KR940015296A - 자기 유체 펌프 - Google Patents

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KR940015296A
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한우성
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김광호
삼성전자 주식회사
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    • F04B17/03—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors driven by electric motors
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Abstract

본 발명은 유체 펌프에 관한 것으로, 특히 펌프가 유체를 흡인하여 토출하는 과정에서 파티클이 발생하는 것을 방지하기 위한 자기 펌프에 있어서, 보빈 (bobbin)의 외측 일정구간의 양단에 코일이 감겨 각각 설치되는 한쌍의 전자석과, 보빈의 내부공간에서 이동이 가능하며 유체통로인 중앙공간을 개폐할 밸브가 일단에 부착된 원통형의 영구자석을 구비하여 상기 한쌍의 전자석의 극성을 변화시켜 원통형의 영구자석을 보빈내에서 왕복 이동시킴으로써 보빈의 일측의 유체를 타측으로 펌핑하는 것을 특징으로 한다.
따라서 상기한 자기유체펌프에 의하면 유체펌프로 부터의 파티클 발생을 방지하여 반도체장치의 사진공정에서 감광막을 웨이퍼에 도포시 도포불량을 크게 감소시킬 수 있으며 마세패틴 형성에 유리한 이점이 있다.

Description

자기 유체 펌프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 코일에 전류가 흐르는 방향에 따라 코일내부에 자력선이 발생하는 원리를 나타내고, 제6도 및 제7도는 본 발명의 자기유체펌프의 단면을 통하여 자기유체펌프의 작동원리를 나타내고 있으며, 제8도는 본 발명의 자기유체펌프의 일실시예로서 원통형 자기유체펌프의 사시도를 나타내고 있다.

Claims (6)

  1. 보빈(bobbin)의 외측 일정구간의 양단에 코일이 감겨 각각 설치되는 한쌍의 전자석과, 보빈의 내부공간에서 이동이 가능하며 유체통로인 중앙공간을 개폐할 밸브가 일단에 부착된 원통형의 영구자석을 구비하여 상기 한쌍의 전자석의 극성을 변화시켜 원통형의 영구자석을 보빈내에서 왕복 이동시킴으로써 보빈의 일측의 유체를 타측으로 펌핑하는 것을 특징으로 하는 자기 유체 펌프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보빈은 비자성체 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 자기 유체 펌프.
  3. 제2항에 있어서, 상기 비자성물질은 테프론, PVC, 스테인레스 스틸, 등 및 구리로 이루어진 일군에서 선택된 어느하나인 것을 특징으로 하는 자기 유체 펌프.
  4. 제1항에 있어서, 상기 코일의 재료로는 구리, 철, 은, 금 및 에나멜 피복선의 일군에서 선택된 어느하나가 이용되는 것을 특징으로 하는 자기 유체 펌프.
  5. 제4항에 있어서, 상기 코일의 굵기는 보빈의 내경 크기와 영구자석의 자성강도 및 코일에 흐르는 전류의 세기에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 자기 유체 펌프.
  6. 제1항에 있어서, 상기 영구자석은 테프론으로 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 유체 펌프.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920024364A 1992-12-15 1992-12-15 자기 유체 펌프 KR940015296A (ko)

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US5501581A (en) 1996-03-26

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