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Application filed by 문정환, 금성일렉트론 주식회사filedCritical문정환
Priority to KR1019920012348ApriorityCriticalpatent/KR940002982A/ko
Publication of KR940002982ApublicationCriticalpatent/KR940002982A/ko
Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer
(AREA)
Abstract
본 발명은 반도체 자동화 생산방법에 관한 것으로 공정별로 사용하는 장비를 인라인형으로 배치하여 별도의 매가진을 사용하지 않고도 반도체를 연속적으로 생산할 수 있도록 한 것이다.
종래에는 각 공정에 사용되는 기기가 분리설치되어 있어 각 고정별로 반제품을 이송시키기 위해서는 반드시 매가진내에 리드프레임을 넣은 상태에서만 가능하게 되었으므로 고가의 매가진이 필요하게 됨은 물론 이동간에 작업자가 매가진을 수작업으로 이동시키므로 인해 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명은 이를 개선하기 위해, 반도체를 제조함에 있어서, 각 공정에 적용되는 기기를 인라인형으로 설치하여 이송수단에 의해 반제품을 연속적으로 이송시키면서 반도체를 생산하도록 된 것이다.
Description
반도체 자동화 생산방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 공정을 나타낸 블럭도.
제2도는 본 발명의 공정에 따라 이송되는 반제품의 상태도.
Claims (1)
반도체를 제조함에 있어서, 각 공정에 적용되는 기기를 인라인형을 설치하여 이송수단에 의해 반제품을 연속적으로 이송시키면서 반도체를 생산하도록 함을 특징으로 하는 반도체 자동화 생산방법.
Procede de fabrication d'une table de cuisson, dispositif permettant la mise en oeuvre de ce procede et table de cuisson fabriquee selon ce procede