KR940008315B1 - 대기압 이상에서의 웨이퍼 보관방법과 그 장치 - Google Patents
대기압 이상에서의 웨이퍼 보관방법과 그 장치 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
도면은 본 발명에 의한 웨이퍼 보관장치의 횡단면도이다.
본 발명은 웨이퍼 보관방법과 그 장치에 관한 것으로서, 보다 상세히게는 대기압 이상의 질소개스 압력하에 웨이퍼를 보관시켜 대기중의 산소침투를 방지함으로써 웨이퍼 표면에서 자연 산화막의 성장을 억제함과 아울러 카본에 의해 오염되는 것을 방지하여 게이트 옥사이드의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 보관방법과 그 장치에 관한 것이다.
일련의 제조공정을 거치는 반도체 제조공정에 있어서, 확산전 세정공정 후, 확산공정이 진행되기전 자연산화막이 성장하는 것은 케이트 옥사이드의 신뢰성을 저하시키는 요인으로 작용으로 된다.
특히 디바이스의 고집적화에 따른 게이트 옥사이드의 박막화로 인하여 신뢰성의 문제는 심각하게 대두되고 있다. 확산전 세정공정 후, 확산공정이 진행되기전에 성장하는 자연 산화막은 웨이퍼가 습기를 포함하고 있는 대기중에 노출됨으로써 형성되고 있는데, 종래에는 이러한 점들을 전혀 고려하지 않고 확산공정을 행하였기 때문에 카본에 의한 오염과 함께 게이트 옥사이드의 자연 산화막이 문제점으로 대두되고 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 확산공정전에 웨이퍼가 대기와 접촉하는 것을 방지하여 게이트 산화막의 신뢰성을 증진시킬 수 있는 웨이퍼 보관방법과 그 장치를 제공하는데 있다.
이를 실현하기 위하여 본 발명은 슈의 입구측에 개스압에 의해 압축 또는 팽창하는 밸브가 스프링으로 탄지되어 이루어지는 유입압 조절수단을 설치하고, 출구측에 이와 동일한 구조의 배출압 조절수단을 설치하여 슈내가 대기압 이상의 개스로 충진되도록 함으로써 산소 침투에 의한 자연 산화막의 성장을 억제토록 하고 있다.
이러한 방법을 구현하기 위한 본 발명의 장치는, 도면에 도시되고 있는 바와 같이 웨이퍼가 담겨질 수 있는 슈(Shoe)(1)를 포함하고 있다.
이 슈(1)의 일측부에는 개스의 공급압력에 따라 작동하는 유입압 조절수단(2)이 설치되고 있으며, 그 반대측에는 슈(1)내의 개스가 배출됨에 의해 작동하는 배출압 조절수단(3)이 설치되어 있다.
상기한 유입압 조절수단(2)은 입구측 체크밸브(4)가 설치된 관로(5)와 연결되는 제1챔버(6)를 보유하고 있는데, 이 제1챔버(6)는 관로(5)와 연통하는 통로(7)가 뚫려져 관로(5)를 따라 유입되는 개스를 공급받을 수 있도록 되어 있다.
제1챔버(6)의 내측에는 구멍(8)이 다수개 뚫려진 격판(9)이 위치되고 있는데, 이 격판(9)에는 통로(7)를 개폐하는 밸브(10)가 스프링(11)으로 탄지되어 통로(7)측으로 작용하는 개스압에 의해 작동이 이루어지도록 되어있다.
상기한 밸브(10)는 격판(9)에 직교상으로 형성되고 있는 시이트(12)에 슬라이드 가능하게 설치되고 있으며, 슈(1)에는 통로(13)가 뚫려져 제1챔버(6)내의 개스가 유입되도록 이루어져 있다.
한편 배출압 조절수단(3)은 제2챔버(14)를 갖고 있는데, 이 챔버는 슈(1)에 뚫려진 통로(15)를 통하여 연통되어 있으며, 이 통로(15)를 개폐하는 밸브(16)가 스프링(17)으로 탄지되어 슈(1)내의 개스압에 의해 작동하도록 되어 있다.
상기한 밸브(16)는 격판(18)에 설치되는 시이트(19)에 지지설치되어 있으며, 이 밸브(16) 개방시 출구측 체크밸브(20)를 보유하고 있는 관로(21)와 연통하도록 되어 있다.
이와 같이 이루어지는 본 발명의 장치는, 관로(5)를 통하여 질소개스를 주입하게 되면 입구측 체크밸브(4)를 경유하여 통로(7)측으로 유입된다.
이때 개스의 압력이 스프링(11)의 탄성력을 이기는 시점에서 밸브(10)가 뒤로 밀려나 제1챔버(6) 내로 개스가 유입하기 시작한다.
이곳에 유입된 질소개스는 구멍(8)과 통로(13)를 통하여 슈(1)내로 유입하여 슈(1)내에 압력을 형성하게 되는데, 이때 압력이 1atm 이상이 되며 배출압조절수단(3)의 스프링(17)이 압축되어 밸브(16)가 뒤로 밀림으로써 제2챔버(14)로 유입되면서 출구측 체크밸브(20)를 경유하여 외부로 유출된다.
이때 슈(1)내에 유입되어 있는 이물질이나 산소가 유출되는데, 일정시간이 경과후에 질소개스의 공급이 중단되면 통로(7)측으로 작용하는 개스의 압력이 밀어지면서 압축되었던 스프링(11)이 팽창하여 밸브(10)를 전방으로 이동시키게 되므로 통로(7)가 차단된다.
이러한 작용이 이루어지는 동안 슈(1)내의 질소개스는 외부로 유출되는데, 이때 슈(1)내부의 압력이 1atm보다 조금 높은 시점에서 배출압 조절수단(3)의 스프링(17)이 팽창하여 밸브(16)가 통로(15)를 차단하게 된다.
이러한 상태가 되면 제1챔버(6)와 슈(1) 그리고 제2챔버(14)내가 대기압보다 다소 높은 동일한 입력으로 있게 된다.
이와 같이 대기압보다 높은 압력으로 유지되는 슈(1)내에 웨이퍼가 보관되면 대기압이 슈(1)내로 유입하지 못하게 되므로 수분이나 카본등의 침투가 일어나지 않게 된다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 웨이퍼 보관방법은 슈의 입구측과 출구측에 압력조절수단을 설치하여 슈내의 압력을 대기압보다 높게 유지시킴으로써 대기압의 역류를 방지하여 공기에 포함되어 있는 카본에 의한 오염과 산화막의 성장을 억제시킬 수 있어 게이트 옥사이드의 신뢰성을 높일 수 있는 이점이 있다.
Claims (2)
- 확산공정전 상태의 웨이퍼가 수용되는 슈의 입구측에, 스프링으로 탄지되는 밸브를 보유하는 질소개스 유입압 조절수단을 설치하고, 슈의 출구측에 또다른 스프링으로 탄지되는 밸브를 보유하는 배출압조절수단을 설치하여, 상기한 스프링력보다 높은 압으로 질소개스를 슈내로 유입시켜 슈내의 이물질과 산소를 배출시키고, 일정시간 경과후 질소개스의 공급을 차단시킴으로서 상기한 슈의 입구 및 출구측에 설치된 스프링력에 의해 밸브가 슈의 입구 및 출구를 차단하여 슈내의 질소개스 압력이 대기압보다 높은 상태로 유지되도록 하여 수분 및 이물질이 슈내로 침투되지 못하도록 하는 대기압 이상에서의 웨이퍼 보관방법.
- 슈(1)의 일측에 입구측 체크밸브(4)와 연결되는 제1챔버(6)를 설치하고, 이 제1챔버(6)에 통로(7)를 개폐하는 밸브(10)를 스프링(11)으로 탄지하여 공급되는 개스압에 의해 작동하는 유입압 조절수단(2)을 설치함과 아울러 상기한 슈(1)의 반대측에 출구측 체크밸브(20)와 연결되는 제2챔버(14)를 설치하여 배출압에 의해 통로(15)를 개폐하는 밸브(16)를 스프링(17)으로 탄지시켜 이루어지는 배출압 조절수단(3)으로 슈(1)내부가 대기압이상이 되도록 구성한 것을 특징으로 하는 대기압 이상에서의 웨이퍼 보관장치.
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