KR930024280A - 펄스 비임 발생 방법 및 발생 장치 - Google Patents

펄스 비임 발생 방법 및 발생 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR930024280A
KR930024280A KR1019930008386A KR930008386A KR930024280A KR 930024280 A KR930024280 A KR 930024280A KR 1019930008386 A KR1019930008386 A KR 1019930008386A KR 930008386 A KR930008386 A KR 930008386A KR 930024280 A KR930024280 A KR 930024280A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cross
charged beam
sectional shape
thin
generating
Prior art date
Application number
KR1019930008386A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960010432B1 (ko
Inventor
유이찌로 야마자끼
Original Assignee
사또 후미오
가부시끼가이샤 도시바
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 사또 후미오, 가부시끼가이샤 도시바 filed Critical 사또 후미오
Publication of KR930024280A publication Critical patent/KR930024280A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR960010432B1 publication Critical patent/KR960010432B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/045Beam blanking or chopping, i.e. arrangements for momentarily interrupting exposure to the discharge

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

하전 비임의 전류량을 저하시키지 않고 펄스 폭을 단축시키는 것을 목적으로 한다.
단면 형상이 원형인 하전 비임(40)을 발생시키는 비임 발생 장치(1), 하전 비임(40)의 단면 형상을 얇고 길게하는 얇고 긴 성형 수단(10), 하전 비임(40)을 단면 형상의 길이 방향과 직교하는 방향으로 편향하는 편향 수단 (13), 하전 비임(40)을 절취하는 애퍼쳐(15), 하전 비임(40)의 단면 형상을 원형으로 복귀시키는 복귀 성형 수단(16)이 차례로 배치된다.

Description

펄스 비임 발생 방법 및 발생 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 펄스 발생 방법 및 그 발생 장치의 한 실시예를 도시하는 도면, 제2도는 애퍼쳐의 다른 실시예를 도시하는 도면.

Claims (2)

  1. 하전 비임을 발생시켜서 하전 비임의 단면 형상을 얇고 길게 하고, 그후 하전 비임을 단면 형상의 길이 방향과 직교하는 방향으로 소정 주기로 편향시켜서 하전 비임의 단면 형상에 대응하는 형상의 개구를 갖는 애퍼쳐에 의해 하전 비임을 절취하여 애퍼쳐를 통과하는 하전 비임의 단면 현상을 대략 원형으로 복귀시키는 것을 특징으로하는 펄스 비임 발생 방법.
  2. 대략 원형의 단면 형상을 가진 하전 비임(40)을 발생시키는 비임 발생장치(1), 상기 하전 비임의 단면 형상을 얇고 긴 형상으로 하는 얇고 긴 성형수단(10), 상기 하전 비임을 단면 형상의 길이 방향과 직교하는 방향으로 소정 주기로 편향하는 편향 수단(13), 상기 하전 비임의 얇고 긴 단면 형상에 대응하는 형상의 개구(15a;53)을 가지고 상기 하전 비임을 절취하는 애퍼쳐(15;50,51,52및53), 상기 하전 비임의 얇고 긴 단면 형상을 대략 원형으로 복귀시키는 복귀 성형 수단(16)을 구비하는 것을 특징으로 하는 펄스 비임 발생 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930008386A 1992-05-18 1993-05-17 펄스 비임 발생 방법 및 발생 장치 KR960010432B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP92-124866 1992-05-18
JP4124866A JP3046452B2 (ja) 1992-05-18 1992-05-18 パルスビーム発生方法および発生装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR930024280A true KR930024280A (ko) 1993-12-22
KR960010432B1 KR960010432B1 (ko) 1996-07-31

Family

ID=14896039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019930008386A KR960010432B1 (ko) 1992-05-18 1993-05-17 펄스 비임 발생 방법 및 발생 장치

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5406178A (ko)
JP (1) JP3046452B2 (ko)
KR (1) KR960010432B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004037781A1 (de) * 2004-08-03 2006-02-23 Carl Zeiss Nts Gmbh Elektronenstrahlgerät
KR20220132053A (ko) * 2017-09-29 2022-09-29 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 하전 입자 빔 검사를 위한 샘플 사전-충전 방법들 및 장치들

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4075488A (en) * 1974-09-06 1978-02-21 Agency Of Industrial Science & Technology Pattern forming apparatus using quadrupole lenses
US4243866A (en) * 1979-01-11 1981-01-06 International Business Machines Corporation Method and apparatus for forming a variable size electron beam
DE3010815C2 (de) * 1980-03-20 1982-08-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Hochstrom-Elektronenquelle
US5180919A (en) * 1990-09-18 1993-01-19 Fujitsu Limited Electron beam exposure system having the capability of checking the pattern of an electron mask used for shaping an electron beam

Also Published As

Publication number Publication date
KR960010432B1 (ko) 1996-07-31
JPH05325867A (ja) 1993-12-10
JP3046452B2 (ja) 2000-05-29
US5406178A (en) 1995-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE8723T1 (de) Vorrichtung zur erzeugung schneller gepulster entladungen in einem laser, insbesondere an hochenergielasern.
IT1007148B (it) Complesso circuitale per la genera zione di una corrente di deflessio ne a denti di sega attraverso una bobina di deflessione di riga
BR9917534A (pt) Método e aparelho para gerar pulsos a partir de formas de onda analógicas
FR2293088A1 (fr) Laser a l'aluminate de beryllium dope au chrome
DE3779850D1 (de) Laservorrichtung mit hochspannungsimpulsgenerator, hochspannungsimpulsgenerator und verfahren zur impulserzeugung.
KR930024280A (ko) 펄스 비임 발생 방법 및 발생 장치
KR840005908A (ko) 칼라표시판
DE69006958D1 (de) Generator für Hochleistungs-Laserimpulse.
DK0594574T3 (da) Fremgangsmåde til fremstilling af salte af sulfonerede fedtsyreglycerolestere
ES2180071T3 (es) Mejoras en o relacionadas con aparatos de ensayo.
DE68916058D1 (de) Durch Laserstrahl und pyrotechnische Impulsgeber geführter Vektor.
DE68924451D1 (de) Elektronenstrahl-Erzeuger und Elektronenröhre mit einem derartigen Elektronenstrahl-Erzeuger.
KR830004006A (ko) 소인 및 귀선간격동안 구동되는 동기스위치된 수직편향 시스템
KR100377317B1 (ko) 슬릿광조사 광학시스템
KR850002162A (ko) 음 극 선 관
IT8024708A0 (it) Generatore di vapore di ricircolazione con surriscaldaento.
KR870009439A (ko) 칼라 수상관
KR850007894A (ko) 박막형성 방법 및 그 장치
KR920018810A (ko) 음극선관
RU2113052C1 (ru) Способ формирования импульса тормозного излучения сложной формы и устройство для его реализации
ES2143720T3 (es) Sistema generador de datos para bordar.
DE59008121D1 (de) Elektronenstrahlerzeuger, insbesondere für eine Elektronenstrahlkanone.
DE59009200D1 (de) Elektronenstrahlerzeuger, insbesondere für eine Elektronenstrahlkanone.
IT7825798A0 (it) Processo ed impianto di regolazione di generatore di saldatura mediante fascio di elettroni.
KR830003800A (ko) 주사전자 현미경

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20030701

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee