KR940002943A - Ti-W 타케트재 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 목적은 스퍼퍼링할 때에 입자의 발생이 적은 Ti-W타게트 및 그 제조방법을 제공하는 것이다. 본 발명은 마이크로 조직적으로 관찰하여 Ti와 W로 이루어진 합금상의 면적 이 98%이상을 점유하는 것을 특징으로 하는 Ti-W타게트재이다.
또한 제조방법은 W와 Ti를 용해하여 얻은 인고트를 용체화 처리한 것 또는 상기 인고트틀 분체화 처리하여 얻어진 분말을 소결하는 것을 특징으로 한다. 이 경우 용해는 감압분위기하에서 전자 비임 용해에 의해 행해지는 것이 좋다.
또한 다른 제조방법은 W와 Ti를 용해하여 이루어진 용탕을 아토마이즈법에 의해 분말로 하고 얻어진 분말을 소결하는 공정을 포항하는 것을 특징으로 한다.
또한 제조방법에 있어서, 분말을 소결하는 경우에는 열간 정수압 프레스 또는 열간 프레스를 적용하는 것이 양호하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 타게트재의 합금 금속 조직 사진(600배 확대),
제2도는 비교예의 타게트재의 합금 금속 조직 사진(600배 확대).
Claims (8)
- 마이크로 조직적으로 관찰하여 Ti와 W로 이루어진 합금상의 면적이 98%이상을 점하는 것을 특징으로 하는 Ti-W 타게트재.
- W와 Ti를 용해하여 얻어진 인고트를 용체화 처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 Ti-W 타게트의 제조방법.
- W와 Ti를 용해하여 얻은 인고트를 분쇄하고, 얻어진 분말을 소결하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 Ti-W 타게트의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 용해는 감압 분위기하에서 전자 비임 용해에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 Ti-W타게트의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 용해는 감압 분위기하에서 전자 비임 용해에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 Ti-W타게트의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 소결은 열간 프레스 또는 열간 정수압 프레스에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 Ti-W타게트의 제조방법.
- 제5항에 있어서, 소결은 열간 프레스 또는 열간 정수압 프레스에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 Ti-W타게트의 제조방법.
- W와 Ti틀 용해하여 이루어진 용탕을 아토마이즈법에 의해 분말로 형성하고, 얻어진 분말을 소결하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 Ti-W 타게트의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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1992
- 1992-07-09 KR KR1019920012205A patent/KR960011928B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
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|---|---|
| KR960011928B1 (ko) | 1996-09-04 |
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