471∼474)는 선택신호(S1∼S4)에 의해 지정되어 각각 비트(X2, X3, Y2, Y3)를 각각 선택출력하고, 이들 비트는 어드레스(CA)로서 영역반전메모리(48)에 부여된다.Therefore, the
제 9 도에 도시하는 바와같이 영역반전메모리(48)에는 논리식(2)를 만족시키는 모든 어드레스에 "1"이 기입되어 있다. 따라서 어드레스 발생기(11)에 의해 발생된 8비트의 어드레스신호(AD=X0X1X2X3Y0Y1Y2Y3)중의 비트(X2, X3, Y2, Y3)가 논리식(2)를 만족시킬 경우에는 영역반전메모리(48)에서 "1"이 판독되게 되며, 그 판독된 "1"이 부여되어 극성반전기(15, 16)는 각각 시험데이타신호(TD)와 기대치 데이타신호(ED)의 논리를 반전하여 출력한다. 그 결과 피시험 메모리(20)의 극성반전영역(INV)에는 그 이외의 영역과 동등한 논리로 데이타가 기입되고, 또 비교기(30)에 부여되는 기대치 데이타신호(ED)의 논리로 반전된다.As shown in FIG. 9, " 1 " is written to all addresses satisfying the logical expression (2) in the
상기 예는 제 6 도에 도시하는 바와 같은 극성반전영역(INV)을 갖는 메모리(20)의 경우에 대하여 설명하였으나, 제 3 도에 도시하는 메모리의 극성반전영역(INV)에 대해서는 상기와 같은 비트(X2, X3, Y2, Y3)를 멀티플렉서(471∼474)에서 선택출력하고, 영역반전메모리(48)에는 논리식(1)을 만족시키는 합성 어드레스(CA=X2X3Y2Y3)의 모두에 "1"을 기입해두면 된다. 영역반전메모리(48)의 어드레스(0000∼1111)에 기입되는 데이타는 0, 0, 0, 1, 0, 0, 0, 1, 0, 0, 0, 1, 1, 1, 1이 된다.Although the above example has been described with respect to the
제 8 도에 도시하는 극성제어기(40)에 대하여 상기에서는 간단하기 위하여 n=4의 범위로 설명하였으나 실제의 메모리 시험장치에서 시험하는, 가령 16M 비트, 32M 비트의 DRAM이 가지고 있는 극성반전영역이 복잡한 형을 가지고 있다 하더라도 그것을 표현하는 논리식에 필요한 비트는 10∼12가 있으면 충분하다고 생각되며, 따라서 실제의 n의 값은 10∼12 정도의 값으로 선택된다. n=12라 하더라도 영역반전메모리(48)에 필요한 용량은 4K 비트에 불과하고, 제 2 도에 있어서의 X, Y, Z 어드레스영역 반전메모리에 필요한 전용량에 비해 훨씬 작다.For the sake of simplicity, the
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 극성제어기(40)를 비트 레지스터회로(46)와, 비트선택회로(47)와, 영역반전메모리(48)에 의해 구성하고, 비트선택회로(47)에 의해 극성반전영역을 표현하는 논리식에 필요한 비트를 입력 어드레스에서 자유롭게 선택출력할 수 있도록 했기 때문에 복잡한 형의 극성반전영역을 지정할 수 있다. 특히 종래와 같이 각 어드레스신호(AX, AY, AZ)에 관하여 영역반전메모리(41, 42, 43 : 제 2 도 참조)를 설치하지 않아도 되기 때문에 코스트를 대폭 절감할 수 있다.As described above, according to the present invention, the
또 용량이 큰 영역반전메모리(41, 42, 43)를 사용하지 않아도 되고, 게다가 본 발명에서 사용하는 영역반전메모리(48)는 용량이 작은 메모리로도 좋기 때문에 동작속도를 가속화할 수 있는 이점이 얻어진다.In addition, the
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